クライオポンプ Speed TSシリーズ
三弘エマテック株式会社

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この製品について

■特徴・フロン系コールドトラップ代替
・排気時間を大幅に短縮し、装置の稼働率向上に寄与します。
・ヘリウムガスを使用しているので、地球温暖化係数0。 (代替フロンは、地球温暖化係数が1,600～3,800) 
・フロン系コールドトラップと同等以上の性能。
・冷却、昇温が各々10分以内で完了。
・有効排気速度：10,000～100,000L/s。
・軽量、コンパクトで、施工が簡単。 (設置スペースは、フロン系コールドトラップの約1/3) 
・水分の多いバッチ式装置、光学用成膜装置等に最適 (あらゆる真空装置に使用可能) 

型番
この商品には3種類の型番があります

シリーズ
クライオポンプ Speed TSシリーズ

取扱企業
三弘エマテック株式会社

カテゴリ

ポンプ

真空ポンプ

企業レビュー 5.0

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投稿した日時: 2024年9月9日

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クライオポンプ Speed TSシリーズ品番3件

フィルター

品番	価格 (税抜)	メーカー	適用チャンバー φ600~800mm φ600~1,000mm φ1,100~1,300mm	クライオパネルサイズ 200X200mm 250X250mm 400X400mm
TS10	要見積もり	アルバッククライオ (株)	φ600~800mm	200X200mm
TS14	要見積もり	アルバッククライオ (株)	φ600~1,000mm	250X250mm
TS22	要見積もり	アルバッククライオ (株)	φ1,100~1,300mm	400X400mm