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CD SAXS XTRAIA CD シリーズ 透過X線CD計測ツール XTRAIA CD-3200T-株式会社リガク

CD SAXS XTRAIA CD シリーズ 透過X線CD計測ツール XTRAIA CD-3200T
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この製品について

■透過X線CD計測ツール

・TSAXSは、CD測定のためのインライン小角X線散乱法です。 ・最大300mmウェーハまで対応 ・最先端のデバイスマイクロ形状 (浅いパターン/深いパターン) 測定装置 ・ナノ構造物、例えば断面プロファイル、深さ、形状、および傾斜の非破壊測定が可能です。断面形状を反映するX線回折画像を取得します。

■概要

・各形状の半導体デバイスに最適な装置のラインナップをご用意しています。 ・断面プロファイル、深さ、形状、傾斜などのナノ構造を非破壊的に測定することができます。 ・事前のライブラリなどの準備なしに測定と解析を開始することができます。レジストなどの有機材料を収縮させずに正確に測定します。

■アプリケーションの例

・TSAXSを使用した深い穴の非破壊測定 ・TSAXSと断面走査型電子顕微鏡 (SEM) を重ねて表示 ・TSAXSによる側壁TiN膜の厚さプロファイル ・ウエーハ面内のCDおよびインプレーン傾斜角の分布 ・深さ方向のCDプロファイル

  • シリーズ

    CD SAXS XTRAIA CD シリーズ 透過X線CD計測ツール XTRAIA CD-3200T

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CD SAXS XTRAIA CD シリーズ 透過X線CD計測ツール XTRAIA CD-3200T 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 手法 用途 X線ソース X線光学系 X線検出器 主要コンポーネント 特徴 本体寸法 測定対象 オプション
CD SAXS XTRAIA CD シリーズ 透過X線CD計測ツール XTRAIA CD-3200T-品番-XTRAIA CD-3200T

XTRAIA CD-3200T

要見積もり

小角X線散乱 - 透過モード (TSAXS)

高アスペクト比 (HAR) 構造の臨界寸法測定

回転対陰極 (Mo Ka、17.4 keV)

多層ミラー光学系

HyPix 6000HE (2D)

パターン化されたウェーハの計測
周期的な微細な3D形状
深い穴/柱構造
DRAM、3D-NAND、3D LSI構造

パターン認識およびフルウェーハマッピング

4,020 (W) × 2,500 (D) × 3,450 (H) mm

ピッチ、CD、高さ、側壁膜厚、SWA (側壁角度) 、RT (丸みのある上部) 、RB (丸みのある下部) 、CD分布、ピッチ分布、高さ分布

GEM300ソフトウェア、E84/OHTサポート

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使用用途

#元素分析 #構造解析 #研究開発 #マッピング #異物検出 #微小部測定 #粉末試料 #薄膜

検出器

FPD HPC検出器 シリコンドリフト検出器

測定可能なq範囲 nm-1

0 - 30 30 - 50

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会社概要

株式会社リガクは、X線分析装置メーカーです。
リガクはX線分析に要する基礎技術と要素部品を独自に開発しており、X線源、光学機器、検出器等の主要な要素技術について世界のトップ水準にあります。

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