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シリーズ
CVD装置 Si負極材へのCコート用回転CVD装置 MPCVD-Powder取扱企業
株式会社マイクロフェーズカテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 管状炉常用使用温度 | 管状炉適応チューブ外径 | 管状炉温度制御 | 管状炉外形寸法 | 管状炉ブレーカー容量 | 炉心管材質 | 炉心管サイズ | ガス制御 | ガス制御導入ガス種 | ガス制御外形寸法 (ボックス) | 真空計 | 排気ポンプ | 排気ポンプ外形寸法 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
MPCVD-Powder |
要見積もり |
400~1,000℃ |
~50mmφ |
1ゾーン プログラム付温度調節計 |
W550mm×H300mm×D450mm |
AC100V 20A 単相50/60Hz |
石英 |
OD50mm×ID45mm×L800mm |
マスフローコントローラ |
キャリアガス：N2 or Ar |
W250mm×H310mm×D450mm |
ブルドン管真空計 |
ロータリーポンプ |
W156mm×H200mm×D300mm |
