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立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応 スプレーコーター DC111-DC111
立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応 スプレーコーター DC111-株式会社三明

立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応 スプレーコーター DC111
株式会社三明

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この製品について

■立体・曲面構造物への塗布

微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、キャビティ、トレンチ構造部分など、従来のスピンナーで塗布が困難であった部分にも均一な膜を形成できます。

■薄膜から超厚膜まで対応

塗布膜厚は、スピンナークラスの薄膜 (100nm) から超厚膜 (500μm) まで対応が可能です。 ※薬液などの条件によってレンジは変わりますのでご注意願 います

■ガラス基板へのAG・AR・AF塗布

反射防止膜などの薬液をガラス材に均一にスプレーする用途にも最適です。パラレルリンク機構を採用したことで滑らかな上下動作による塗布が可能となりました。

  • シリーズ

    立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応 スプレーコーター DC111

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2024年10月7日にレビュー済み

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立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応 スプレーコーター DC111 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 塗布範囲 装置寸法 重量
立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応 スプレーコーター DC111-品番-DC111

DC111

要見積もり

220mm

1,000 (H) ×650 (W) ×680 (D) mm
デスクトップ型

100kg

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コーターをフィルターから探すことができます

有効塗布幅 mm

200 - 400 400 - 800 800 - 1200

ポンプ吐出量 ℓ/min

0 - 50 50 - 100

ヘッド形式

シングルヘッド

ヘッド材質

青銅鋳物 鋼材フッ素コーティング

塗工方式

グラビアコーター ダイコーター スロットダイコーター ミニスロットダイコーター コンマコーター ブレードコーター ダイレクトコート スリットコーター

塗工速度 mm/s

0 - 100 100 - 500 500 - 1.00E+03 1000 - 3.50E+03

XYZ繰返し位置精度 μm

0 - 10 10 - 100 100 - 150

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社三明は、三明電子産業株式会社、三明機工株式会社を含む三明グループの営業、企画および資本を統括するホールディングカンパニーです。 株式会社安川電機の機械工業用ロボットやコントローラーを取り扱っている他、三明オリジ...

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  • 本社所在地: 静岡県
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