汎用性の高いAFMで生産性を大幅に向上 Park NX20 Lite-NX20 Lite

汎用性の高いAFMで生産性を大幅に向上 Park NX20 Lite
パーク・システムズ・ジャパン株式会社

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この製品について

Park NX20 Liteは、多様な試料を扱う共同研究室、多変量解析やウェハーの故障解析に最適な多くの独自の機能を備えています。 また、リーズナブルな価格設定と充実した機能により、大型試料用AFMとしては業界で最も経済的な製品の一つとなっています。

■マルチサンプルスキャンで簡単にできる試料の測定・1回の測定で複数の試料を自動イメージング
・最大16個の試料を搭載できるマルチサンプルチャック (オプション) 
・最大150mmx150mmまで移動できるモーター駆動式XYステージ

■クロストークの除去による正確なXYスキャン・二つの独立したクローズドループXYおよびZフレクチャー式Zスキャナ
・フラットで直交するXYスキャンで湾曲を減少
・ソフトウェア補正を必要としない高精度測定

■真のノンコンタクト™モードによる最高のチップ寿命、分解能、試料の保存性・高速Zサーボによる真のノンコンタクト™モードの実現
・チップの摩耗を最小限に抑え、高品質・高解像度のイメージングを長期間実現

■多彩なモードとオプション・包括的な測定モードと特性評価
・オプションのアクセサリやアップグレードで機能の拡張
・故障解析 (FA) のための高度な電気測定

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
汎用性の高いAFMで生産性を大幅に向上 Park NX20 Lite

取扱企業
パーク・システムズ・ジャパン株式会社

カテゴリ

観察機器

AFM (原子間力顕微鏡)

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汎用性の高いAFMで生産性を大幅に向上 Park NX20 Lite 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	Zスキャナスキャン範囲	XYスキャナスキャン範囲	電動Zステージ駆動範囲	電動XYステージ駆動範囲	サンプルサイズ
	NX20 Lite	要見積もり	15μm (オプションにて30μm)	100µm×100µm	25.5mm (オプションステージの再現性を向上させる高精度エンコーダ)	150mm (オプションにて200mm) (オプション XYステージの繰り返し精度を向上させる高精度エンコーダ)	150mmまでのウェハー、200mmまでのウェハー (オプション; 200mm真空サンプルチャック)