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流体制御機器 差圧式大流量流量コントローラー取扱企業
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マスフローコントローラの製品125点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対象ガス | 供給 (入口) 圧力 | 下流 (出口) 圧力 | 流量フルスケール (1) | カット | 精度 | 繰返し再現性 | 使用 (精度保証) 範囲 | 応答性 | 取合い | 耐圧 | 電源電圧 | 外部入力 *C/C *SET | 外部出力 *アラーム *OUT | Air 供給圧 (バルブ駆動用) | Air 供給取合 | 外部シール |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
DPFC500 |
要見積もり |
N2、Ar、Air、H2等 (ご相談に応じます) |
0.4~0.7MPaG |
供給圧に対し、－0.3MPa以下 |
1,000、2,000、3,000SLM |
2 % FS以下の設定に対し、制御バルブ閉 |
±3％FS以内S |
±0.5% FS |
0~50℃ (10~40℃：精度保証) 、結露無きこと |
設定値まで 2秒以内 (Typical) |
1ｲﾝﾁSWL |
0.99MPaG |
DC24V±10％,200mA |
*閉時：Control、開時：Close |
*アラーム時：閉 |
0.4~0.7MPaG |
ф4 mmワンタッチ |
1x10-7Pa・m3/sec (He) |
マスフローコントローラをフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #医薬品製造 #食品加工 #燃料電池 #分析機器 #研究開発 #表面処理 #ガス混合制御方式
閉ループ制御型 開ループ制御型 デジタル制御型 アナログ制御型測定原理
熱式 コリオリ式 差圧式 超音波式流体種類対応
気体用 液体用 高純度流体用出力信号形式
アナログ出力型 デジタル出力型制御流量範囲 %F.S
2 - 5 5 - 100流量精度 %F.S
0 - 1 1 - 2 2 - 5使用保証温度 ℃
-10 - 0 0 - 50 50 - 60供給電源電圧消費電流 mA
25 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 350耐圧力 MPa(G)
0 - 1 1 - 4 4 - 1,000
