走査型プローブ顕微鏡 (SPM) 8インチ (200mm) ウエハ対応 AFM-IR装置 Vista 200 PiFM / PiF-IR-Vista200

走査型プローブ顕微鏡 (SPM) 8インチ (200mm) ウエハ対応 AFM-IR装置 Vista 200 PiFM / PiF-IR
株式会社日本レーザー

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この製品について

8インチ (200mm) ウエハをそのままサンプルステージに乗せてAFM-IR測定を実施できる大型サンプル対応モデルです。8インチウエハだけでなく、152mmのフォトマスクサンプルにも対応します。高空間分解能のケミカルイメージングのほか、ナノスケールIR分光により、ナノ異物分析にも対応します。IRライブラリにも対応します。

■半導体向け仕様200mm×200mmのサンプルステージを持つVista 200はウエハやフォトマスクの分析に最適です。Vista200は、マグネット付き真空チャックまたは専用EUVマスクホルダーのいずれかを使って構成できます。この装置は4インチ、6インチ、8インチウエハに最適です。

■強力ながら非破壊で測定MolecularVistaのAFM-IR PiFMは真の非接触モード計測が可能です。サンプルに触れることがないため、クリーンな状態に保たれ、チップもクリーンな状態が保たれます。

■工程の合理化付属のデータ解析ソフトウェアにより、チームは測定からプレゼンテーションに使える結果まで迅速に行うことができます。データ収集ソフトウェアとの緊密な連携により、必要な解析結果をリアルタイムで取得することが可能です。スクリプトAPIはカスタムレシピを可能にし、ファイルはオープンなので、サードパーティのソフトウェアとの統合も簡単です。

■卓越したAFM性能120µmのxyスキャナ、12µmのサンプルzスキャナ、そして統合された防振により、AFMの性能はトップクラスです。高帯域幅のデュアルzフィードバックシステムにより、IR PiFM用の真の非接触AFMを実現しています。

■産業向けに開発構築効率を最大化し、測定の妨げを最小化を実現。
幅300 mmのサンプルアクセスドアは、ドリフトの原因となる熱による妨げを最小限に抑え、生産性を最大化します。前方に移動するステージと使いやすいヘッドマウントにより、筐体全体を開けることなくチップとサンプルを簡単に交換することが可能です。

■自己完結型システム特別な環境は不要です。Vista200は、防振構造、0.1 ℃精度で温度制御された音響エンクロージャー、乾燥した空気での完全に密閉されたビーム経路を完備しています。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
走査型プローブ顕微鏡 (SPM) 8インチ (200mm) ウエハ対応 AFM-IR装置 Vista 200 PiFM / PiF-IR

取扱企業
株式会社日本レーザー

カテゴリ

観察機器

走査型プローブ顕微鏡 (SPM)

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走査型プローブ顕微鏡 (SPM) 8インチ (200mm) ウエハ対応 AFM-IR装置 Vista 200 PiFM / PiF-IR 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	サンプルステージ移動領域	走査サイズ	デュアル Z フィードバック	イメージングモード	分光モード	PiFレーザーオプション	デプスプローブ (IR)
	Vista200	要見積もり	200mm x 200mm square	120μm x 120μm	600nm 高速スキャナー付 12μm z-スキャナーが高帯域かつ広いz軸範囲の両方で走査	Non-contact AFM, PiFM, KPFM, cAFM, nano DMA, FvD (力 vs 距離) マッピング	PiFm-IR, FvD	QCL (770–1,840, 1,995–2,395cm−1) , OPO/DFG (590–2,050, 2,250–4,400, 5,000–7,000cm−1)	表面モードでは20 nm、バルクモードでは100 nm 超