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300mmウェハ対応 大型AutoAFM (自動原子間力顕微鏡) InSight AFP-InSight AFP
300mmウェハ対応 大型AutoAFM (自動原子間力顕微鏡) InSight AFP-ブルカージャパン株式会社

300mmウェハ対応 大型AutoAFM (自動原子間力顕微鏡) InSight AFP
ブルカージャパン株式会社

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この製品について

AutoAFM (大型自動原子間力顕微鏡) です。

■300mmウェハ対応 大型AutoAFM (自動原子間力顕微鏡)

InSight AFP AAFMは、300mmウェハに対応します。深さのみならず側壁の形状が測定可能で、これにより1度のスキャンでTop/Mid/Bottom CD、SWA (Side Wall Angle) 、LWR/LER (Line Width Roughness/Line Edge Roughness) 、SWR (Side Wall Roughness) といった様々なパラメータを取得できます。最新設計のハードウェアと測定アルゴリズムにより45nm以下の狭い線幅にも対応可能です。 また、レーザーを照射しないためレジストを非破壊で測定可能で、かつNISTトレーサブルなCD/Depthスタンダードを採用していますのでTEMに変わる新しい標準器としてもご使用いただけます。 従来にない画期的な半導体用AFMシステムです。

  • シリーズ

    300mmウェハ対応 大型AutoAFM (自動原子間力顕微鏡) InSight AFP

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使用用途: 非破壊測定

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使用用途

#ラマン測定 #材料評価 #電気特性測定 #ダイナミクス測定 #表面形状観察 #欠陥評価 #研究開発 #非破壊測定 #ケミカルイメージング #マッピング

XYスキャナレンジ µm

10 - 70 70 - 100 100 - 120

Zスキャナレンジ μm

1 - 5 5 - 15 15 - 30

分解能 nm

0 - 1 1 - 100

真空度 nPa

0 - 100 100 - 50,000

到達温度 K

0 - 1 1 - 6 6 - 101

振動ノイズ μm/s

0 - 1 1 - 7

XYステージ駆動範囲 mm

-12 - 0 0 - 20 20 - 200 200 - 300 300 - 400

Zステージ駆動範囲 mm

-12 - 0 0 - 20 20 - 200

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ブルカージャパン株式会社は、高性能科学機器や、分析・診断ソリューションの開発・製造・販売を行っている企業です。 本社所在地は神奈川県横浜市であり、1975年に設立されました。 化学、生物、工業材料の試料に対する分析装置...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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