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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 品名 | センサ方式 | バルブ方式 | フルスケール流量 (N2換算) | 制御範囲 | 応答性 | 精度 | 再現性 | 動作差圧 | 入口最大圧 | 耐圧 | PI機能 | Heリークレート | 許容周囲温度 | 精度保証温度 | 許容保存温度 | 許容周囲湿度 | 接ガス部材質 | デジタルインターフェース | 所要電源 | 継手･面間寸法 | 重量 | 対象ガス | 電気接続 | 流量出力信号 | イベント出力 | デジタル通信 | 表示器 | 継手 (本体口径) | 流量設定信号 | 温度係数 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
MODEL ST-500 SERIES |
要見積もり |
PIマスフローコントローラ |
熱式巻線センサ |
比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉) |
100SCCM~10SLM |
2~100%F.S. |
1sec以内 |
±1%S.P. (10~100%F.S.) |
±0.2%F.S. |
50~300kPa |
300kPa (G) |
1MPa (G) |
Overshoot ±2%F.S. |
1×10-11Pa・m3/sec以下 |
5~50℃ |
15~40℃ |
0~60℃ |
0~80%RH (結露なきこと) |
SUS316L、PTFE、Au、Co-Ni |
DeviceNet M12 (Male) 5pin |
11~25VDC (5VA max) |
1.125”Wシール 92mm |
約1,000g |
- | - | - | - | - | - | - | - | - | |
|
|
EXE-FLOW™ MODEL EX-700R SERIES |
要見積もり |
表示器付デジタルマスフローメータ |
熱式巻線センサ |
- |
10/50/100/500SCCM 1/5/10/20SLM |
- | - |
±1%F.S. |
±0.2%F.S. |
- |
500kPa (G) |
1mPa (G) |
- | - |
5~50℃ |
15~35℃ |
-10~60℃ |
10~90%RH (結露なきこと) |
SUS316L、SUS316、PTFE、FKM (オプション NBR or CR) |
- |
24DC (±10%) 100mA以下 |
- |
約600g (バルブ含まず) |
N₂ (Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂、CH₄/C.F.切替) |
D-sub9ピン |
4~20mA (負荷抵抗500Ω以下) |
NPNオープンコレクタ2点 (最大定格30VDC 50mA) |
RS485 (MODBUSプロトコル、RTUモード) |
4桁7セグメントLED |
標準:1/4SWL |
- | - | |
|
|
MODEL EX-250S SERIES |
要見積もり |
小型デジタルマスフローコントローラ/メータ |
熱式巻線センサ |
比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉) |
5SCCM~10SLM |
2~100%F.S. |
全流量範囲 1sec以内 (within±2%F.S.) |
±1%F.S. |
±0.2%F.S. |
F.S.＜10SLM 50~300kPa (Ar CO2：100~300kPa) |
500kPa (G) |
1MPa (G) |
- |
1×10－8Pa・m3/sec以下 |
5~50℃ |
15~35℃ |
－10~60℃ |
10~90%RH (結露なきこと) |
SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、 PTFE、FKM (オプション NBR or CR) |
- |
＋15VDC (±5%) 100mA以下 |
- |
約500g |
N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 |
D-sub9ピン |
0~5VDC (負荷抵抗10kΩ以上) or 4~20mA (負荷抵抗500Ω以下) |
NPNオープンコレクタ1点 (最大定格30VDC 50mA) (電源24VDC仕様のみ) |
RS485 |
- |
標準：1/4SWL |
0~5VDC (入力インピーダンス約1MΩ) or 4~20mA (入力インピーダンス約250Ω) |
- | |
|
|
MODEL EX-550 SERIES |
要見積もり |
メタルシールデジタルマスフローコントローラ/メータ |
熱式巻線センサ |
比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉) |
10SCCM~5SLM |
2~100%F.S. |
全流量範囲 1sec以内 (within±2%F.S.) |
±1%S.P. (25~100%F.S.) |
±0.2%F.S. |
50~300kPa (Ar CO2：100~300kPa) |
350kPa (G) |
1MPa (G) |
- |
1×10－11Pa・m3/sec以下 |
5~50℃ |
15~35℃ |
－10~60℃ |
10~90%RH (結露なきこと) |
SUS316L、磁性ステンレス、PTFE |
- |
＋15VDC (±5%) 100mA以下 －15VDC (±5%) 150mA以下 or 24VDC (±10%) 180mA以下 |
- |
約800g |
N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 |
D-sub9ピン HR-10A×2 |
0~5VDC (負荷抵抗10kΩ以上) or 4~20mA (負荷抵抗500Ω以下) |
- |
RS485 |
- |
1/4VCR相当 |
0~5VDC (入力インピーダンス約1MΩ) or 4~20mA (入力インピーダンス約250Ω) |
- | |
|
|
MODEL 8700 SERIES |
要見積もり |
表示器付マスフローコントローラ/メータ |
熱式巻線センサ |
比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉) |
10SCCM~20SLM |
2~100%F.S. |
2sec以内 (within±2%F.S.) |
±1%F.S. (25℃) |
±0.5%F.S. |
F.S.≦5SLM 50~300kPa F.S.＞5SLM 100~300kPa |
500kPa (G) |
1MPa (G) |
- |
1×10－8Pa・m3/sec以下 |
5~45℃ |
- |
－10~60℃ |
10~90%RH (結露なきこと) |
SUS316、SUS316L、磁性ステンレス (MFCのみ) 、FKM (オプション NBR or CR) |
- |
24VDC (±10%) 300mA以下 |
- |
約1,200g |
N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 |
D-subハーフピッチ20ピン ヒロセ電機DX10M-20S |
0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上) /4~20mA (負荷抵抗300Ω以下) |
