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最小偏芯誤差が20nmと超低偏芯な回転ステージ エアーベアリング回転ステージ RT075S-RT075S
最小偏芯誤差が20nmと超低偏芯な回転ステージ エアーベアリング回転ステージ RT075S-株式会社フィジックステクノロジー

最小偏芯誤差が20nmと超低偏芯な回転ステージ エアーベアリング回転ステージ RT075S
株式会社フィジックステクノロジー



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この製品について

フィジックステクノロジーでは、SmarAct社の小型ピエゾステージとの組み合わせに最適なエアーベアリングステージをご提供しております。特にエアーベアリング回転ステージは偏芯エラーが少なく、煩雑な回転による誤差の修正を少なく制御できますので、制御時間の短縮につなげることができます。

■エアーベアリング回転ステージ

エアーベアリング回転ステージは、最小偏芯誤差が20nmと超低偏芯な回転ステージです。搭載物に応じて回転テーブルサイズを豊富にご用意しております。幅広いアプリケーションにご利用いただいております。

■ご利用アプリケーション

真円度測定システム、超精密加工装置、半導体関連機器、非球面マイクロマシニング、マイクロ・ナノトモグラフィー、医療用関連機器、レーザー微細加工装置

  • シリーズ

    最小偏芯誤差が20nmと超低偏芯な回転ステージ エアーベアリング回転ステージ RT075S

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最小偏芯誤差が20nmと超低偏芯な回転ステージ エアーベアリング回転ステージ RT075S 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) プレート径 耐荷重 偏芯誤差 面振れ誤差 角度精度 最大速度
最小偏芯誤差が20nmと超低偏芯な回転ステージ エアーベアリング回転ステージ RT075S-品番-RT075S

RT075S

要見積もり

74mm

137N

100nm

50nm

±13.8arcsec

300rpm

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