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汎用性の高いAFMで生産性を大幅に向上 Park NX20 Lite取扱企業
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走査型プローブ顕微鏡 (SPM)の製品58点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | Zスキャナ スキャン範囲 | XYスキャナ スキャン範囲 | 電動Zステージ駆動範囲 | 電動XYステージ駆動範囲 | サンプル サイズ |
---|---|---|---|---|---|---|---|
![]() |
NX20 Lite |
要見積もり |
15μm (オプションにて30μm) |
100µm×100µm |
25.5mm (オプション ステージの再現性を向上させる高精度エンコーダ) |
150mm (オプションにて200mm) (オプション XYステージの繰り返し精度を向上させる高精度エンコーダ) |
150mmまでのウェハー、200mmまでのウェハー (オプション; 200mm真空サンプルチャック) |
走査型プローブ顕微鏡 (SPM)をフィルターから探すことができます
XYスキャナレンジ µm
10 - 70 70 - 100 100 - 120Zスキャナレンジ μm
1 - 5 5 - 15 15 - 30分解能 nm
0 - 1 1 - 100真空度 nPa
0 - 100 100 - 50,000到達温度 K
0 - 1 1 - 6 6 - 101振動ノイズ μm/s
0 - 1 1 - 7コンピュータソフト
C# LabView MatLab Visual Basic Windows 7以降 Windowsスクリプトインターフェイス データ収集・解析ソフト 観察用カメラ 装置制御XYステージ駆動範囲 mm
-12 - 0 0 - 20 20 - 200 200 - 300 300 - 400Zステージ駆動範囲 mm
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