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マスフローコントローラの製品121点中、注目ランキング上位6点
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次の条件に該当する商品を1件表示しています
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 流量(N2換算流量) | バルブタイプ | 制御流量範囲 | 流量精度 | 流量設定信号 | 流量出力信号 | 再現性 | 応答時間 | 必要差圧 | 最大動作圧力 | 耐圧力 | 使用保証温度 | 外部リーク | 取付姿勢 | 供給電源電圧、消費電流 | 通信方式 | 接ガス部材質 | シール部材質 | アクチュエータ方式 | 表面処理 | 接続継手 | デジタル通信 | バルブ動作 | 使用保証温度範囲 | 消費電流 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
FCST1005 (M) F / FCST1005 (M) FD |
要見積もり |
10,20,30,50,100,200,300,500SCCM1,2,3,5SLM |
NC：ノーマルクローズNO：ノーマルオープン |
2~100％F.S |
±1％F.S(精度保証範囲15~35℃) |
0.1~5VDC |
0~5VDC |
±0.2％F.S |
≦1sec |
50~300KPa |
400KPa(G) |
1MPa(G) |
5~50℃ |
メタルシール：1×10-11Pa･m3/secHeラバーシール：1×10-7Pa･m3/secHe |
指定なし(自由) |
+15VDC：50mA、-15VDC：200mADeviceNet：+11~24VDC、5.5VA(5.5W) |
アナログ：0~5VDC/デジタル：RS485(フジキンプロトコル)、DeviceNet |
SUS316L、磁性ステンレス、PTFE、(ラバーシール：フッ素ゴム又はクロロプレンゴム) |
メタルシール：SUS316Lラバーシール：フッ素ゴム又はクロロプレンゴム |
ソレノイドアクチュエータ |
EP処理オプション、ラバーシールはオプション無し |
1/4インチUJR、1/4インチF900、1.5W-Seal、1.125W-Seal、1.125C-Seal |
RS485、標準通信速度38400bps、最大接続台数127台 |
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使用用途: 半導体製造
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