- |
RS485 |
4桁7セグメントLED |
標準：Rc1/4 オプション：1/4SWL、1/8SWL、1/4VCR (9/16-18UNF) |
0~5VDC (入力インピーダンス100kΩ以上) /4~20mA (入力インピーダンス約250Ω) |
±0.1%F.S./℃ (15~35℃) |
|
|
|
MODEL 3660 SERIES |
要見積もり |
スタンダードマスフローコントローラ |
熱式巻線センサ |
比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉) |
10SCCM~20SLM |
2~100%F.S. |
2sec以内 (within±2%F.S.) |
±1%F.S. (25℃) |
±0.5%F.S |
F.S.≦5SLM 50~300kPa、F.S.＞5SLM 100~300kPa |
500kPa (G) |
1MPa (G) |
- |
1×10－8Pa・m3/sec以下 |
5~45℃ |
- |
－10~60℃ |
10~90%RH (結露なきこと) |
SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM (オプション NBR or CR) |
- |
＋15VDC (±5%) 100mA、－15VDC (±5%) 250mA |
- |
約1,000g |
N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 |
D-sub9ピン KFC standard (SEMI standard準拠) |
0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上) |
- | - | - |
標準：1/4SWL、オプション：1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4 (9/16-18UNF) |
0~5VDC (入力インピーダンス1MΩ以上) |
±0.1%F.S./℃ (15~35℃) |
|
|
|
MODEL 3760 SERIES |
要見積もり |
スタンダードマスフローメータ |
熱式巻線センサ |
- |
10SCCM~20SLM |
- | - |
±1%F.S. (25℃) |
±0.5%F.S. (20℃) |
- |
500kPa (G) |
1MPa (G) |
- |
1×10－8Pa・m3/sec以下 |
5~45℃ |
- |
－10~60℃ |
10~90%RH (結露なきこと) |
SUS316L、FKM (オプション NBR or CR) |
- |
＋15VDC (±5%) 100mA、－15VDC (±5%) 100mA |
- |
約800g |
N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 |
D-sub9ピン KFC standard (SEMI standard準拠) |
0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上) |
- | - | - |
標準：1/4SWL、オプション：1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4 (9/16-18UNF) |
- |
±0.1%F.S./℃ (15~35℃) |
|
|
MODEL 3200 SERIES |
要見積もり |
ハイグレードマスフローコントローラ |
熱式巻線センサ |
比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉) |
1SCCM~20SLM |
2~100%F.S. |
1sec以内 (within±2%F.S.) |
±1%F.S. |
±0.2%F.S. |
F.S.≦5SLM 50~300kPa、F.S.＞5SLM 100~300kPa |
300kPa (G) |
1MPa (G) |
- |
1×10－8Pa・m3/sec以下 |
0~50℃ |
15~35℃ |
－10~60℃ |
10~90%RH (結露なきこと) |
SUS316L、Ni、PTFE、FKM (オプション NBR or CR) |
- |
＋15VDC (±5%) 100mA、－15VDC (±5%) 200mA |
- |
約1,000g |
N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 |
D-sub9ピン KFC standard (SEMI standard準拠) |
0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上) |
- | - | - |
標準：1/4SWL、オプション：1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4 (9/16-18UNF) |
0~5VDC (入力インピーダンス1MΩ以上) |
- | |
|
MODEL 3100 SERIES |
要見積もり |
ハイグレード マスフローメータ |
熱式巻線センサ |
- |
1SCCM~20SLM |
- | - |
±1%F.S. |
±0.2%F.S. |
- |
500kPa (G) |
1MPa (G) |
- |
1×10－8Pa・m3/sec以下 |
0~50℃ |
15~35℃ |
－10~60℃ |
10~90%RH (結露なきこと) |
SUS316L、Ni、PTFE、FKM (オプション NBR or CR) |
- |
＋15VDC (±5%) 100mA、－15VDC (±5%) 100mA |
- |
約800g |
N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 |
D-sub9ピン KFC standard (SEMI standard準拠) |
0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上) |
- | - | - |
標準：1/4SWL、オプション：1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4 (9/16-18UNF) |
- | - | |
|
MODEL 5100 SERIES |
要見積もり |
メタルシールマスフローコントローラ |
熱式巻線センサ |
比例ソレノイドバルブ (非通電時 閉) |
1SCCM~20SLM |
2~100%F.S. |
1sec以内 (within±2%F.S.) |
±1%F.S. |
±0.2%F.S. |
F.S.≦5SLM 50~300kPa、F.S.＞5SLM 100~300kPa |
300kPa (G) |
1MPa (G) |
- |
1×10－11Pa・m3/sec以下 |
0~50℃ |
15~35℃ |
－10~60℃ |
10~90%RH (結露なきこと) |
SUS316L、Ni、PTFE、Au |
- |
＋15VDC (±5%) 100mA、－15VDC (±5%) 200mA |
- |
約1,000g |
N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 |
D-sub9ピン KFC standard (SEMI standard準拠) |
0~5VDC (負荷抵抗250kΩ以上) |
- | - | - |
1/4VCR相当 |
0~5VDC (入力インピーダンス1MΩ以上) |
- |
