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CD SAXS XTRAIA CD シリーズ 斜入射X線CD計測ツール XTRAIA CD-3010G-株式会社リガク

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■斜入射X線CD計測ツール

・GISAXSによるCD測定、X線反射率 (XRR) 測定による膜厚、密度、および粗さの測定などが可能です。 ・300mmウェーハまで対応

  • シリーズ

    CD SAXS XTRAIA CD シリーズ 斜入射X線CD計測ツール XTRAIA CD-3010G

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CD SAXS XTRAIA CD シリーズ 斜入射X線CD計測ツール XTRAIA CD-3010G 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 手法 用途 X線源 X線光学系 X線検出器 主要コンポーネント 特徴 本体寸法 測定対象 オプション
CD SAXS XTRAIA CD シリーズ 斜入射X線CD計測ツール XTRAIA CD-3010G-品番-XTRAIA CD-3010G

XTRAIA CD-3010G

要見積もり

斜入射小角X線散乱測定 (GISAXS)
X線反射率測定 (XRR)

浅い繰り返し構造の臨界寸法測定

封入管, Cu Ka (8.04 KeV)

多層ミラー光学系

2次元検出器

パターン化ウェーハの計測
周期的な微細な3D形状
ライン＆スペース、ドットまたはホール構造
浅い穴/柱、レジスト、マスクパターン、メモリデバイスのセル領域、FinFET/GAA

パターン認識およびフルウェーハマッピング

1,865 (W) × 3,700 (D) × 2,115 (H) mm, 2,965 kg (ロードポート含む)

GISAXS: ピッチ、CD、高さ、SWA (側壁角度) 、RT (丸みのある上部) 、RB (丸みのある下部) 、線幅分布、ピッチ分布、高さ分布
XRR: 膜厚、密度、および粗さ

GEM300ソフトウェア、E84/OHTサポート

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使用用途

#元素分析 #構造解析 #研究開発 #マッピング #異物検出 #微小部測定 #粉末試料 #薄膜

測定原理

波長分散型 エネルギー分散型 回折型 蛍光型

分析対象

元素分析型 結晶構造解析型

測定対象形状

バルク対応型 微小領域対応型

装置構成

卓上型 据置型

検出器

FPD HPC検出器 シリコンドリフト検出器

測定可能なq範囲 nm-1

0 - 30 30 - 50

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株式会社リガクは、X線分析装置メーカーです。
リガクはX線分析に要する基礎技術と要素部品を独自に開発しており、X線源、光学機器、検出器等の主要な要素技術について世界のトップ水準にあります。

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