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汎用性の高いAFMで生産性を大幅に向上 Park NX20 Lite-NX20 Lite
汎用性の高いAFMで生産性を大幅に向上 Park NX20 Lite-パーク・システムズ・ジャパン株式会社

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この製品について

Park NX20 Liteは、多様な試料を扱う共同研究室、多変量解析やウェハーの故障解析に最適な多くの独自の機能を備えています。 また、リーズナブルな価格設定と充実した機能により、大型試料用AFMとしては業界で最も経済的な製品の一つとなっています。

■マルチサンプルスキャンで簡単にできる試料の測定

・1回の測定で複数の試料を自動イメージング ・最大16個の試料を搭載できるマルチサンプルチャック (オプション) ・最大150mmx150mmまで移動できるモーター駆動式XYステージ

■クロストークの除去による正確なXYスキャン

・二つの独立したクローズドループXYおよびZフレクチャー式Zスキャナ ・フラットで直交するXYスキャンで湾曲を減少 ・ソフトウェア補正を必要としない高精度測定

■真のノンコンタクト™モードによる最高のチップ寿命、分解能、試料の保存性

・高速Zサーボによる真のノンコンタクト™モードの実現 ・チップの摩耗を最小限に抑え、高品質・高解像度のイメージングを長期間実現

■多彩なモードとオプション

・包括的な測定モードと特性評価 ・オプションのアクセサリやアップグレードで機能の拡張 ・故障解析 (FA) のための高度な電気測定

  • シリーズ

    汎用性の高いAFMで生産性を大幅に向上 Park NX20 Lite

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汎用性の高いAFMで生産性を大幅に向上 Park NX20 Lite 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) Zスキャナ スキャン範囲 XYスキャナ スキャン範囲 電動Zステージ駆動範囲 電動XYステージ駆動範囲 サンプル サイズ
汎用性の高いAFMで生産性を大幅に向上 Park NX20 Lite-品番-NX20 Lite

NX20 Lite

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15μm (オプションにて30μm)

100µm×100µm

25.5mm (オプション ステージの再現性を向上させる高精度エンコーダ)

150mm (オプションにて200mm) (オプション XYステージの繰り返し精度を向上させる高精度エンコーダ)

150mmまでのウェハー、200mmまでのウェハー (オプション; 200mm真空サンプルチャック)

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