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枚葉式洗浄装置 Spin/Dip®枚葉処理装置-Spin/Dip®枚葉処理装置
枚葉式洗浄装置 Spin/Dip®枚葉処理装置-ハイソル株式会社

枚葉式洗浄装置 Spin/Dip®枚葉処理装置
ハイソル株式会社

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この製品について

■ 強固なレジスト除去やバリ除去に最適 超音波搭載リフトオフ・有機剥離装置

高品質基板が得られ、ランニングコスト低減を達成。デバイス状態に最適なツールのレシピ選択。

■概要

・超音波機能搭載による高均一な処理 ・プロセスマージンが広く、高圧Jetやマルチスプレー等の各種処理ツール同時搭載可能 ・40KHz帯の超音波機能を世界で初めて搭載 (特許・商標取得済) ・バッチ方式では難しかった「IPAフリー」のリフトオフ・有機剥離プロセスが可能 ・BLT型超音波とホーン型超音波の搭載により、強固なレジスト除去やバリ除去にも最適

  • シリーズ

    枚葉式洗浄装置 Spin/Dip®枚葉処理装置

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枚葉式洗浄装置 Spin/Dip®枚葉処理装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 使用用途 対象ウエハサイズ 電源 処理液 薬液供給 レシピ数 ステップ数
枚葉式洗浄装置 Spin/Dip®枚葉処理装置-品番-Spin/Dip®枚葉処理装置

Spin/Dip®枚葉処理装置

要見積もり

有機洗浄/リフトオフ/レジスト剥離/洗浄

4インチ、6インチ、8インチ

200V、3層、50/60Hz

有機系剥離液、純水

薬液循環回収

40

50

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ハイソル株式会社は、半導体、車載デバイス、センサー、LD・LED分野で、輸入製品の販売、及び、各種製造装置の開発・設計・製作・販売を行っている企業です。所在地は東京都台東区です。 1967年に、ウエスト・ボンド社製ワイヤ...

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  • 本社所在地: 東京都
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