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A-62x エアベアリング回転ステージ-A-621.025A1
A-62x エアベアリング回転ステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

A-62x エアベアリング回転ステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

摩擦がなく、インデックス作成、位置決め、スキャン、測定技術に最適。PIglide RMシリーズの電動回転ステージは、精度、精度、高剛性、使いやすさを考慮して設計されており、任意の方向に取り付けることができます。さまざまなオプションを組み合わせて、ポイントツーポイントのインデックス作成や等速スキャンに最適なソリューションを作成できます。 RMステージは、優れた移動精度、平坦性、およびウォブル性能を提供します。摩擦がなく、メンテナンスや潤滑を必要としないため、クリーンルームでの使用に最適です。

■特徴

・クリーンルーム対応 ・モーションプラットフォームの直径は50mmから300mmまで ・4,170 Nまでの負荷容量 ・離心率と平坦度 < 200 nm ・垂直または水平に取り付けることができます 概要

■3相トルク モーター

ブラシレス/スロットレス/低コギングトルク/

■アブソリュートエンコーダ (オプション)

アブソリュートエンコーダは、位置の即時決定を可能にする明示的な位置情報を提供します。したがって、スイッチを入れるときに参照する必要がなく、操作中の効率と安全性が向上します。

■アクセサリーとオプション

エンコーダー/オプションのチップ/チルトプラットフォーム/カスタム取り付けフランジ/真空フィードスルー/スリップリング/PIglideフィルターと空気準備キット/単軸または多軸モーションコントローラおよびサーボドライブ/花崗岩製のベースプレートと振動を低減するシステム

■応用分野

光学アライメント、計測、検査システム、キャリブレーション、スキャン。 ※ほかにも型番がございます。

  • シリーズ

    A-62x エアベアリング回転ステージ

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A-62x エアベアリング回転ステージ 品番10件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) アクティブ軸 θZ単位の回転範囲 θZでの双方向再現性 位置決め精度 (θZ単位、校正済み) ドライブの種類 公称電圧 ピーク電圧
A-62x エアベアリング回転ステージ-品番-A-621.025A1

