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V-62x ダイレクトドライブ高精度回転ステージ-V-622.A100
V-62x ダイレクトドライブ高精度回転ステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

V-62x ダイレクトドライブ高精度回転ステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

■特徴

・効率的なダイナミックパフォーマンスを実現するダイレクトドライブ ・モーションプラットフォームの直径は85mm、110mm、210mm ・偏心率と平面度<1µm ・どの向きでも使用可能 ・ロープロファイル

■製品の概要

・V-62xシリーズのダイレクトドライブ回転ステージは、精度、高剛性、長寿命、使いやすさを考慮して設計されており、あらゆる方向に取り付けることができます。 ・V-62xステージは、移動精度、平面度、ぐらつきに関して優れたパフォーマンスを提供します。 ・超高精度深溝玉軸受は、出荷前に予荷重および潤滑が施されているため、回転ステージの寿命全体にわたってメンテナンスが不要です。

■ダイレクトドライブトルクモーター

・トルクモーターは電磁ダイレクトドライブです。 ・ドライブトレイン内の機械コンポーネントを省略し、駆動力を摩擦なく直接モーションプラットフォームに伝達します。 ・ドライブは高速および加速度に達します。

■アブソリュートエンコーダ (オプション)

アブソリュートエンコーダは、位置の即時決定を可能にする明示的な位置情報を提供します。したがって、スイッチをオンにするときに基準を設定する必要がなく、動作中の効率と安全性が向上します。

■付属品とオプション

・エンコーダの種類 ・単軸または多軸のモーション コントローラおよびサーボドライブ ・多軸アセンブリ

■応用分野

サンプル検査。精密なマイクロアセンブリ。研究。バイオテクノロジー。半導体の試験・検査を行っております。測定技術。自動化技術。デバイスの組み立て。レーザー微細加工。センサーの校正とテスト。

  • シリーズ

    V-62x ダイレクトドライブ高精度回転ステージ

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V-62x ダイレクトドライブ高精度回転ステージ 品番6件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) アクティブ軸 回転範囲θZ θZの動きによるXの線形クロストーク θZの動きによるYの線形クロストーク θZの動きによるZの線形クロストーク θZの動きによるθXの回転クロストーク θZの動きによるθYの回転クロストーク θZでの位置決め精度、校正済み θZの双方向繰返し精度 ドライブタイプ ピーク電圧 ピーク電流、RMS
V-62x ダイレクトドライブ高精度回転ステージ-品番-V-622.A100

V-622.A100

要見積もり

θZ

360°

1,200分^-1

±2μm

±2μm

±2μm

±20μrad

±20μrad

±10μrad

5μrad

1/回転、センサー信号の1周期にわたる差動パルス、1Vピーク-ピーク

インクリメンタル角度測定システム

Sin/cos、1Vピーク-ピーク

11,840

0.13μrad

鉄筋レス三相トルクモーター

80V

4.9A

13.8A

0.57N・m

1.22N・m

0.117N・m/A

1.7Ω

2.7mH

10V/kRPM

12

50N

50N

100N

5N・m

V-62x ダイレクトドライブ高精度回転ステージ-品番-V-623.A100

V-623.A100

要見積もり

θZ

360°

1,000分^-1

±2μm

±2μm

±2μm

±20μrad

±20μrad

±10μrad

5μrad

1/回転、センサー信号の1周期にわたる差動パルス、1Vピーク-ピーク

インクリメンタル角度測定システム

Sin/cos、1Vピーク-ピーク

15,744

0.097μrad

鉄筋レス三相トルクモーター

80V

4.6A

13.8A

1.4N・m

2.9N・m

0.3N・m/A

2.76Ω

5.2mH

25V/kRPM

20

75N

75N

150N

10N・m

V-62x ダイレクトドライブ高精度回転ステージ-品番-V-625.A100

V-625.A100

要見積もり

θZ

360°

200分^-1

±2μm

±2μm

±2μm

±20μrad

±20μrad

±10μrad

5μrad

1/回転、センサー信号の1周期にわたる差動パルス、1Vピーク-ピーク

インクリメンタル角度測定システム

Sin/cos、1Vピーク-ピーク

31,488

0.049μrad

鉄筋レス三相トルクモーター

80V

4.3A

13.8A

4.1N・m

9.3N・m

0.96N・m/A

4.94Ω

9.8mH

82V/kRPM

36

100N

100N

400N

20N・m

V-62x ダイレクトドライブ高精度回転ステージ-品番-V-622.B100

V-622.B100

要見積もり

θZ

360°

1,200分^-1

±2μm

±2μm

±2μm

±20μrad

±20μrad

±10μrad

5μrad

-

絶対角度測定システム

BiSS-C、32ビット

-

0.0015μrad

鉄筋レス三相トルクモーター

80V

4.9A

13.8A

0.57N・m

1.22N・m

0.117N・m/A

1.7Ω

2.7mH

10V/kRPM

12

50N

50N

100N

5N・m

V-62x ダイレクトドライブ高精度回転ステージ-品番-V-623.B100

V-623.B100

要見積もり

θZ

360°

1,000分^-1

±2μm

±2μm

±2μm

±20μrad

±20μrad

±10μrad

5μrad

-

絶対角度測定システム

BiSS-C、32ビット

-

0.0015μrad

鉄筋レス三相トルクモーター

80V

4.6A

13.8A

1.4N・m

2.9N・m

0.3N・m/A

2.76Ω

5.2mH

25V/kRPM

20

75N

75N

150N

10N・m

V-62x ダイレクトドライブ高精度回転ステージ-品番-V-625.B100

V-625.B100

要見積もり

θZ

360°

200分^-1

±2μm

±2μm

±2μm

±20μrad

±20μrad

±10μrad

5μrad

-

絶対角度測定システム

BiSS-C、32ビット

-

0.0015μrad

鉄筋レス三相トルクモーター

80V

4.3A

13.8A

4.1N・m

9.3N・m

0.96N・m/A

4.94Ω

9.8mH

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100N

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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