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熱式流量計 マルチガス・マルチレンジ機能付小型デジタルマスフローコントローラ MODEL EX-201Sシリーズ取扱企業
コフロック株式会社カテゴリ
Metoree経由で見積もり
2024年11月11日にレビュー済み
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非常に迅速で明快な回答でした
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1.60時間
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | センサ方式 | バルブ方式 | 対象ガス | フルスケール流量 (N2換算) | 制御範囲 | 精度 | 再現性 | 動作差圧 | 入口最大圧 | 耐圧 | Heリークレート | 許容周囲温度 | 精度保証温度 | 許容保存温度 | 許容周囲湿度 | 接ガス部材質 | 電気接続 | 流量設定信号 | 流量出力信号 | デジタル通信 | 所要電源 | 継手 (本体口径) | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
EX-201SC-RJ |
要見積もり |
熱式 巻線センサ |
比例ソレノイドバルブ (非通電時閉) |
N2 (Air、H2、He、Ar、O2、CO2、CH4/C.F.切替) |
10/30/50/100/300/500SCCM 1/3/5/10SLM |
2~100%F.S. |
±1%S.P. (＞35%F.S.) ±0.35%F.S. (≦35%F.S.) |
±0.2%F.S. |
F.S.＜10SLM 50~300KPa (Ar CO2:100~300KPa) |
500kPa (G) |
1MPa (G) |
1×10-8Pa・m3/sec以下 |
5~50℃ |
15~35℃ |
-10~60℃ |
10~90％RH (結露なきこと) |
SUS316L、SUS316、磁気ステンレス、PTFE、FKM (オプションNBR or FFKM) |
D-sub9ピン RJ45コネクタ×2 |
0~5VDC (入力インピーダンス約1MΩ) or 4~20mA (入力インピーダンス約250Ω) |
0~5VDC (負荷抵抗10KΩ以上) or 4~20mA (負荷抵抗500Ω以下) |
標準：RS485 (オリジナルプロトコル) |
＋15VDC (±5%) 100mA以下 -15VDC (±5%) 150mA以下 |
標準：1/4SWL |
約500g |
