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半導体評価装置 ウェハレベルLEDテストシステム MLEDTS-50-MLEDTS-50
半導体評価装置 ウェハレベルLEDテストシステム MLEDTS-50-株式会社睦コーポレーション

半導体評価装置 ウェハレベルLEDテストシステム MLEDTS-50
株式会社睦コーポレーション



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この製品について

■商品説明

本システムは、LEDチップをウェハ状態のまま高精度に評価できるウェハレベルLEDテストシステムです。主に電流-電圧-光出力特性 (I-V-L特性) のほか、発光スペクトルなどの電気的・光学的パラメータを正確に測定することが可能です。最大500mAの電流を、最小1μ秒の短パルスで印加可能なパルスドライバを搭載しており、LEDチップに対する熱影響を抑えた状態での特性評価を実現します。これにより、微細なパラメータ変化や発光効率の解析も高い再現性で行うことができます。 さらに、ウェハレベルでの測定が可能であるため、チップのダイシング前に特性を確認できるという大きな利点があり、開発プロセスの短縮やフィードバックの高速化に貢献します。 ※フォトダイオードの立ち上がり時間は、5μsecからとなります。

■駆動電流出力部の仕様

・駆動電流レンジ:500mA/200mA/100mA ・最大出力電圧:20V ・駆動モード:CW/パルス ・最小パルス幅:1μsec ・最大パルス周期:6msec ・最大パルス発生率:50% ・設定分解能:0.1μsec

  • シリーズ

    半導体評価装置 ウェハレベルLEDテストシステム MLEDTS-50

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半導体評価装置 ウェハレベルLEDテストシステム MLEDTS-50 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) サンプルステージ プラテン プローブ針 (同軸針) マニピュレータ 実体顕微鏡 光検出部 出力電圧検出 検出波形モニタ端子 測定項目 分光測定 標準測定ソフトウェア
半導体評価装置 ウェハレベルLEDテストシステム MLEDTS-50-品番-MLEDTS-50

MLEDTS-50

要見積もり

ウェハサイズ:~2インチ
XY軸 移動範囲:各±20mm

昇降可 移動範囲:4mm

材質:タングステン
先端半径:12.5μm
数量:2本

XYZ軸移動範囲:各10mm
トラベル量:各250μm回転
数量:2個

倍率:7倍~45倍
照明:LEDリング照明

(1) フォトダイオード (感度波長範囲:200nm~1,100nm)
(2) 光ファイバプローブヘッド

電圧測定レンジ:24V/12V/6V/3V
測定分解能:1mV

SYNC:パルス駆動時の基準波形を出力します。
DET:受光素子のフォト電流波形を出力します。
VF:検出電圧波形を出力します。
IF:検出電流波形は出力致しません。

I-V-L (電流-電圧-光出力) 特性

波長範囲:250nm~850nm
分解能:1nm (理論値)

付属

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半導体検査装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#パッケージ検査 #ウエハ検査 #マスク検査 #回路パターン検査 #表面欠陥検査 #接合部検査 #絶縁特性評価 #信頼性評価 #材料評価 #電気特性測定 #故障解析 #オンライン検査

検査対象

ウエハ検査装置 チップ検査装置 パッケージ検査装置

検査方式

光学式検査装置 電気式検査装置

検出精度

マクロ検査装置 ミクロ検査装置 ナノスケール検査装置 自動検査装置

搬送方式

ステージ式検査装置 トレイ式検査装置 ローダアンローダ式検査装置

処理能力 秒/個

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 3

電源 V

0 - 100 100 - 200 200 - 250

分解能 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 30 30 - 50

供給方式

トレー スティック パーツフィーダ コンベア マガジンローダ ダイシングフレームカセット ウエハリング テープフィーダ

コンタクト

テストヘッド対応 ケルビンコンタクト ソケット ソケットボード プローブピン

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社睦コーポレーションは理化学機器の製造及び販売や輸出入を手掛けている企業です。 1996年に前身である合資会社睦美産業を母体として設立されました。その後、2波長用レーザ顕微鏡や顕微イメージ分光装置など、さまざまな...

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  • 本社所在地: 愛知県
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