熱式質量流量計タイプ 8741 - マスフローコントローラ (MFC) / マスフローメータ (MFM)-タイプ 8741 - マスフローコントローラ (MFC) / マスフローメータ (MFM)

熱式質量流量計タイプ 8741 - マスフローコントローラ (MFC) / マスフローメータ (MFM)
ビュルケルトジャパン株式会社

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この製品について

■概要ビュルケルトのマスフローコントローラ (MFC) は、独自設計による高性能比例電磁弁と長年の経験から導き出された流体制御技術を組み合わせることで次のような特徴を実現しております。

■特長・高速応答、高速安定 (最短300ms) のハイレスポンス
・高レンジアビリティの比例電磁弁を採用することで、幅広い流量、幅広い差圧を1台で制御可能 (従来は2台のMFCを使用していた場合も、1台で効率的に制御可能に) 
・内蔵している比例電磁弁はタイトシャット可能
・実ガス校正により高精度と幅広い制御範囲を実現 (一部エアで置換校正しております) 
・Type 8741は流量制御範囲が0.5mL/min～160L/min (normal、空気) のラインナップ