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摩擦のない、電動式 A-63x PIglide RL エアベアリング付きフラット回転ステージ-A-634.A100
摩擦のない、電動式 A-63x PIglide RL エアベアリング付きフラット回転ステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

摩擦のない、電動式 A-63x PIglide RL エアベアリング付きフラット回転ステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

■特徴

・150mm、200mm、350mm ・モーションプラットフォームの直径 ・ロープロファイル ・偏心率と平面度<100nm ・磁気プリロードによる静止時のセルフロックのオプション

■製品の概要

・PIglide RLシリーズの直接駆動薄型回転ステージは、薄型設計で最高の精度を実現するように設計されています。 ・さまざまなオプションを組み合わせて、ポイントツーポイントのインデックス作成または等速スキャンに最適なソリューションを作成できます。 ・RLステージは、優れた移動精度、平坦性、ウォブル性能を備えています。

■アブソリュートエンコーダ (オプション)

・アブソリュートエンコーダは、位置の即時決定を可能にする明示的な位置情報を提供します。 ・これは、スイッチオン中にリファレンスが必要ないことを意味し、動作中の効率と安全性が向上します。

■応用分野

光学アライメント、ウェーハ検査、ウェーハアライメント、測定技術、検査システム、キャリブレーション、スキャニング。摩擦のない動きのおかげで粒子が形成されないため、PIglideステージはクリーンルーム用途に最適です。

■三相トルクモーター

・ブラシレス ・スロットレス ・低コギングトルク

■付属品とオプション

・インクリメンタルまたはアブソリュートエンコーダ ・真空シール ・磁気プリロードによる静止時のセルフロック ・リクエストに応じてクリアアパーチャ ・PIglideフィルターと空気準備キット ・単軸または多軸のモーション コントローラおよびサーボ ドライブ ・多軸/カスタマイズされたセットアップ ・花崗岩製ベースプレートと振動低減システム

  • シリーズ

    摩擦のない、電動式 A-63x PIglide RL エアベアリング付きフラット回転ステージ

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摩擦のない、電動式 A-63x PIglide RL エアベアリング付きフラット回転ステージ 品番6件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) アクティブ軸 回転範囲θZ 最大角速度 (θZ、無負荷時) θZの双方向繰返し精度 θZでの位置決め精度、校正済み ドライブタイプ 公称電圧 ピーク電圧 ベアリングの種類
摩擦のない、電動式 A-63x PIglide RL エアベアリング付きフラット回転ステージ-品番-A-634.A100

A-634.A100

要見積もり

θZ

360°

500分^-1

±0.1μm

±0.1μm

±0.038μm

±1μrad

±1μrad

インクリメンタル角度測定システム

±4μrad

±8μrad

Sin/cos、1Vピーク-ピーク

23600

0.06μrad

1 / 回転、センサー信号の1周期にわたる差動パルス、1Vピーク-ピーク

鉄筋レス三相トルクモーター

48V

80V

2.3A

6.9A

1.6N・m

1.6N・m

4.7N・m

4.7N・m

0.59N・m/A

6.7Ω

0.9mH

71V/kRPM

磁気プリロード付きエアベアリング

1,900g

摩擦のない、電動式 A-63x PIglide RL エアベアリング付きフラット回転ステージ-品番-A-634.B100

A-634.B100

要見積もり

θZ

360°

500分^-1

±0.1μm

±0.1μm

±0.038μm

±1μrad

±1μrad

絶対角度測定システム

±4μrad

±8μrad

BiSS-C

-

0.0015μrad

-

鉄筋レス三相トルクモーター

48V

80V

2.3A

6.9A

1.6N・m

1.6N・m

4.7N・m

4.7N・m

0.59N・m/A

6.7Ω

0.9mH

71V/kRPM

磁気プリロード付きエアベアリング

1,900g

摩擦のない、電動式 A-63x PIglide RL エアベアリング付きフラット回転ステージ-品番-A-635.A100

A-635.A100

要見積もり

θZ

360°

500分^-1

±0.075μm

±0.075μm

±0.038μm

±1μrad

±1μrad

インクリメンタル角度測定システム

±4μrad

±8μrad

Sin/cos、1Vピーク-ピーク

31488

0.05μrad

1 / 回転、センサー信号の1周期にわたる差動パルス、1Vピーク-ピーク

鉄筋レス三相トルクモーター

48V

80V

4.5A

13.9A

2.8N・m

2.8N・m

8.5N・m

8.5N・m

0.66N・m/A

4.5Ω

0.6mH

80V/kRPM

磁気プリロード付きエアベアリング

3,600g

摩擦のない、電動式 A-63x PIglide RL エアベアリング付きフラット回転ステージ-品番-A-635.B100

A-635.B100

要見積もり

θZ

360°

500分^-1

±0.075μm

±0.075μm

±0.038μm

±1μrad

±1μrad

絶対角度測定システム

±4μrad

±8μrad

BiSS-C

-

0.0015μrad

-

鉄筋レス三相トルクモーター

48V

80V

4.5A

13.9A

2.8N・m

2.8N・m

8.5N・m

8.5N・m

0.66N・m/A

4.5Ω

0.6mH

80V/kRPM

磁気プリロード付きエアベアリング

3,600g

摩擦のない、電動式 A-63x PIglide RL エアベアリング付きフラット回転ステージ-品番-A-638.A100

A-638.A100

要見積もり

θZ

360°

500分^-1

±0.005μm

±0.005μm

±0.025μm

±0.5μrad

±0.5μrad

インクリメンタル角度測定システム

±4μrad

±8μrad

Sin/cos、1Vピーク-ピーク

31488

0.05μrad

1 / 回転、センサー信号の1周期にわたる差動パルス、1Vピーク-ピーク

鉄筋レス三相トルクモーター

48V

80V

4.5A

13.9A

2.8N・m

2.8N・m

8.5N・m

8.5N・m

0.66N・m/A

4.5Ω

0.6mH

80V/kRPM

磁気プリロード付きエアベアリング

11,000g

摩擦のない、電動式 A-63x PIglide RL エアベアリング付きフラット回転ステージ-品番-A-638.B100

A-638.B100

要見積もり

θZ

360°

500分^-1

±0.005μm

±0.005μm

±0.025μm

±0.5μrad

±0.5μrad

絶対角度測定システム

±4μrad

±8μrad

BiSS-C

-

0.0015μrad

-

鉄筋レス三相トルクモーター

48V

80V

4.5A

13.9A

2.8N・m

2.8N・m

8.5N・m

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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