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A-68x エアベアリングモーター 回転ステージ-A-688.A100
A-68x エアベアリングモーター 回転ステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

A-68x エアベアリングモーター 回転ステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

摩擦フリー, モーター式。PIglide RLAシリーズの直接駆動フラット回転ステージは、最高の精度を実現するように設計されています。彼らは薄型と大きなクリアアパーチャを持っています。RLAステージは、優れた移動精度、平坦性、およびウォブル性能を提供します。

■特徴

・直径365mmのモーションプラットフォーム、直径260mmの開口部 ・ロープロファイル ・偏心と平坦度 < 300 nm 概要

■3相トルク モーター

ブラシレス/低コギングトルク

■アブソリュートエンコーダ (オプション)

アブソリュートエンコーダは、位置の即時決定を可能にする明示的な位置情報を提供します。これは、スイッチオン時に参照が不要であることを意味し、動作中の効率と安全性を向上させます。

■応用分野

トモグラフィー、ビームラインシステム、ウェーハ計測、ウェーハ検査、測定技術、検査システム、校正、走査。摩擦のない動きにより、粒子が形成されないため、PIglideステージはクリーンルームアプリケーションに最適です。

■アクセサリーとオプション

インクリメンタルエンコーダまたはアブソリュートエンコーダ/PIglideフィルターと空気準備キット/単軸または多軸モーションコントローラおよびサーボドライブ/多軸/カスタマイズされたセットアップ/花崗岩製のベースプレートと振動を低減するシステム

  • シリーズ

    A-68x エアベアリングモーター 回転ステージ

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A-68x エアベアリングモーター 回転ステージ 品番2件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) 移動範囲 モーションプラットフォームの直径 (mm) 偏執 (nm) 平ら (nm) ぐらつく (μrad) 負荷容量、軸方向 (N) 耐荷重、ラジアル (N) 負荷トルク、MX,Y (Nm) 慣性モーメント (kg·mm²) 移動質量 (kg) 全体の質量 (kg) ガイドの種類 ドライブの種類 中間回路電圧 (V DC) ピーク電流 (A) 公称電流 (A) ピークトルク (Nm) 公称トルク (Nm) トルク定数 (Nm/A) 抵抗相相 (Ω) インダクタンス相相 (mH) 逆起電力位相 (V/kRPM) 作動圧力 空気消費量 大気質 材質 速度
A-68x エアベアリングモーター 回転ステージ-品番-A-688.A100

A-688.A100

要見積もり

無制限、>360°

365

300

175

1

770

190

36

284,710

12

24

エアベアリング

トルクモーター、三相、ブラシレス

48, nominal 最大80

6.9

3.2

85

39

12.3

3.6

1.24

10.1

75~85psi (515~585kPa)

<2SCFM (56 SLPM)

クリーン (1.0 μm以上にろ過) - ISO 8573-1クラス1
オイルフリー - ISO 8573-1 クラス 1
ドライ (露点-15℃) - ISO 8573-1クラス3

ハードコートアルミニウム、ステンレススチール取り付け金具

インクリメンタル角度測定システム

Sin/cos, 1 V peak-peak

55,040

500 rpm max.

A-68x エアベアリングモーター 回転ステージ-品番-A-688.B100

A-688.B100

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365

300

175

1

770

190

36

284,710

12

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エアベアリング

トルクモーター、三相、ブラシレス

48, nominal 最大80

6.9

3.2

85

39

12.3

3.6

1.24

10.1

75~85psi (515~585kPa)

<2SCFM (56 SLPM)

クリーン (1.0 μm以上にろ過) - ISO 8573-1クラス1
オイルフリー - ISO 8573-1 クラス 1
ドライ (露点-15℃) - ISO 8573-1クラス3

ハードコートアルミニウム、ステンレススチール取り付け金具

絶対角度測定システム

BiSS-C

-

500 rpm max.

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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