電動多軸ステージ (XY, XZ, XYZ, 回転, ゴニオ, ジンバル等) ウェハ検査用XY-ΘZ 水平・回転ステージ-ウェハ検査用XY-ΘZ 水平・回転ステージ

電動多軸ステージ (XY, XZ, XYZ, 回転, ゴニオ, ジンバル等) ウェハ検査用XY-ΘZ 水平・回転ステージ
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この製品について

■電動多軸ステージ (XY, XZ, XYZ, 回転, ゴニオ, ジンバル等) Newport社では、さまざまな用途でご利用いただけるよう、直進ステージ、垂直ステージ (X, Z, XY, XYZ) 、回転ステージ、ゴニオステージ、傾斜ステージ (チルトステージ)  といった多彩なモーション・コントロール製品を標準製品として提供しています。

またこれら標準製品を組み合わせて、用途に必要な駆動軸をもつ特注電動多軸ステージを、特殊なインターフェイス・アダプタや大きな変更を加えることなく構築することもできます。性能計測には、軸の直交性 (通常 50～250μm範囲) と軸精度  (SOC 0.25～1mm範囲) が含まれます。 これらカスタムステージは、ターンキー・ソリューションとして、コントローラを含めて構築・納品いたします。

■標準製品から構築する電動多軸ステージ・短納期：標準コンポーネントを利用するため、フルカスタムに比べてはるかに短期間で納品できます
・高い信頼性：性能実証済みの標準コンポーネントを利用するため、技術的なリスクを軽減できます
・幅広い性能試験：モーション・システムのグローバル仕様は、納入前の広範な計測試験を通じて保証しています
・安心サポート：Newport社の50年にわたる設計やアプリケーション・エンジニアリングの経験と、日本レーザーの専門チームによる国内サポート実績で、最適なソリューションを提案いたします 