ラッピング・ポリッシング装置 PM6/LP70シリーズ卓上型精密研磨装置 LP70-LP70

ラッピング・ポリッシング装置 PM6/LP70シリーズ卓上型精密研磨装置 LP70
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PM6/LP70は、ラッピング (粗研磨) とポリッシングを1台で行うことが出来る精密研磨装置です。耐薬品モデルを使用することにより、CMP (ケミカルメカニカルポリッシング) も可能ですので、例えばGaAsやInPといった化合物半導体の精密研磨にも最適です。

■高精度な研磨を実現する超精密研磨治具熟練した技術者が手加工で製造した特殊構造の治具は、独自スプリング機構により、サンプル全面に荷重が均等に掛かります。

例えば、ピストンからオスとメスに切り離した治具を、他の治具に取り付けようとしても、治具は技術者によって「対」で精密加工されておりますので、同じモデルであっても取り付けることが出来ません。それ程までに精密加工された治具が、高精度な研磨を実現します。

■その他 特長・荷重可変：200gから6.7kg (冶具の種類により異なる) 
・角度調整：±3° (Dスタイル) 、±1.5° (GTスタイル) 
・研磨量のデジタル表示 (1umオーダー) 

■自動装置停止機能付き精密研磨治具装置と通信し、設定された研磨量に達すると装置を自動停止することが出来ますので、無人研磨が可能になります。また、突然の装置停止の際にも、研磨のデータは保存されます。

■タッチパネルで容易にコントロールタッチパネル操作で下記のパラメータを設定します。

・研磨プレート及び治具ローラーの回転数
・研磨時間
・研磨量
・治具アームのスイープ (スイープ幅、速度) 
・スラリーの滴下量/研磨液の切替
・ラッピングプレートのターゲット平坦度 (オプション) 
・プロセスレシピ設定
・研磨レートのチャート表示

■LP70の特徴・研磨除去量のデータを平均化する機能によって、粒径の大きなスラリーを使用した際や柔らかいパッドを使用したポリッシング時においても、高い精度でサンプルの厚みを制御しながら研磨することができます。
・目標研磨量を治具個々に設定することができます。また、全ての治具の平均値を設定することもできますので、例えば全ての治具の研磨量の平均が10umに達したら停止する、といったことが可能です。

型番
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シリーズ
ラッピング・ポリッシング装置 PM6/LP70シリーズ卓上型精密研磨装置 LP70

取扱企業
ハイソル株式会社

カテゴリ

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ラッピング・ポリッシング装置 PM6/LP70シリーズ卓上型精密研磨装置 LP70 品番1件

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	LP70	要見積もり	110V, 50/60Hz	PP5 (x1~4) 、PP6 (x1~4) 、PP8 (x1~2)	5–100rpm	400mm	1,000mm	730mm	950mm	0.1um分解能

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