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シリーズ
スマート膜厚計 SM-100 series取扱企業
大塚電子株式会社カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 仕様 | 測定方式 | 測定膜厚範囲 | 多層対応 | 測定繰り返し性 | 測定スポット径 | 測定時間 | データ出力形式 | 本体サイズ | 重量 | 駆動時間 | 電源電圧/電力 | 保護等級 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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SM-100P |
要見積もり |
Pro |
反射分光法 (光干渉法) |
0.1~100μm (単層) |
最大3層 |
2.1σ 0.01μm (シリコン酸化膜1μm) |
Φ1mm以下 |
1秒以下 |
USBメモリにテキスト形式でエクスポート |
約138 (W) ×198 (D) ×61 (H) mm |
約1.1kg |
4時間以上 (測定中) |
AC100-240V/35VA (ACアダプタ入力) |
IP30/IK06 |
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