A-621.025A1

要見積もり

θZ

360 °

2,500 min⁻¹

± 0.15 µm

± 0.15 µm

± 0.05 µm

± 2.5 µrad

± 2.5 µrad

インクリメンタル角度測定システム

± 4 µrad

± 8 µrad

Sin/cos, 1 V peak-peak

0.047 nm

8,192

0.047 µrad

1 /回転、エンコーダの1ステップを1カウント、出力信号に同期

アイロンレス3相トルク モーター

48 V

80 V

3.3 A

9.9 A

0.07 N·m

0.07 N·m

0.21 N·m

0.21 N·m

0.03 N·m/A

2.7 Ω

0.1 mH

4.1 V/kRPM

6

A-62x エアベアリング回転ステージ-品番-A-621.025B1

A-621.025B1

要見積もり

θZ

360 °

2,500 min⁻¹

± 0.15 µm

± 0.15 µm

± 0.05 µm

± 2.5 µrad

± 2.5 µrad

絶対角度測定システム

± 4 µrad

± 8 µrad

BiSS-C

0.015 nm

-

0.0015 µrad

-

アイロンレス3相トルク モーター

48 V

80 V

3.3 A

9.9 A

0.07 N·m

0.07 N·m

0.21 N·m

0.21 N·m

0.03 N·m/A

2.7 Ω

0.1 mH

4.1 V/kRPM

6

A-62x エアベアリング回転ステージ-品番-A-623.025A1

A-623.025A1

要見積もり

θZ

360 °

1,200 min⁻¹

± 0.087 µm

± 0.087 µm

± 0.037 µm

± 1.5 µrad

± 1.5 µrad

インクリメンタル角度測定システム

± 4 µrad

± 8 µrad

Sin/cos, 1 V peak-peak

0.024 nm

15,744

0.024 µrad

1 /回転、エンコーダの1ステップを1カウント、出力信号に同期

アイロンレス3相トルク モーター

48 V

80 V

3.1 A

9.3 A

0.7 N·m

0.7 N·m

2.1 N·m

2.1 N·m

0.26 N·m/A

4.2 Ω

0.4 mH

31.8 V/kRPM

14

A-62x エアベアリング回転ステージ-品番-A-623.025B1

A-623.025B1

要見積もり

θZ

360 °

1,200 min⁻¹

± 0.087 µm

± 0.087 µm

± 0.037 µm

± 1.5 µrad

± 1.5 µrad

絶対角度測定システム

± 4 µrad

± 8 µrad

BiSS-C

0.015 nm

-

0.0015 µrad

-

アイロンレス3相トルク モーター

48 V

80 V

3.1 A

9.3 A

0.7 N·m

0.7 N·m

2.1 N·m

2.1 N·m

0.26 N·m/A

4.2 Ω

0.4 mH

31.8 V/kRPM

14

A-62x エアベアリング回転ステージ-品番-A-623.050A1

A-623.050A1

要見積もり

θZ

360 °

1,200 min⁻¹

± 0.087 µm

± 0.087 µm

± 0.037 µm

± 1.5 µrad

± 1.5 µrad

インクリメンタル角度測定システム

± 4 µrad

± 8 µrad

Sin/cos, 1 V peak-peak

0.024 nm

15,744

0.016 µrad

1 /回転、エンコーダの1ステップを1カウント、出力信号に同期

アイロンレス3相トルク モーター

48 V

80 V

3.1 A

9.3 A

0.7 N·m

0.7 N·m

2.1 N·m

2.1 N·m

0.26 N·m/A

4.2 Ω

0.4 mH

31.8 V/kRPM

14

A-62x エアベアリング回転ステージ-品番-A-623.050B1

A-623.050B1

要見積もり

θZ

360 °

1,200 min⁻¹

± 0.087 µm

± 0.087 µm

± 0.037 µm

± 1.5 µrad

± 1.5 µrad

絶対角度測定システム

± 4 µrad

± 8 µrad

BiSS-C

0.015 nm

-

0.0015 µrad

-

アイロンレス3相トルク モーター

48 V

80 V

3.1 A

9.3 A

0.7 N·m

0.7 N·m

2.1 N·m

2.1 N·m

0.26 N·m/A

4.2 Ω

0.4 mH

31.8 V/kRPM

14

A-62x エアベアリング回転ステージ-品番-A-624.050A1

A-624.050A1

要見積もり

θZ

360 °

600 min⁻¹

± 0.05 µm

± 0.05 µm

± 0.025 µm

± 1 µrad

± 1 µrad

インクリメンタル角度測定システム

± 4 µrad

± 8 µrad

Sin/cos, 1 V peak-peak

0.016 nm

23,600

0.016 µrad

1 /回転、エンコーダの1ステップを1カウント、出力信号に同期

アイロンレス3相トルク モーター

48 V

80 V

2.3 A

6.9 A

1.57 N·m

1.57 N·m

4.71 N·m

4.71 N·m

0.59 N·m/A

6.7 Ω

0.9 mH

71 V/kRPM

24

A-62x エアベアリング回転ステージ-品番-A-624.050B1

A-624.050B1

要見積もり

θZ

360 °

600 min⁻¹

± 0.05 µm

± 0.05 µm

± 0.025 µm

± 1 µrad

± 1 µrad

絶対角度測定システム

± 4 µrad

± 8 µrad

BiSS-C

0.015 nm

-

0.0015 µrad

-

アイロンレス3相トルク モーター

48 V

80 V

2.3 A

6.9 A

1.57 N·m

1.57 N·m

4.71 N·m

4.71 N·m

0.59 N·m/A

6.7 Ω

0.9 mH

71 V/kRPM

24

A-62x エアベアリング回転ステージ-品番-A-625.065A1

A-625.065A1

要見積もり

θZ

360 °

500 min⁻¹

± 0.05 µm

± 0.05 µm

± 0.025 µm

± 1 µrad

± 1 µrad

インクリメンタル角度測定システム

± 4 µrad

± 8 µrad

Sin/cos, 1 V peak-peak

0.012 nm

31,488

0.012 µrad

1 /回転、エンコーダの1ステップを1カウント、出力信号に同期

アイロンレス3相トルク モーター

48 V

80 V

2.3 A

6.9 A

1.57 N·m

1.57 N·m

4.71 N·m

4.71 N·m

0.59 N·m/A

6.7 Ω

0.9 mH

71 V/kRPM

24

A-62x エアベアリング回転ステージ-品番-A-625.065B1

A-625.065B1

要見積もり

θZ

360 °

500 min⁻¹

± 0.05 µm

± 0.05 µm

± 0.025 µm

± 1 µrad

± 1 µrad

絶対角度測定システム

± 4 µrad

± 8 µrad

BiSS-C

0.015 nm

-

0.0015 µrad

1 /回転、エンコーダの1ステップを1カウント、出力信号に同期

アイロンレス3相トルク モーター

48 V

80 V

2.3 A

6.9 A

1.57 N·m

1.57 N·m

4.71 N·m

4.71 N·m

0.59 N·m/A

6.7 Ω

0.9 mH

71 V/kRPM

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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