流体計測制御機器 マスフローコントローラ/メータ
コフロック株式会社
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この製品について
■仕様表記
本カタログのマスフローコントローラ/メータの仕様表記については、基本的にSEMI standardに準じています。 以下代表的な仕様の定義を説明します。■精度
±○%F.S. (フルスケール) という形で表示しています。この値は弊社基準流量計に対する校正基準としたガス (N₂等) での誤差のフルスケール値に対する%値です。従って、例えばフルスケール50SCCMのレンジの場合、精度が±1%であれば、50× (1/100) ＝±0.5SCCMの「不確かさ」で弊社基準流量に対して保証されるという事になります。 一方、±○%S.P. (セットポイント) という形で表記する場合もございます。この場合は設定した流量値に対する%値になります。■再現性
指定の動作条件で指定の期間に渡り、上下両方向から設定したある設定値において、繰り返された設定値が近似する度合いのことです。■応答性
流量ゼロから制御を開始し、マスフローコントローラの出力がフルスケール98%に安定する時間で示しています。100%は、漸近線状の場合、解析しづらい為、通常この様に表記します。 仕様表の流量、応答性、精度、動作差圧等の項目については、N₂またはAirでの仕様となりますことをご了承ください。 ※他にも品番がございます。-
シリーズ
流体計測制御機器 マスフローコントローラ/メータ
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取扱企業
コフロック株式会社
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カテゴリ
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流体計測制御機器 マスフローコントローラ/メータ 品番10件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 品名 | センサ方式 | バルブ方式 | フルスケール流量 (N2換算) | 制御範囲 | 応答性 | 精度 | 再現性 | 動作差圧 | 入口最大圧 | 耐圧 | PI機能 | Heリークレート | 許容周囲温度 | 精度保証温度 | 許容保存温度 | 許容周囲湿度 | 接ガス部材質 | デジタルインターフェース | 所要電源 | 継手･面間寸法 | 重量 | 対象ガス | 電気接続 | 流量出力信号 | イベント出力 | デジタル通信 | 表示器 | 継手 (本体口径) | 流量設定信号 | 温度係数 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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MODEL ST-500 SERIES |
要見積もり | PIマスフローコントローラ | 熱式巻線センサ | 比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉) |
100SCCM~10SLM 30SLM |
2~100%F.S. | 1sec以内 |
±1%S.P. (10~100%F.S.) ±0.1%F.S. (2~10%F.S.) |
±0.2%F.S. |
50~300kPa 200~300kPa |
300kPa (G) | 1MPa (G) | Overshoot ±2%F.S. | 1×10-11Pa・m3/sec以下 | 5~50℃ | 15~40℃ | 0~60℃ | 0~80%RH (結露なきこと) | SUS316L、PTFE、Au、Co-Ni | DeviceNet M12 (Male) 5pin | 11~25VDC (5VA max) |
1.125”Wシール 92mm 1/4”VCR相当 |
約1,000g | - | - | - | - | - | - | - | - | - | |
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EXE-FLOW™ MODEL EX-700R SERIES |
要見積もり | 表示器付デジタルマスフローメータ | 熱式巻線センサ | - | 10/50/100/500SCCM 1/5/10/20SLM | - | - |
±1%F.S. ±1.5%F.S. |
±0.2%F.S. | - | 500kPa (G) | 1mPa (G) | - | - | 5~50℃ | 15~35℃ | -10~60℃ | 10~90%RH (結露なきこと) | SUS316L、SUS316、PTFE、FKM (オプション NBR or CR) | - | 24DC (±10%) 100mA以下 | - | 約600g (バルブ含まず) | N₂ (Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂、CH₄/C.F.切替) | D-sub9ピン |
4~20mA (負荷抵抗500Ω以下) 0~5VDC (負荷抵抗10kΩ以上) 1~5VDC (負荷抵抗10kΩ以上) |
NPNオープンコレクタ2点 (最大定格30VDC 50mA) | RS485 (MODBUSプロトコル、RTUモード) | 4桁7セグメントLED |
標準:1/4SWL オプション:1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4 (9/16-18 UNF) |
- | - | |
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MODEL EX-250S SERIES |
要見積もり | 小型デジタルマスフローコントローラ/メータ | 熱式巻線センサ | 比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉) | 5SCCM~10SLM | 2~100%F.S. |
全流量範囲 1sec以内 (within±2%F.S.) (F.S.5SCCMのみ2sec以内) (L：50~149kPa H：150~300kPa) |
±1%F.S. | ±0.2%F.S. |
F.S.＜10SLM 50~300kPa (Ar CO2：100~300kPa) F.S.10SLM 100~350kPa (Ar CO2：150~300kPa) |
