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結晶方位測定装置 自動ウェーハ結晶面方位測定X線装置 FSAS II-FSAS II
結晶方位測定装置 自動ウェーハ結晶面方位測定X線装置 FSAS II-株式会社リガク

結晶方位測定装置 自動ウェーハ結晶面方位測定X線装置 FSAS II
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ウェーハの主面の切断角度、OF・ノッチ位置を自動で測定する装置です。

■特長

・真空チャック方式で試料を保持します。0°,90°,180°,270°の、各面内回転位置ごとに自動スキャニングし、ピーク位置を検出します。ウェーハの切断面を基準に、X方向、Y方向の偏差角を演算し出力します。 ・タッチパネル式PCにより操作します。 ・自動測定、自動演算のため、人為的な測定誤差をなくすことができます。 ・2θ設定 (測定面) ：Si (111) 、 (110) 、 (100) 、 (211) 、 (511) ・試料サイズ：径φ200mmまたはφ300mmのOF、またはノッチ付ウェーハ

  • シリーズ

    結晶方位測定装置 自動ウェーハ結晶面方位測定X線装置 FSAS II

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結晶方位測定装置 自動ウェーハ結晶面方位測定X線装置 FSAS II 品番1件

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結晶方位測定装置 自動ウェーハ結晶面方位測定X線装置 FSAS II-品番-FSAS II

FSAS II

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使用用途

#元素分析 #構造解析 #研究開発 #マッピング #異物検出 #微小部測定 #粉末試料 #薄膜

検出器

FPD HPC検出器 シリコンドリフト検出器

測定可能なq範囲 nm-1

0 - 30 30 - 50

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会社概要

株式会社リガクは、X線分析装置メーカーです。
リガクはX線分析に要する基礎技術と要素部品を独自に開発しており、X線源、光学機器、検出器等の主要な要素技術について世界のトップ水準にあります。

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  • 本社所在地: 東京都

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