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シリーズ
CVD装置 汎用CVD装置 MPCVD-50取扱企業
株式会社マイクロフェーズカテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 管状炉常用使用温度 | 管状炉内寸法 | 管状炉温度制御 | 管状炉外形寸法 | 管状炉電気容量 | 炉心管材質 | 炉心管サイズ | ガス制御 | 導入ガス種 | 真空計 | 排気ポンプ | 排気ポンプ外形寸法 | 外形寸法 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
MPCVD-50 |
要見積もり |
400~1,000℃ |
60mmφ×L260mm |
1ゾーン プログラム付温度調節計 |
W300mm×H200mm×D186mm |
700W |
石英 |
OD50mm×ID46mm×L900mm |
マスフローコントローラ |
キャリアガス:N2 or Ar |
ブルドン管真空計 |
ロータリーポンプ |
W156mm×H200mm×D300mm |
W1,100mm×H1,000mm×D500mm |