汎用性の高いAFMで生産性を大幅に向上 Park NX20 Lite
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この製品について
■マルチサンプルスキャンで簡単にできる試料の測定
・1回の測定で複数の試料を自動イメージング ・最大16個の試料を搭載できるマルチサンプルチャック (オプション) ・最大150mmx150mmまで移動できるモーター駆動式XYステージ■クロストークの除去による正確なXYスキャン
・二つの独立したクローズドループXYおよびZフレクチャー式Zスキャナ ・フラットで直交するXYスキャンで湾曲を減少 ・ソフトウェア補正を必要としない高精度測定■真のノンコンタクト™モードによる最高のチップ寿命、分解能、試料の保存性
・高速Zサーボによる真のノンコンタクト™モードの実現 ・チップの摩耗を最小限に抑え、高品質・高解像度のイメージングを長期間実現■多彩なモードとオプション
・包括的な測定モードと特性評価 ・オプションのアクセサリやアップグレードで機能の拡張 ・故障解析 (FA) のための高度な電気測定-
シリーズ
汎用性の高いAFMで生産性を大幅に向上 Park NX20 Lite
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取扱企業
パーク・システムズ・ジャパン株式会社
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汎用性の高いAFMで生産性を大幅に向上 Park NX20 Lite 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | Zスキャナ スキャン範囲 | XYスキャナ スキャン範囲 | 電動Zステージ駆動範囲 | 電動XYステージ駆動範囲 | サンプル サイズ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
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NX20 Lite |
要見積もり | 15μm (オプションにて30μm) | 100µm×100µm | 25.5mm (オプション ステージの再現性を向上させる高精度エンコーダ) | 150mm (オプションにて200mm) (オプション XYステージの繰り返し精度を向上させる高精度エンコーダ) | 150mmまでのウェハー、200mmまでのウェハー (オプション; 200mm真空サンプルチャック) |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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- 本社所在地: 東京都