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立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応 スプレーコーター DC111-DC111
立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応 スプレーコーター DC111-株式会社三明

立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応 スプレーコーター DC111
株式会社三明

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この製品について

■立体・曲面構造物への塗布

微細粒子化が可能なスプレーノズルにより、サブストレート上の傾斜面、キャビティ、トレンチ構造部分など、従来のスピンナーで塗布が困難であった部分にも均一な膜を形成できます。

■薄膜から超厚膜まで対応

塗布膜厚は、スピンナークラスの薄膜 (100nm) から超厚膜 (500μm) まで対応が可能です。 ※薬液などの条件によってレンジは変わりますのでご注意願 います

■ガラス基板へのAG・AR・AF塗布

反射防止膜などの薬液をガラス材に均一にスプレーする用途にも最適です。パラレルリンク機構を採用したことで滑らかな上下動作による塗布が可能となりました。

  • シリーズ

    立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応 スプレーコーター DC111

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立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応 スプレーコーター DC111 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 塗布範囲 装置寸法 重量
立体レジスト塗布・MEMSデバイス対応 スプレーコーター DC111-品番-DC111

DC111

要見積もり

220mm

1,000 (H) ×650 (W) ×680 (D) mm
デスクトップ型

100kg

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  • 本社所在地: 静岡県

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