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結晶方位測定装置 自動ウェーハ結晶面方位測定X線装置 FSAS II-FSAS II
結晶方位測定装置 自動ウェーハ結晶面方位測定X線装置 FSAS II-株式会社リガク

結晶方位測定装置 自動ウェーハ結晶面方位測定X線装置 FSAS II
株式会社リガク

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この製品について

ウェーハの主面の切断角度、OF・ノッチ位置を自動で測定する装置です。

■特長

・真空チャック方式で試料を保持します。0°,90°,180°,270°の、各面内回転位置ごとに自動スキャニングし、ピーク位置を検出します。ウェーハの切断面を基準に、X方向、Y方向の偏差角を演算し出力します。 ・タッチパネル式PCにより操作します。 ・自動測定、自動演算のため、人為的な測定誤差をなくすことができます。 ・2θ設定 (測定面) :Si (111) 、 (110) 、 (100) 、 (211) 、 (511) ・試料サイズ:径φ200mmまたはφ300mmのOF、またはノッチ付ウェーハ

  • シリーズ

    結晶方位測定装置 自動ウェーハ結晶面方位測定X線装置 FSAS II

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結晶方位測定装置 自動ウェーハ結晶面方位測定X線装置 FSAS II 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
結晶方位測定装置 自動ウェーハ結晶面方位測定X線装置 FSAS II-品番-FSAS II

FSAS II

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使用用途

#元素分析 #構造解析 #研究開発 #マッピング #異物検出 #微小部測定 #粉末試料 #薄膜

検出器

FPD HPC検出器 シリコンドリフト検出器

測定可能なq範囲 nm-1

0 - 30 30 - 50

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この商品の取り扱い会社情報

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220.0時間

会社概要

株式会社リガクは、科学機器メーカーです。 1951年に設立された株式会社リガク山梨は、東京都昭島市に本社・東京工場・X線研究所を構え、大阪府高槻市に大阪工場、山梨県北杜市に山梨工場を所有しています。また米国をはじめ...

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  • 本社所在地: 東京都
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