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マスフローコントローラの製品110点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 流量レンジ | バルブタイプ | アクチュエータ方式 | 制御流量範囲 | 応答性 | 流量精度 | 再現性 | 耐圧 | 外部リーク | 使用可能温度範囲 | 設定/出力信号 | 温度影響 | 圧力影響 | 接ガス部材質 | シール部材質 | 駆動電源(MFC) | 駆動電源(MFM) | 接続継手 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
C100L |
要見積もり |
10SCCM~50SLPM |
NC：ノーマルクローズ |
ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) |
2~100％F.S |
2sec(設定値の±2％以内) |
±1.0％F.S |
±0.2％F.S |
3.4MPa(G) |
5×10-10Pa･m3/secHe |
0~50℃ |
標準：0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC、4~20mA、0~20mA、RS232変更可オプション：RS485、DeviceNet、ModbusRTU(RS232、RS485)、ProfibusDP(RS232)、Fieldbus(RS232) |
±0.05％/℃F.S |
±0.0015％/kPaF.S |
SUS316L、バイトンorネオプレンorカルレッツorポリアミド選択 |
バイトンorネオプレン選択 |
24VDC±10％500mA |
15~24VDC±10％30mA |
1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど |
|
|
|
C100M |
要見積もり |
20~200SLPM |
NC：ノーマルクローズ |
ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) |
2~100％F.S |
2sec(設定値の±2％以内) |
±1.0％F.S |
±0.2％F.S |
3.4MPa(G) |
5×10-10Pa･m3/secHe |
0~50℃ |
標準：0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC、4~20mA、0~20mA、RS232変更可オプション：RS485、DeviceNet、ModbusRTU(RS232、RS485)、ProfibusDP(RS232)、Fieldbus(RS232) |
±0.05％/℃F.S |
±0.0015％/kPaF.S |
SUS316L、バイトンorネオプレンorカルレッツorポリアミド選択 |
バイトンorネオプレン選択 |
24VDC±10％800mA |
15~24VDC±10％230mA |
1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど |
|
|
|
C100M1 |
要見積もり |
201~300SLPM |
NC：ノーマルクローズ |
ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) |
2~100％F.S |
2sec(設定値の±2％以内) |
±2.0％F.S |
±0.2％F.S |
3.4MPa(G) |
5×10-10Pa･m3/secHe |
0~50℃ |
標準：0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC、4~20mA、0~20mA、RS232変更可オプション：RS485、DeviceNet、ModbusRTU(RS232、RS485)、ProfibusDP(RS232)、Fieldbus(RS232) |
±0.05％/℃F.S |
±0.0015％/kPaF.S |
SUS316L、バイトンorネオプレンorカルレッツorポリアミド選択 |
バイトンorネオプレン選択 |
24VDC±10％1260mA |
15~24VDC±10％230mA |
1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど |
|
|
|
C100H |
要見積もり |
100~500SLPM |
NC：ノーマルクローズ |
ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) |
2~100％F.S |
2sec(設定値の±2％以内) |
±1.0％F.S |
±0.2％F.S |
3.4MPa(G) |
5×10-10Pa･m3/secHe |
0~50℃ |
標準：0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC、4~20mA、0~20mA、RS232変更可オプション：RS485、DeviceNet、ModbusRTU(RS232、RS485)、ProfibusDP(RS232)、Fieldbus(RS232) |
±0.05％/℃F.S |
±0.0015％/kPaF.S |
SUS316L、バイトンorネオプレンorカルレッツorポリアミド選択 |
バイトンorネオプレン選択 |
24VDC±10％1260mA |
15~24VDC±10％230mA |
1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど |
|
|
|
C100H1 |
要見積もり |
501~800SLPM |
NC：ノーマルクローズ |
ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) |
2~100％F.S |
2sec(設定値の±2％以内) |
±1.0％F.S |
±0.2％F.S |
3.4MPa(G) |
5×10-10Pa･m3/secHe |
0~50℃ |
標準：0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC、4~20mA、0~20mA、RS232変更可オプション：RS485、DeviceNet、ModbusRTU(RS232、RS485)、ProfibusDP(RS232)、Fieldbus(RS232) |
±0.05％/℃F.S |
±0.0015％/kPaF.S |
SUS316L、バイトンorネオプレンorカルレッツorポリアミド選択 |
バイトンorネオプレン選択 |
24VDC±10％1260mA |
