光学素子設計/加工装置 マスクレス露光装置 SMART PRINT UV スタンダード-SMART PRINT UV スタンダード
光学素子設計/加工装置 マスクレス露光装置 SMART PRINT UV スタンダード-株式会社フィジックステクノロジー

光学素子設計/加工装置 マスクレス露光装置 SMART PRINT UV スタンダード
株式会社フィジックステクノロジー



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この製品について

プロジェクタ技術を活用したマスクレス露光装置です。デスクトップ型ですので、設置場所を選ばず簡単にご使用いただけます。

■主な特徴

・描画分解能:1.5μm ・描画範囲及び分解能を対物レンズで可変 ・CADファイルまたはBMPイメージに対応 ・i, h, g-line露光用フォトレジストに対応 ・カメラ画像による位置決め機能 ・サンプルサイズ:最大5”角ウエハに対応 ・シリコン、硝子、金属、樹脂など様々なサブストレートに対応

■PHAOSソフトウエア機能

・ステップ&リピート機能 ・自動doseテスト ・スティッチング機能 ・位置調整機能 ・CADデータ変換 (GDSII, dxf, cif, oas)

  • シリーズ

    光学素子設計/加工装置 マスクレス露光装置 SMART PRINT UV スタンダード

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光学素子設計/加工装置 マスクレス露光装置 SMART PRINT UV スタンダード 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 光源 最小加工サイズ 位置決め精度@1cm2プリント面積 最大露光面積 サブストレートサイズ 描画スピード 装置寸法
光学素子設計/加工装置 マスクレス露光装置 SMART PRINT UV スタンダード-品番-SMART PRINT UV スタンダード

SMART PRINT UV スタンダード

要見積もり 露光: 385nm / 位置決め: 590nm 1.5μm 2μm 70x70mm 4”以下 77mm2/分 W:52xD:52xH:69cm

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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