500kPa (G) | 1MPa (G) | - | 1×10－8Pa・m3/sec以下 | 5~50℃ | 15~35℃ | －10~60℃ | 10~90%RH (結露なきこと) | SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、 PTFE、FKM (オプション NBR or CR) | - |
＋15VDC (±5%) 100mA以下 －15VDC (±5%) 150mA以下 or 24VDC (±10%) 300mA以下 |
- | 約500g | N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 |
D-sub9ピン RJ45コネクタ×2 |
0~5VDC (負荷抵抗10kΩ以上) or 4~20mA (負荷抵抗500Ω以下) or 4~20mA (入力インピーダンス約250Ω) |
NPNオープンコレクタ1点 (最大定格30VDC 50mA) (電源24VDC仕様のみ) | RS485 | - |
標準：1/4SWL オプション：1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4 (9/16-18UNF) |
0~5VDC (入力インピーダンス約1MΩ) or 4~20mA (入力インピーダンス約250Ω) | - | |
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MODEL EX-550 SERIES |
要見積もり | メタルシールデジタルマスフローコントローラ/メータ | 熱式巻線センサ | 比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉) | 10SCCM~5SLM | 2~100%F.S. |
全流量範囲 1sec以内 (within±2%F.S.) (L：50~149kPa H：150~300kPa) |
±1%S.P. (25~100%F.S.) ±0.25%F.S. (~25%F.S.) |
±0.2%F.S. | 50~300kPa (Ar CO2：100~300kPa) | 350kPa (G) | 1MPa (G) | - | 1×10－11Pa・m3/sec以下 | 5~50℃ | 15~35℃ | －10~60℃ | 10~90%RH (結露なきこと) | SUS316L、磁性ステンレス、PTFE | - | ＋15VDC (±5%) 100mA以下 －15VDC (±5%) 150mA以下 or 24VDC (±10%) 180mA以下 | - | 約800g | N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 | D-sub9ピン HR-10A×2 | 0~5VDC (負荷抵抗10kΩ以上) or 4~20mA (負荷抵抗500Ω以下) | - | RS485 | - | 1/4VCR相当 | 0~5VDC (入力インピーダンス約1MΩ) or 4~20mA (入力インピーダンス約250Ω) | - | |
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MODEL 8700 SERIES |
要見積もり | 表示器付マスフローコントローラ/メータ | 熱式巻線センサ | 比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉) | 10SCCM~20SLM | 2~100%F.S. | 2sec以内 (within±2%F.S.) | ±1%F.S. (25℃) | ±0.5%F.S. | F.S.≦5SLM 50~300kPa F.S.＞5SLM 100~300kPa | 500kPa (G) | 1MPa (G) | - | 1×10－8Pa・m3/sec以下 | 5~45℃ | - | －10~60℃ | 10~90%RH (結露なきこと) | SUS316、SUS316L、磁性ステンレス (MFCのみ) 、FKM (オプション NBR or CR) | - | 24VDC (±10%) 300mA以下 | - | 約1,200g | N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 | D-subハーフピッチ20ピン ヒロセ電機DX10M-20S | 0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上) /4~20mA (負荷抵抗300Ω以下) | - | RS485 | 4桁7セグメントLED | 標準：Rc1/4 オプション：1/4SWL、1/8SWL、1/4VCR (9/16-18UNF) | 0~5VDC (入力インピーダンス100kΩ以上) /4~20mA (入力インピーダンス約250Ω) | ±0.1%F.S./℃ (15~35℃) | |
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MODEL 3660 SERIES |
要見積もり | スタンダードマスフローコントローラ | 熱式巻線センサ | 比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉) | 10SCCM~20SLM | 2~100%F.S. | 2sec以内 (within±2%F.S.) | ±1%F.S. (25℃) | ±0.5%F.S | F.S.≦5SLM 50~300kPa、F.S.＞5SLM 100~300kPa | 500kPa (G) | 1MPa (G) | - | 1×10－8Pa・m3/sec以下 | 5~45℃ | - | －10~60℃ | 10~90%RH (結露なきこと) | SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM (オプション NBR or CR) | - | ＋15VDC (±5%) 100mA、－15VDC (±5%) 250mA | - | 約1,000g | N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 | D-sub9ピン KFC standard (SEMI standard準拠) | 0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上) | - | - | - | 標準：1/4SWL、オプション：1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4 (9/16-18UNF) | 0~5VDC (入力インピーダンス1MΩ以上) | ±0.1%F.S./℃ (15~35℃) | |