15~24VDC±10％230mA |
1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど |
|
|
|
C100H2 |
要見積もり |
801~1000SLPM |
NC：ノーマルクローズ |
ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) |
2~100％F.S |
2sec(設定値の±2％以内) |
±1.0％F.S |
±0.2％F.S |
3.4MPa(G) |
5×10-10Pa･m3/secHe |
0~50℃ |
標準：0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC、4~20mA、0~20mA、RS232変更可オプション：RS485、DeviceNet、ModbusRTU(RS232、RS485)、ProfibusDP(RS232)、Fieldbus(RS232) |
±0.05％/℃F.S |
±0.0015％/kPaF.S |
SUS316L、バイトンorネオプレンorカルレッツorポリアミド選択 |
バイトンorネオプレン選択 |
24VDC±10％1260mA |
15~24VDC±10％230mA |
1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど |
|
|
C100L-HP |
要見積もり |
10SCCM~20SLPM |
NC：ノーマルクローズ |
ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) |
2~100％F.S |
2sec(設定値の±2％以内) |
±1.0％F.S |
±0.2％F.S |
10.3MPa(G) |
5×10-10Pa･m3/secHe |
0~50℃ |
標準：0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC、4~20mA、0~20mA、RS232変更可オプション：RS485、DeviceNet、ModbusRTU(RS232、RS485)ProfibusDP(RS232)、Fieldbus(RS232) |
±0.05％/℃F.S |
±0.0015％/kPaF.S |
SUS316L、バイトンorネオプレンorカルレッツorポリアミド選択 |
バイトンorネオプレン選択 |
24VDC±10％800mA |
- |
1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど |
|
|
|
C140 |
要見積もり |
10SCCM~200SLPM |
NC：ノーマルクローズ |
ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) |
2~100％F.S |
2sec(設定値の±2％以内) |
±1.0％F.S |
±0.2％F.S |
3.4MPa(G) |
5×10-10Pa･m3/secHe |
0~50℃ |
標準：0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC、4~20mA、0~20mA、RS232変更可オプション：RS485、DeviceNet、ModbusRTU(RS232、RS485)ProfibusDP(RS232)、Fieldbus(RS232) |
±0.05％/℃F.S |
±0.0015％/kPaF.S |
SUS316L、バイトンorネオプレンorカルレッツorポリアミド選択 |
バイトンorネオプレン選択 |
24VDC±10％800mA |
- |
1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど |
|
|
|
C101 |
要見積もり |
4SCCM |
NC：ノーマルクローズ |
ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) |
2~100％F.S |
2sec(設定値の±2％以内) |
±1.0％F.S |
±0.2％F.S |
3.4MPa(G) |
5×10-10Pa･m3/secHe |
0~50℃ |
標準：0~5VDC、1~5VDC、0~10VDC、4~20mA、0~20mA、RS232変更可オプション：RS485、DeviceNet、ModbusRTU(RS232、RS485)ProfibusDP(RS232)、Fieldbus(RS232) |
±0.05％/℃F.S |
±0.0015％/kPaF.S |
SUS316L、バイトンorネオプレンorカルレッツorポリアミド選択 |
バイトンorネオプレン選択 |
24VDC±10％400mA |
15~24VDC±10％130mA |
1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど |
|
|
C50L |
要見積もり |
20SCCM~50SLPM |
NC：ノーマルクローズ |
ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) |
2~100％F.S |
2sec(設定値の±2％以内) |
±1.0％F.S |
±0.25％F.S |
1MPa(G) |
5×10-10Pa･m3/secHe |
0~50℃ |
RS232or0~5VDC+RS232or4~20mA+RS232orRS485選択 |
±0.05％/℃F.S |
±0.0015％/kPaF.S |
SUS316Lorアルミ選択、バイトン |
バイトン |
24VDC±10％315mARS485：130mA |
15~24VDC±10％85mA |
1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど |
|
|
|
C50M |
要見積もり |
50~200SLPM |
NC：ノーマルクローズ |
ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) |
2~100％F.S |
2sec(設定値の±2％以内) |
±1.0％F.S |
±0.25％F.S |
1MPa(G) |
5×10-10Pa･m3/secHe |
0~50℃ |
RS232or0~5VDC+RS232or4~20mA+RS232orRS485選択 |
±0.05％/℃F.S |
±0.0015％/kPaF.S |
SUS316Lorアルミ選択、バイトン |
バイトン |
24VDC±10％850mARS485：130mA |
- |
1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど |
