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DLCコーティングの製品42点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 電源入力 | 真空槽サイズ | 制御方式 | 排気完了真空圧力 | 真空ポンプ | ガス圧力コントロール | 真空計 | マスフローコントローラ | 高圧パルス電源 | パルスRF電源 | 標準計測器 | オプション |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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PBII―C2000 |
要見積もり |
3ΦAC200V±10% 50/60Hz 約80kVA |
両面扉式、サイズφ1,200mm×L2,000mm (約2,230L) |
手動運転/自動運転 (タッチパネル入力) |
1.33×10-3Pa以下 (1.33×10-3Pa以上なら設定変更可能) |
ターボ分子ポンプ2台、メカニカルブースターポンプ2台 |
自動圧力制御弁 (300Aフランジ) 2系統 |
電離真空計、ピラニ真空計、隔膜真空計、デジタル圧力スイッチ |
7系統 (Ar、H2、CH4、C2H2、N2、C6H5CH3、HMDSO) |
出力電圧-20kVp、出力電流 90Ap、充電容量16kW |
1,500W (13.56MHz) (3,000Wに仕様変更可能) |
デジタルオシロスコープ (出力電圧、出力電流) |
冷却水用チラー、排ガス処理装置、コンプレッサー、クライオポンプ、自動搬送台車 |
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構成環境: 低圧型