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MODEL 3760 SERIES |
要見積もり | スタンダードマスフローメータ | 熱式巻線センサ | - | 10SCCM~20SLM | - | - | ±1%F.S. (25℃) | ±0.5%F.S. (20℃) | - | 500kPa (G) | 1MPa (G) | - | 1×10－8Pa・m3/sec以下 | 5~45℃ | - | －10~60℃ | 10~90%RH (結露なきこと) | SUS316L、FKM (オプション NBR or CR) | - | ＋15VDC (±5%) 100mA、－15VDC (±5%) 100mA | - | 約800g | N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 | D-sub9ピン KFC standard (SEMI standard準拠) | 0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上) | - | - | - | 標準：1/4SWL、オプション：1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4 (9/16-18UNF) | - | ±0.1%F.S./℃ (15~35℃) | |
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MODEL 3200 SERIES |
要見積もり | ハイグレードマスフローコントローラ | 熱式巻線センサ | 比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉) | 1SCCM~20SLM | 2~100%F.S. | 1sec以内 (within±2%F.S.) | ±1%F.S. | ±0.2%F.S. | F.S.≦5SLM 50~300kPa、F.S.＞5SLM 100~300kPa | 300kPa (G) | 1MPa (G) | - | 1×10－8Pa・m3/sec以下 | 0~50℃ | 15~35℃ | －10~60℃ | 10~90%RH (結露なきこと) | SUS316L、Ni、PTFE、FKM (オプション NBR or CR) | - | ＋15VDC (±5%) 100mA、－15VDC (±5%) 200mA | - | 約1,000g | N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 | D-sub9ピン KFC standard (SEMI standard準拠) | 0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上) | - | - | - | 標準：1/4SWL、オプション：1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4 (9/16-18UNF) | 0~5VDC (入力インピーダンス1MΩ以上) | - | |
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MODEL 3100 SERIES |
要見積もり | ハイグレード マスフローメータ | 熱式巻線センサ | - | 1SCCM~20SLM | - | - | ±1%F.S. | ±0.2%F.S. | - | 500kPa (G) | 1MPa (G) | - | 1×10－8Pa・m3/sec以下 | 0~50℃ | 15~35℃ | －10~60℃ | 10~90%RH (結露なきこと) | SUS316L、Ni、PTFE、FKM (オプション NBR or CR) | - | ＋15VDC (±5%) 100mA、－15VDC (±5%) 100mA | - | 約800g | N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 | D-sub9ピン KFC standard (SEMI standard準拠) | 0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上) | - | - | - | 標準：1/4SWL、オプション：1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4 (9/16-18UNF) | - | - | |
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MODEL 5100 SERIES |
要見積もり | メタルシールマスフローコントローラ | 熱式巻線センサ | 比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉) | 1SCCM~20SLM | 2~100%F.S. | 1sec以内 (within±2%F.S.) | ±1%F.S. | ±0.2%F.S. | F.S.≦5SLM 50~300kPa、F.S.＞5SLM 100~300kPa | 300kPa (G) | 1MPa (G) | - | 1×10－11Pa・m3/sec以下 | 0~50℃ | 15~35℃ | －10~60℃ | 10~90%RH (結露なきこと) | SUS316L、Ni、PTFE、Au | - | ＋15VDC (±5%) 100mA、－15VDC (±5%) 200mA | - | 約1,000g | N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 | D-sub9ピン KFC standard (SEMI standard準拠) | 0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上) | - | - | - | 1/4VCR相当 | 0~5VDC (入力インピーダンス1MΩ以上) | - |
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