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光学素子設計/加工装置 マスクレス露光装置 SMART PRINT UV スタンダード-SMART PRINT UV スタンダード
光学素子設計/加工装置 マスクレス露光装置 SMART PRINT UV スタンダード-株式会社フィジックステクノロジー

光学素子設計/加工装置 マスクレス露光装置 SMART PRINT UV スタンダード
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この製品について

プロジェクタ技術を活用したマスクレス露光装置です。デスクトップ型ですので、設置場所を選ばず簡単にご使用いただけます。

■主な特徴

・描画分解能：1.5μm ・描画範囲及び分解能を対物レンズで可変 ・CADファイルまたはBMPイメージに対応 ・i, h, g-line露光用フォトレジストに対応 ・カメラ画像による位置決め機能 ・サンプルサイズ：最大5”角ウエハに対応 ・シリコン、硝子、金属、樹脂など様々なサブストレートに対応

■PHAOSソフトウエア機能

・ステップ＆リピート機能 ・自動doseテスト ・スティッチング機能 ・位置調整機能 ・CADデータ変換 (GDSII, dxf, cif, oas)

  • シリーズ

    光学素子設計/加工装置 マスクレス露光装置 SMART PRINT UV スタンダード

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光学素子設計/加工装置 マスクレス露光装置 SMART PRINT UV スタンダード 品番1件

次の条件に該当する商品を1件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) 光源 最小加工サイズ 位置決め精度@1cm2プリント面積 最大露光面積 サブストレートサイズ 描画スピード 装置寸法
光学素子設計/加工装置 マスクレス露光装置 SMART PRINT UV スタンダード-品番-SMART PRINT UV スタンダード

SMART PRINT UV スタンダード

要見積もり

露光: 385nm / 位置決め: 590nm

1.5μm

2μm

70x70mm

4”以下

77mm2/分

W:52xD:52xH:69cm

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