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高い移動精度 L-611 V6・V7・V9 真空対応精密回転ステージ取扱企業
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | 回転範囲θZ | 最大角速度 (θZ、無負荷時) | θZの動きによるXの線形クロストーク | θZの動きによるYの線形クロストーク | θZの動きによるZの線形クロストーク | θZの動きによるθXの回転クロストーク | θZの動きによるθYの回転クロストーク | θZにおける一方向の繰り返し精度 | θZの双方向繰返し精度 | θZの最小増分運動 | 基準スイッチ | ドライブタイプ | モーターの分解能 | 公称電圧 | ピーク電圧 | 公称電流、RMS | 抵抗相間 | インダクタンス相間 | ベアリングの種類 | ウォームギヤ減速機 | θZで移動した質量、無負荷 | 慣性モーメント (θZ、無負荷) | X方向の許容押付け力 | Y方向の許容押付け力 | 使用温度範囲 | コネクタ | 推奨コントローラー/ドライバー | 真空クラス | ケーブルの長さ | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
L-611.991200V6 |
要見積もり |
θZ |
360° |
20°/秒 |
±2.5μm |
±2.5μm |
±1μm |
±15μrad |
±15μrad |
20μrad |
±175μrad |
8.72μrad |
ホール効果、N/C接点、5V、NPN |
2相ステッピングモーター |
200フルステップ/回転 |
24V |
48V |
1.2A |
3.3Ω |
2.8mH |
ボールベアリング |
90:1 |
1,100g |
770kg・mm² |
50N |
50N |
5~40℃ |
HD D-sub 26ピン (オス) |
C-663.12 |
10^-6hPa |
- | ||
L-611.991300V7 |
要見積もり |
θZ |
360° |
20°/秒 |
±2.5μm |
±2.5μm |
±1μm |
±15μrad |
±15μrad |
20μrad |
±175μrad |
8.72μrad |
ホール効果、N/C接点、5V、NPN |
2相ステッピングモーター |
200フルステップ/回転 |
24V |
48V |
1.2A |
3.3Ω |
2.8mH |
ボールベアリング |
90:1 |
1,100g |
770kg・mm² |
50N |
50N |
5~40℃ |
D-sub15極 (メス) |
C-663.12 |
10^-7hPa |
2m |
||
L-611.991600V9 |
要見積もり |
θZ |
360° |
20°/秒 |
±2.5μm |
±2.5μm |
±1μm |
±15μrad |
±15μrad |
20μrad |
±175μrad |
8.72μrad |
ホール効果、N/C接点、5V、NPN |
2相ステッピングモーター |
200フルステップ/回転 |
24V |
48V |
1.2A |
3.3Ω |
2.8mH |
ボールベアリング |
90:1 |
1,100g |
770kg・mm² |
50N |
50N |
5~40℃ |
D-sub15極 (メス) |
C-663.12 |
10^-9 hPa |
2m |