高分解能X線回折装置 XTRAIA XDシリーズインラインHRXRD/XRR計測ツール XTRAIA XD-3200-XTRAIA XD-3200

高分解能X線回折装置 XTRAIA XDシリーズインラインHRXRD/XRR計測ツール XTRAIA XD-3200
株式会社リガク

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この製品について

■インラインHRXRD/XRR計測ツールブランケットおよびパターン化されたウェーハのための高分解能XRDエピタキシャル膜特性評価。XTRAIAXD-3200は、大量生産において高いスループットで、ブランケットおよびパターン化された300mmおよび200mmウェーハ上の単層および多層膜の非破壊分析を可能にする多目的X線計測ツールです。測定結果には、X線反射率 (XRR) による膜厚、密度、粗さ、および高分解能XRD (HRXRD) によるエピタキシャル膜の厚さ、組成、歪み、格子緩和、結晶性が含まれます。

概要
■ブランケットウェーハに対する幅広いアプリケーションに対応するX線計測ソリューショントランジスタ (SiGe) 、LED/LD (GaN、GaAs、InP) 、MEMS/センサー (PZT、AlN) 、新しいメモリ (GST) 、金属膜、および多層膜。この高度なX線計測ツールは、超薄単層膜から多層積層体までの300mm (および200mm) ブランケットウェーハにおける高速測定を大量生産で可能にします。

XTRAIAXD-3200の優れた性能は、高輝度X線源技術、多層膜光学素子、および超高ダイナミックレンジと高感度を備えた最先端の2D検出器などのリガクの世界トップクラスのX線コンポーネントの開発によるものです。

■XTRAIAXD-3200は、以下を提供します・X線反射率 (XRR) を使用して、あらゆるタイプの単層および多層膜 (非晶質、多結晶、エピタキシャル) の厚さ、密度、および粗さを評価します。
・高分解能X線回折 (HRXRD) を使用して、エピタキシャル膜の厚さ、組成、歪み、および結晶性を、ロッキングカーブ (RC) および逆格子空間マッピング (RSM) の測定によって評価します。
・1/4χクレードルによるねじり/傾き角の測定および結晶方位の測定 (極点) が可能です。

■特長・効率的な処理とプロセスモニタリングのためのインライン機能
・300mmおよび200mmウェーハの互換性
・高出力 (9kW) 回転陽極X線源を利用
・正確なデータ収集のための2次元検出器を搭載
・柔軟なサンプル位置決めのためのステージとゴニオメーター
・高度な解析ソフトウェアによる包括的なデータ解釈のサポート
・大量生産 (HVM) 向けの工場自動化機能 (GEM300、E84/OHTサポート) 

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
高分解能X線回折装置 XTRAIA XDシリーズインラインHRXRD/XRR計測ツール XTRAIA XD-3200

取扱企業
株式会社リガク

カテゴリ

アナライザ

X線分析装置

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高分解能X線回折装置 XTRAIA XDシリーズインラインHRXRD/XRR計測ツール XTRAIA XD-3200 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	手法	用途	X線源	主要コンポーネント	特徴	本体寸法	測定結果	テクノロジー
	XTRAIA XD-3200	要見積もり	高分解能X線回折 (HRXRD) 、X線反射率 (XRR)	多層材料やエピタキシャル膜のための非破壊ウェーハ解析膜厚、組成、歪み、格子緩和、および結晶性の評価	9 kWの銅回転対陰極または2.2 kWのCu封入管ミラーや2/4結晶を備えたラインフォーカス	ブランケットウェーハ計測 X線検出器：2D (HyPix-3000) X線源：9 kWCu回転対陰極 X線光学系：最大2台のモノクロメーターGe (400) ×2、Ge (220) ×2、Ge (220) ×4	高強度の回転対陰極 X軸	1,656 (W) x 3,689 (D) x 2,289 (H) mm	HRXRDおよびXRR XRR、XRD、ロッキングカーブ、および逆格子マップ (RSM)	ブランケットエピタキシャル薄膜 (例：Si/SiGe多層)