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シリーズ
光学素子設計/加工装置 マスクレス露光装置 SMART PRINT UV スタンダード取扱企業
株式会社フィジックステクノロジーカテゴリ
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 光源 | 最小加工サイズ | 位置決め精度@1cm2プリント面積 | 最大露光面積 | サブストレートサイズ | 描画スピード | 装置寸法 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
SMART PRINT UV スタンダード |
要見積もり |
露光: 385nm / 位置決め: 590nm |
1.5μm |
2μm |
70x70mm |
4”以下 |
77mm2/分 |
W:52xD:52xH:69cm |
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FPD露光装置の製品35点中、注目ランキング上位6点
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使用用途
#半導体製造 #微細加工 #フォトリソグラフィ #研究開発 #MEMS #バイオテクノロジー #3次元露光 #水晶発振子製造 #タッチパネル #ディスプレイ露光方式
マスク露光型 スキャン露光型 マスクレス露光型光源種類
水銀ランプ型 エキシマレーザー型 LED光源型解像方式
接触露光型 近接露光型 投影露光型搬送方式
ステージ移動型 ロール搬送型対応サイズ
大型基板対応型 中小型基板対応型最小露光線幅 µm
0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20光源波長 nm
200 - 300 300 - 350 350 - 400 400 - 500 500 - 1,100露光領域 mm
0 - 50 50 - 150 150 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,100対物レンズ倍率 倍
0 - 5 5 - 15 15 - 50 50 - 100 100 - 150露光時間ショットあたり 秒
0 - 5 5 - 10 10 - 15消費電力 kW
0 - 3 3 - 6返答率
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返答時間
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