摩擦のない、電動式 A-63x PIglide RL エアベアリング付きフラット回転ステージ

摩擦のない、電動式 A-63x PIglide RL エアベアリング付きフラット回転ステージ品番6件

フィルター

品番	価格 (税抜)	アクティブ軸	回転範囲θZ	最大角速度 (θZ、無負荷時)	θZの動きによるXの線形クロストーク ±0.1μm ±0.075μm ±0.005μm	θZの動きによるYの線形クロストーク ±0.1μm ±0.075μm ±0.005μm	θZの動きによるZの線形クロストーク ±0.038μm ±0.025μm	θZの動きによるθXの回転クロストーク ±1μrad ±0.5μrad	θZの動きによるθYの回転クロストーク ±1μrad ±0.5μrad	統合センサーインクリメンタル角度測定システム絶対角度測定システム	θZの双方向繰返し精度	θZでの位置決め精度、校正済み	センサー信号 Sin/cos、1Vピーク-ピーク BiSS-C	センサー信号周期 / U 23600 31488	センサー解像度、回転 0.06μrad 0.0015μrad 0.05μrad	基準スイッチ 1 / 回転、センサー信号の1周期にわたる差動パルス、1Vピーク-ピーク	ドライブタイプ	公称電圧	ピーク電圧	公称電流、RMS 2.3A 4.5A	ピーク電流、RMS 6.9A 13.9A	駆動トルクθZ反時計回り 1.6N・m 2.8N・m	θZで時計回りの駆動トルク 1.6N・m 2.8N・m	θZ反時計回りのピークトルク 4.7N・m 8.5N・m	θZで時計回りのピークトルク 4.7N・m 8.5N・m	トルク定数 0.59N・m/A 0.66N・m/A	抵抗相間 6.7Ω 4.5Ω	インダクタンス相間 0.9mH 0.6mH	逆起電力、相間、回転 71V/kRPM 80V/kRPM	ベアリングの種類	θZで移動した質量、無負荷 1,900g 3,600g 11,000g
A-634.A100	要見積もり	θZ	360°	500分^-1	±0.1μm	±0.1μm	±0.038μm	±1μrad	±1μrad	インクリメンタル角度測定システム	±4μrad	±8μrad	Sin/cos、1Vピーク-ピーク	23600	0.06μrad	1 / 回転、センサー信号の1周期にわたる差動パルス、1Vピーク-ピーク	鉄筋レス三相トルクモーター	48V	80V	2.3A	6.9A	1.6N・m	1.6N・m	4.7N・m	4.7N・m	0.59N・m/A	6.7Ω	0.9mH	71V/kRPM	磁気プリロード付きエアベアリング	1,900g
A-634.B100	要見積もり	θZ	360°	500分^-1	±0.1μm	±0.1μm	±0.038μm	±1μrad	±1μrad	絶対角度測定システム	±4μrad	±8μrad	BiSS-C	-	0.0015μrad	-	鉄筋レス三相トルクモーター	48V	80V	2.3A	6.9A	1.6N・m	1.6N・m	4.7N・m	4.7N・m	0.59N・m/A	6.7Ω	0.9mH	71V/kRPM	磁気プリロード付きエアベアリング	1,900g
A-635.A100	要見積もり	θZ	360°	500分^-1	±0.075μm	±0.075μm	±0.038μm	±1μrad	±1μrad	インクリメンタル角度測定システム	±4μrad	±8μrad	Sin/cos、1Vピーク-ピーク	31488	0.05μrad	1 / 回転、センサー信号の1周期にわたる差動パルス、1Vピーク-ピーク	鉄筋レス三相トルクモーター	48V	80V	4.5A	13.9A	2.8N・m	2.8N・m	8.5N・m	8.5N・m	0.66N・m/A	4.5Ω	0.6mH	80V/kRPM	磁気プリロード付きエアベアリング	3,600g
A-635.B100	要見積もり	θZ	360°	500分^-1	±0.075μm	±0.075μm	±0.038μm	±1μrad	±1μrad	絶対角度測定システム	±4μrad	±8μrad	BiSS-C	-	0.0015μrad	-	鉄筋レス三相トルクモーター	48V	80V	4.5A	13.9A	2.8N・m	2.8N・m	8.5N・m	8.5N・m	0.66N・m/A	4.5Ω	0.6mH	80V/kRPM	磁気プリロード付きエアベアリング	3,600g
A-638.A100	要見積もり	θZ	360°	500分^-1	±0.005μm	±0.005μm	±0.025μm	±0.5μrad	±0.5μrad	インクリメンタル角度測定システム	±4μrad	±8μrad	Sin/cos、1Vピーク-ピーク	31488	0.05μrad	1 / 回転、センサー信号の1周期にわたる差動パルス、1Vピーク-ピーク	鉄筋レス三相トルクモーター	48V	80V	4.5A	13.9A	2.8N・m	2.8N・m	8.5N・m	8.5N・m	0.66N・m/A	4.5Ω	0.6mH	80V/kRPM	磁気プリロード付きエアベアリング	11,000g
A-638.B100	要見積もり	θZ	360°	500分^-1	±0.005μm	±0.005μm	±0.025μm	±0.5μrad	±0.5μrad	絶対角度測定システム	±4μrad	±8μrad	BiSS-C	-	0.0015μrad	-	鉄筋レス三相トルクモーター	48V	80V	4.5A	13.9A	2.8N・m	2.8N・m	8.5N・m	8.5N・m	0.66N・m/A	4.5Ω	0.6mH	80V/kRPM	磁気プリロード付きエアベアリング	11,000g