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自動欠陥検査機能を搭載した唯一のウェハーファブ用AFM Park NX-Wafer取扱企業
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AFM (原子間力顕微鏡) の製品61点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 電動XYステージ | 電動フォーカスステージ | 試料厚さ許容範囲 | 電動Zステージ | 全スキャンレンジZクリアランス | COGNEXパターン認識 | XYスキャナレンジ | XYスキャナ分解能 | Zスキャナレンジ | Zスキャナ分解能 | Zスキャナ検出器雑音 | ADC | DAC | CE | 床振動ノイズ | 音響ノイズ | 設備条件 室温 (待機時) | 設備条件 室温 (稼働時) | 設備条件 湿度 | 設備条件 床振動レベル | 設備条件 音響ノイズ | 設備条件 排気系 | 設備条件 電源 | 設備条件 総合消費電力 | 設備条件 グラウンド抵抗 | 200mmシステムレイアウト | 300mmシステムレイアウト |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
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NX-Wafer |
要見積もり |
200mm : 駆動 275mm×200mm、分解能0.5μm/300mm : 駆動 400mm×300mm、分解能 0.5μm |
Z駆動距離 9mm、直上光学系 |
最大20mm |
Z駆動距離 25mm、分解能 0.08μm、再現性<1μm |
<2nm、再現性<1nm |
パターンアライン分解能1/4ピクセル |
100µm×100µm (Large mode) 、50µm×50µm (Medium mode) 、10µm×10µm (Small mode) |
0.15nm (Large mode) |
15µm (Large mode) 、2µm (Small mode) |
0.016nm (Large mode) 、0.002nm (Small mode) |
0.03nm, rms (typical) |
18チャンネル、4高速 ADCチャンネル (64 MSPS) 、24ビット ADC ( X、Y及び Zスキャナ ポジションセンサー) |
17チャンネル、2高速 DAC チャンネル (64 MSPS) 、20ビット DAC ( X、Y及び Zスキャナ ポジションセンサ) |
SEMI スタンダード S2/S8 |
<0.5μm/s (10Hz~200Hz、アクティブ防振台使用) |
>20dB低減 (アクースティックエンクロージャー使用) |
10℃~40℃ |
18℃~24℃ |
30％~60％ (結露が無い事) |
VC-D基準 (6μm/sec) |
65dB以下 |
真空 : -80kPa、CDA (orN2) : 0.7MPa |
208V-240V、単相、15A (最大) |
2KW (公称) |
100オーム以下 |
2,732mm (幅) ×1,100mm (奥行) x2,400mm (高) 、約2,110kg (コントロールキャビネット含む) 、天井高 2,500mm以下 ほか |
3,486mm (幅) ×1,450mm (奥行) x2,400mm (高) 、約2,950kg (コントロールキャビネット含む) 、天井高 2,500mm以下 ほか |
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