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流体制御機器 流差圧式質量流量コントローラ-AFC-250
流体制御機器 流差圧式質量流量コントローラ-株式会社エー・シー・イー

流体制御機器 流差圧式質量流量コントローラ
株式会社エー・シー・イー



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この製品について

■概要

本流量コントローラは、ガスが小型層流素子を流れるときに発生するガスの圧力差を測定し、温度・圧力補正を行い、質量流量を計測制御します。小型層流素子の採用により、小型化が実現しました。 流量素子の適切な選定により、微少流量から大流量まで対応可能です。

■特徴

・中流量から大流量まで対応。素子の選定により50NLMから500NLMまで対応可能。 ・全流方式の流量計測・制御であり、流入するガスの一時的な水分混入や凝縮に強い。 ・高速実流量応答制御実現。 ・ガス系の温度・圧力情報も出力できるため、ガス供給系の診断に最適。

  • シリーズ

    流体制御機器 流差圧式質量流量コントローラ

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流体制御機器 流差圧式質量流量コントローラ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 対象ガス 流量範囲 制御範囲 精度 繰返し性 応答速度 使用温度範囲 耐圧 外部シール 入力信号 出力信号 電源電圧 接ガス材質 電源コネクター バルブ駆動用空圧 寸法 継手
流体制御機器 流差圧式質量流量コントローラ-品番-AFC-250

AFC-250

要見積もり

N2, Air, H2, CH4, Ar, O2他

50NLM~500NLM (0℃,一気圧換算)

5-100% FS

2% FS

±0.2% FS

2秒以内 (フルスケール設定値の±2%到達までの時間)

0-50℃ (15-35℃:精度保証) 、結露なきこと

0.99MPa

1×10-7Pam3/sec (He) 以下

0-5VDC、RS485 (4-20mA 工場オプション)

0-5VDC、RS485 (4-20mA 工場オプション)

DC24V±10% 200mA以下

SUS316、バイトン 他 (SUS316L対応可)

D-Sub 15ピン

0.4-0.5MPaG

面間寸法174mm 高さ128mm (コネクター除く) 流量により異なります

3/8 又は1/2“スウェジロック相当継手 (VCR相当継手対応可能)

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質量流量計をフィルターから探すことができます

使用用途

#化学薬品供給 #半導体製造 #医薬品製造 #食品添加計量 #燃料供給制御 #ガス計測 #液体計測 #プロセス制御 #研究開発 #水処理管理

測定原理

コリオリ式 熱式 音響式 コリオリ式 熱式

流路形状

直管型 並列二管型

設置形態

インライン型 インサーション型 ポータブル型

出力方式

アナログ出力型 パルス出力型 デジタル通信型 無線通信型

最大測定誤差 %

0 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.8 0.8 - 1.1

周囲温度レンジ ℃

-60 - -40 -40 - -20 -20 - 0 0 - 60

呼び口径レンジ mm

1 - 20 20 - 50 50 - 80 80 - 100

測定物のプロセス温度 °C

-50 - 100 100 - 150 150 - 205

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