最小偏芯誤差が20nmと超低偏芯な回転ステージ エアーベアリング回転ステージ RT075S-RT075S
最小偏芯誤差が20nmと超低偏芯な回転ステージ エアーベアリング回転ステージ RT075S-株式会社フィジックステクノロジー

最小偏芯誤差が20nmと超低偏芯な回転ステージ エアーベアリング回転ステージ RT075S
株式会社フィジックステクノロジー



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この製品について

フィジックステクノロジーでは、SmarAct社の小型ピエゾステージとの組み合わせに最適なエアーベアリングステージをご提供しております。特にエアーベアリング回転ステージは偏芯エラーが少なく、煩雑な回転による誤差の修正を少なく制御できますので、制御時間の短縮につなげることができます。

■エアーベアリング回転ステージ

エアーベアリング回転ステージは、最小偏芯誤差が20nmと超低偏芯な回転ステージです。搭載物に応じて回転テーブルサイズを豊富にご用意しております。幅広いアプリケーションにご利用いただいております。

■ご利用アプリケーション

真円度測定システム、超精密加工装置、半導体関連機器、非球面マイクロマシニング、マイクロ・ナノトモグラフィー、医療用関連機器、レーザー微細加工装置

  • シリーズ

    最小偏芯誤差が20nmと超低偏芯な回転ステージ エアーベアリング回転ステージ RT075S

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最小偏芯誤差が20nmと超低偏芯な回転ステージ エアーベアリング回転ステージ RT075S 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) プレート径 耐荷重 偏芯誤差 面振れ誤差 角度精度 最大速度
最小偏芯誤差が20nmと超低偏芯な回転ステージ エアーベアリング回転ステージ RT075S-品番-RT075S

RT075S

要見積もり 74mm 137N 100nm 50nm ±13.8arcsec 300rpm

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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