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熱式流量計 PIマスフローコントローラ MODEL ST-500シリーズ-ST-500
熱式流量計 PIマスフローコントローラ MODEL ST-500シリーズ-コフロック株式会社

熱式流量計 PIマスフローコントローラ MODEL ST-500シリーズ
コフロック株式会社

💻 電子・電気機器業界用 ⚡ エネルギー業界用 🧪 化学業界用

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この製品について

■ST-500 SERIES

・PI...Pressure Insensitive 圧力変動に対し安定した流量制御が可能 ・ダイヤフラム式バルブ採用のメタルシールMFCで、EP処理及び酸化被膜処理により腐蝕性流体に対応 ・DeviceNet®、EtherCAT®通信対応 ・IGS Wシール継手対応 ・S.P.精度で高精度な計測制御が可能、全流量制御範囲 応答1sec以内 ・専用アプリによるマルチレンジ機能 (30~110%F.S.)

■PI機能

従来型のマスフローコントローラは、供給側の圧力変動に過敏に反応することで、瞬間的に大きく流量が乱れるなど、制御が不安定になるという課題がありました。ST-500は、この課題を解消するPI機能 (PI…Pressure Insensitive 圧力鈍感性) を新たに備えたマスフローコントローラです。流量センサ前段に圧力センサを搭載しており、そこで捉えた圧力変動を変動前の圧力と比較しリアルタイムでバルブ開度に補正をかけることで、圧力変動に対して安定した流量制御を行うことが可能です。半導体製造装置など、安定性や正確性が必要となるガス供給プロセスに適しております。

  • シリーズ

    熱式流量計 PIマスフローコントローラ MODEL ST-500シリーズ
  • 利用シーン

    電子・電気機器業界用 / エネルギー業界用 / 化学業界用

企業レビュー 5.0

Metoree経由で見積もり

2024年11月11日にレビュー済み

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熱式流量計 PIマスフローコントローラ MODEL ST-500シリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) センサ方式 バルブ方式 フルスケール流量 (N2換算) 制御範囲 応答性 精度 再現性 動作差圧 入口最大圧 耐圧 PI機能 Heリークレート 許容周囲温度 精度保証温度 許容保存温度 許容周囲湿度 接ガス部材質 デジタルインターフェース 所要電源 継手・面間寸法 重量
熱式流量計 PIマスフローコントローラ MODEL ST-500シリーズ-品番-ST-500

ST-500

要見積もり

熱式巻線センサ

比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉)

100SCCM~10SLM
30SLM

2~100%F.S.

1sec以内

±1%S.P. (10~100%F.S.)
±0.1%F.S. (2~10%F.S.)

±0.2%F.S.

50~300kPa
200~300kPa

300kPa (G)

1MPa (G)

Overshoot ±2%F.S.

1×10^-11Pa・m3/sec以下

5~50℃

15~40℃

0~60℃

0~80%RH (結露なきこと)

SUS316L、PTFE、Au、Co-Ni

DeviceNet®、EtherCAT®

11~25VDC (5VA max)

1.125”Wシール92mm
1/4”VCR相当

約1,000g

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この商品の取り扱い会社情報

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5.0

会社概要

コフロック株式会社は、1949年創業の流体計測制御機器/ガス発生装置メーカーです。
本社を京都府京田辺市に置き、国内には東京メインオフィスや大阪オフィス、名古屋オフィス、九州出張所などの営業拠点を設けています。<...

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  • 本社所在地: 京都府
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