Spin型枚葉処理装置
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この製品について

■ 半導体の品質にこだわるなら、洗浄にもこだわる1つのチャンバー内で薬液処理からリンス乾燥までのフルプロセスの実現。薬液の温調循環再生利用も可能でありコスト削減・環境負荷低減へ。

■概要・ワンチャンバーでプロセスが完結
・薬液の温調循環再生利用が可能で省エネルギー
・アルカリと酸の基板処理を同一チャンバー内で処理可能
・シールド板が付属し、プロセス中の薬液の飛散を抑えることが可能
・エッチングと有機剥離も同一装置内で処理可能
・エッチングからマスクレジスト除去まで一気通貫処理可能
・自動化により作業者の負荷軽減、人的ミスのリスク低減
・極薄・脆弱な基板でも安心して処理ができ、製品品質の向上

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
Spin型枚葉処理装置

取扱企業
ハイソル株式会社

カテゴリ

半導体製造

半導体洗浄装置

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Spin型枚葉処理装置品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	使用用途	装置寸法	対象ウエハサイズ	電源	処理液	薬液供給	レシピ数	ステップ数
	Spin型枚葉処理装置	要見積もり	有機洗浄/リフトオフ/レジスト剥離/洗浄	W2,000×D1,850×H1,960 mm	4インチ、6インチ、8インチ	200V、3層、50/60Hz	有機系剥離液、純水	薬液循環回収	40	50