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ウェットプロセス Inception 枚葉式スピンプロセッサー-Inception 枚葉式スピンプロセッサー
ウェットプロセス Inception 枚葉式スピンプロセッサー-株式会社インターテック販売

ウェットプロセス Inception 枚葉式スピンプロセッサー
株式会社インターテック販売



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この製品について

■概要

Inception 枚葉式スピンプロセッサー。 特長

■R&Dからパイロット生産への移行に適切なInception

・量産ベースとなるプロセス開発に安定したプロセスを実現 ・最短のプロセス開発を可能にする柔軟性の高いソフトウェア ・標準仕様でタンク2基を搭載し多様なプロセスをサポート ・エッチングレート100Å/Secにおいても優秀なユニフォーミティ ・搬送系はマニュアル・自動に対応 ・スピンドライを用いた高速冷却エッチングでパーティクルを制御

■化合物半導体アプリケーションにも最適

・初期投資が抑えられる ・省スペース ・小ロット生産向け ・酸とソルベントのプロセス ・スピンナーでは実現できない複合的搬送システム ・エッチングユニフォーミティーはバッチタイプを凌ぐ ・タンクは2~4基搭載可能 ・200mm ウェハまで対応 ・個別の薬液系統に対し可動式スプレーアームを2式まで搭載 ・純水とN2にそれぞれボトムスプレーノズルを準備 ・外部から機体後部に各種薬液を供給

  • シリーズ

    ウェットプロセス Inception 枚葉式スピンプロセッサー

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ウェットプロセス Inception 枚葉式スピンプロセッサー 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 工程 メーカー
ウェットプロセス Inception 枚葉式スピンプロセッサー-品番-Inception 枚葉式スピンプロセッサー

Inception 枚葉式スピンプロセッサー

要見積もり

洗浄

RENA

フィルターから探す

半導体洗浄装置をフィルターから探すことができます

対応サイズ インチ

0 - 4 4 - 8 8 - 12

装置寸法 mm

0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 2,500 2,500 - 3,500

本体重量 kg

0 - 50 50 - 100 100 - 500

電源 V

0 - 100 100 - 200 200 - 250

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

インターテック販売では、半導体製造装置やその部品について、新品から中古品までお客様のニーズに合わせてご提案しております。海外メーカーの正規販売代理店として輸入販売している他、保証・アフターサービスのあるリファービッシュ品...

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  • 本社所在地: 東京都

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