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シリーズ
枚葉式洗浄装置 Spin/Dip®枚葉処理装置取扱企業
ハイソル株式会社カテゴリ
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半導体洗浄装置の製品67点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 使用用途 | 対象ウエハサイズ | 電源 | 処理液 | 薬液供給 | レシピ数 | ステップ数 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
Spin/Dip®枚葉処理装置 |
要見積もり |
有機洗浄/リフトオフ/レジスト剥離/洗浄 |
4インチ、6インチ、8インチ |
200V、3層、50/60Hz |
有機系剥離液、純水 |
薬液循環回収 |
40 |
50 |
半導体洗浄装置をフィルターから探すことができます
使用用途
#ウエハ洗浄 #酸化膜除去 #有機物除去 #金属汚染除去 #パーティクル除去 #ドライプロセス #ウエットプロセス #クリーン化管理 #高純度薬液対応サイズ インチ
0 - 4 4 - 8 8 - 12装置寸法 mm
0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 2,500 2,500 - 3,500本体重量 kg
0 - 50 50 - 100 100 - 500電源 V
0 - 100 100 - 200 200 - 250
