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高い移動精度 L-611 V6・V7・V9 真空対応精密回転ステージ-L-611.991200V6
高い移動精度 L-611 V6・V7・V9 真空対応精密回転ステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

高い移動精度 L-611 V6・V7・V9 真空対応精密回転ステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

■特徴

・10 -9hPaまでの真空対応 ・無制限の走行範囲 ・非常に高い解像度 ・ステッピングモーター ・方向感知基準スイッチ ・多軸セットアップが可能

■リファレンスクラスの回転ステージ

・遊びの少ない予圧ウォームギヤの採用により高精度の位置決めが可能です。 ・高い移動精度を実現するプリロードされたピボットベアリング。 ・35mmØのクリアな開口部。 ・両回転方向の無制限の移動範囲。 ・リファレンススイッチ。

■特に真空環境での使用向けにアウトガスを低減

・最も注目すべき点は、ガイドとスピンドルの潤滑に、ガス放出が特に少ない材料が使用されていることです。これにより、最大80℃のベークアウト温度が可能になります。 ・PI V6真空クラスのこの変更およびその他の変更により、このポジショナーは最大10-6hPaまで使用できます。

■高真空用途向けの高品質

この場合、モーター、測定システム、リミットスイッチなど、高真空に適した特殊な部品が使用されます。また、表面はノンコートアルミニウム製、スピンドルとガイドはステンレス製です。これにより、PI V7真空クラス、つまり最大10-7 hPa に達します。

■超高真空における特殊要求に最高の品質を提供

・この真空クラスでは、最大10-9hPaのPI V9真空クラスを達成するために、超高真空に適したコンポーネントのおかげで製品が細部にわたって最適化されています。 ・とりわけ、この目的には選択された種類のプラスチックのみが使用され、ベークアウト温度は測定システムありで120℃、測定システムなしでそれぞれ150℃が適用されます。

■オプション:移動精度・位置決め精度測定

ご要望に応じて、ぐらつき、軸方向、および半径方向のクリープに関する個別の測定ログをご利用いただけます。

■応用分野

真空チャンバー・研究・ビームライン機器・顕微鏡検査・電子機器の組み立てと検査

  • シリーズ

    高い移動精度 L-611 V6・V7・V9 真空対応精密回転ステージ

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高い移動精度 L-611 V6・V7・V9 真空対応精密回転ステージ 品番3件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) アクティブ軸 回転範囲θZ 最大角速度 (θZ、無負荷時) θZの動きによるXの線形クロストーク θZの動きによるYの線形クロストーク θZの動きによるZの線形クロストーク θZの動きによるθXの回転クロストーク θZの動きによるθYの回転クロストーク θZにおける一方向の繰り返し精度 θZの双方向繰返し精度 θZの最小増分運動 基準スイッチ ドライブタイプ モーターの分解能 公称電圧 ピーク電圧 公称電流、RMS 抵抗相間 インダクタンス相間 ベアリングの種類 ウォームギヤ減速機 θZで移動した質量、無負荷 慣性モーメント (θZ、無負荷) X方向の許容押付け力 Y方向の許容押付け力 使用温度範囲 推奨コントローラー/ドライバー
高い移動精度 L-611 V6・V7・V9 真空対応精密回転ステージ-品番-L-611.991200V6

L-611.991200V6

要見積もり

θZ

360°

20°/秒

±2.5μm

±2.5μm

±1μm

±15μrad

±15μrad

20μrad

±175μrad

8.72μrad

ホール効果、N/C接点、5V、NPN

2相ステッピングモーター

200フルステップ/回転

24V

48V

1.2A

3.3Ω

2.8mH

ボールベアリング

90:1

1,100g

770kg・mm²

50N

50N

5~40℃

HD D-sub 26ピン (オス)

C-663.12
C-885とC-663.12C885
ACSモジュラーコントローラー

10^-6hPa

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高い移動精度 L-611 V6・V7・V9 真空対応精密回転ステージ-品番-L-611.991300V7

L-611.991300V7

要見積もり

θZ

360°

20°/秒

±2.5μm

±2.5μm

±1μm

±15μrad

±15μrad

20μrad

±175μrad

8.72μrad

ホール効果、N/C接点、5V、NPN

2相ステッピングモーター

200フルステップ/回転

24V

48V

1.2A

3.3Ω

2.8mH

ボールベアリング

90:1

1,100g

770kg・mm²

50N

50N

5~40℃

D-sub15極 (メス)

C-663.12
C-885とC-663.12C885
ACSモジュラーコントローラー

10^-7hPa

2m

高い移動精度 L-611 V6・V7・V9 真空対応精密回転ステージ-品番-L-611.991600V9

L-611.991600V9

要見積もり

θZ

360°

20°/秒

±2.5μm

±2.5μm

±1μm

±15μrad

±15μrad

20μrad

±175μrad

8.72μrad

ホール効果、N/C接点、5V、NPN

2相ステッピングモーター

200フルステップ/回転

24V

48V

1.2A

3.3Ω

2.8mH

ボールベアリング

90:1

1,100g

770kg・mm²

50N

50N

5~40℃

D-sub15極 (メス)

C-663.12
C-885とC-663.12C885
ACSモジュラーコントローラー

10^-9 hPa

2m

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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