高分解能X線回折装置 XTRAIA XDシリーズインラインHRXRD/XRR計測ツール XTRAIA XD-3300-XTRAIA XD-3300

高分解能X線回折装置 XTRAIA XDシリーズインラインHRXRD/XRR計測ツール XTRAIA XD-3300
株式会社リガク

株式会社リガクの対応状況

返答率

100.0%

返答時間

220.0時間

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■インラインHRXRD/XRR計測ツールブランケットおよびパターン化されたウェーハのための高分解能XRDエピタキシャル膜特性評価。XTRAIAXD-3300は、大量生産において高いスループットで、ブランケットおよびパターン化された300mmおよび200mmウェーハ上の単層および多層膜の非破壊分析を可能にする多目的X線計測ツールです。測定結果には、X線反射率 (XRR) による膜厚、密度、粗さ、および高分解能XRD (HRXRD) によるエピタキシャル膜の厚さ、組成、歪み、格子緩和、結晶性が含まれます。

■概要様々なアプリケーションをサポートしており、インラインXRD/XRR多層積層膜、金属薄膜、圧電薄膜、SiGe、および化合物半導体膜の厚さと組成解析などがあります。アプリケーションにあわせて最適な装置構成を選択できます。XRDおよびXRR解析は、インライン化によって自動化できる可能性があります。

■特長・効率的な処理のためのインライン機能
・柔軟なサンプル位置決めのためのステージとゴニオメーター
・40μmまでのビームサイズの高分解能X線ビームを利用
・効率的な運用のための完全な自動化機能
・200mmウェーハと300mmウェーハの両方に対応
・精密なデータ収集のために2次元検出器を装備
・高度な解析ソフトウェアによる包括的なデータ解釈のためのサポート

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
高分解能X線回折装置 XTRAIA XDシリーズインラインHRXRD/XRR計測ツール XTRAIA XD-3300

取扱企業
株式会社リガク

カテゴリ

アナライザ

X線分析装置

検査装置

X線検査装置

検査装置

非破壊検査装置

この商品に関する問題を報告する

返答率: 100.0%

無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

高分解能X線回折装置 XTRAIA XDシリーズインラインHRXRD/XRR計測ツール XTRAIA XD-3300 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	手法	用途	X線源	主要コンポーネント	特徴	本体寸法	測定結果	オプション
	XTRAIA XD-3300	要見積もり	高分解能X線回折 (HRXRD) 、X線反射率 (XRR)	ブランケット/パターン化されたエピタキシャル薄膜向けデュアルビーム (ラインおよび40μmマイクロスポット) パターン認識	1：9 kWのCu回転対陰極または2.2 kWのCu封入管 2：パターン化されたウェーハの測定用のCOLORS™ハイブリッドCuビームモジュール	ブランケットおよびパターン化されたウェーハ計測 X線光学系: 最大2台のモノクロメーター Ge (400) ×2,Ge (220) ×2,Ge (220) ×4 X線検出器: 2D	高強度の回転対陰極、およびマイクロスポットビーム搭載 COLORS™ハイブリッドCuビームモジュール	1,656 (W) x 3,689 (D) x 2,289 (H) mm	HRXRD、XRR、ロッキングカーブ、および逆格子マップ (RSM)	モノクロメーター、各種光学部品 GEM300ソフトウェア、E84/OHTサポート