A-62x エアベアリング回転ステージ
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この製品について

摩擦がなく、インデックス作成、位置決め、スキャン、測定技術に最適。PIglide RMシリーズの電動回転ステージは、精度、精度、高剛性、使いやすさを考慮して設計されており、任意の方向に取り付けることができます。さまざまなオプションを組み合わせて、ポイントツーポイントのインデックス作成や等速スキャンに最適なソリューションを作成できます。

RMステージは、優れた移動精度、平坦性、およびウォブル性能を提供します。摩擦がなく、メンテナンスや潤滑を必要としないため、クリーンルームでの使用に最適です。

■特徴・クリーンルーム対応
・モーションプラットフォームの直径は50mmから300mmまで
・4,170 Nまでの負荷容量
・離心率と平坦度 < 200 nm
・垂直または水平に取り付けることができます

概要
■3相トルク モーターブラシレス/スロットレス/低コギングトルク/

■アブソリュートエンコーダ (オプション) アブソリュートエンコーダは、位置の即時決定を可能にする明示的な位置情報を提供します。したがって、スイッチを入れるときに参照する必要がなく、操作中の効率と安全性が向上します。

■アクセサリーとオプションエンコーダー/オプションのチップ/チルトプラットフォーム/カスタム取り付けフランジ/真空フィードスルー/スリップリング/PIglideフィルターと空気準備キット/単軸または多軸モーションコントローラおよびサーボドライブ/花崗岩製のベースプレートと振動を低減するシステム

■応用分野光学アライメント、計測、検査システム、キャリブレーション、スキャン。

※ほかにも型番がございます。

型番
この商品には10種類の型番があります

シリーズ
A-62x エアベアリング回転ステージ

取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社

カテゴリ

ステージ

回転ステージ

ステージ

位置決めステージ

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A-62x エアベアリング回転ステージ品番10件

フィルター

品番	価格 (税抜)	アクティブ軸	θZ単位の回転範囲	無負荷時の最大角速度 (θZ) 2,500 min⁻¹ 1,200 min⁻¹ 600 min⁻¹ 500 min⁻¹	X の線形クロストークと θZ の運動 ± 0.15 µm ± 0.087 µm ± 0.05 µm	Yの線形クロストークとθZの運動 ± 0.15 µm ± 0.087 µm ± 0.05 µm	Z の線形クロストークと θZ の運動 ± 0.05 µm ± 0.037 µm ± 0.025 µm	θX の回転クロストークと θZ の運動 ± 2.5 µrad ± 1.5 µrad ± 1 µrad	θYの回転クロストークとθZの運動 ± 2.5 µrad ± 1.5 µrad ± 1 µrad	統合センサーインクリメンタル角度測定システム絶対角度測定システム	θZでの双方向再現性	位置決め精度 (θZ単位、校正済み)	センサー信号 Sin/cos, 1 V peak-peak BiSS-C	センサー解像度 0.047 nm 0.015 nm 0.024 nm 0.016 nm 0.012 nm	センサー信号周期 / U 8,192 15,744 23,600 31,488	センサー分解能、回転式 0.047 µrad 0.0015 µrad 0.024 µrad 0.016 µrad 0.012 µrad	基準スイッチ 1 /回転、エンコーダの1ステップを1カウント、出力信号に同期	ドライブの種類	公称電圧	ピーク電圧	公称電流、実効値 3.3 A 3.1 A 2.3 A	ピーク電流、実効値 9.9 A 9.3 A 6.9 A	駆動トルクは反時計回りにθZで 0.07 N·m 0.7 N·m 1.57 N·m	トルクを時計回りにθZで駆動 0.07 N·m 0.7 N·m 1.57 N·m	θZで反時計回りのピークトルク 0.21 N·m 2.1 N·m 4.71 N·m	時計回りのピークトルク (θZ) 0.21 N·m 2.1 N·m 4.71 N·m	トルク定数 0.03 N·m/A 0.26 N·m/A 0.59 N·m/A	抵抗相相 2.7 Ω 4.2 Ω 6.7 Ω	インダクタンス相相 0.1 mH 0.4 mH 0.9 mH	逆起電力, 相相, 回転 4.1 V/kRPM 31.8 V/kRPM 71 V/kRPM	極ペアの数 6 14 24
A-621.025A1	要見積もり	θZ	360 °	2,500 min⁻¹	± 0.15 µm	± 0.15 µm	± 0.05 µm	± 2.5 µrad	± 2.5 µrad	インクリメンタル角度測定システム	± 4 µrad	± 8 µrad	Sin/cos, 1 V peak-peak	0.047 nm	8,192	0.047 µrad	1 /回転、エンコーダの1ステップを1カウント、出力信号に同期	アイロンレス3相トルクモーター	48 V	80 V	3.3 A	9.9 A	0.07 N·m	0.07 N·m	0.21 N·m	0.21 N·m	0.03 N·m/A	2.7 Ω	0.1 mH	4.1 V/kRPM	6
A-621.025B1	要見積もり	θZ	360 °	2,500 min⁻¹	± 0.15 µm	± 0.15 µm	± 0.05 µm	± 2.5 µrad	± 2.5 µrad	絶対角度測定システム	± 4 µrad	± 8 µrad	BiSS-C	0.015 nm	-	0.0015 µrad	-	アイロンレス3相トルクモーター	48 V	80 V	3.3 A	9.9 A	0.07 N·m	0.07 N·m	0.21 N·m	0.21 N·m	0.03 N·m/A	2.7 Ω	0.1 mH	4.1 V/kRPM	6
A-623.025A1	要見積もり	θZ	360 °	1,200 min⁻¹	± 0.087 µm	± 0.087 µm	± 0.037 µm	± 1.5 µrad	± 1.5 µrad	インクリメンタル角度測定システム	± 4 µrad	± 8 µrad	Sin/cos, 1 V peak-peak	0.024 nm	15,744	0.024 µrad	1 /回転、エンコーダの1ステップを1カウント、出力信号に同期	アイロンレス3相トルクモーター	48 V	80 V	3.1 A	9.3 A	0.7 N·m	0.7 N·m	2.1 N·m	2.1 N·m	0.26 N·m/A	4.2 Ω	0.4 mH	31.8 V/kRPM	14
A-623.025B1	要見積もり	θZ	360 °	1,200 min⁻¹	± 0.087 µm	± 0.087 µm	± 0.037 µm	± 1.5 µrad	± 1.5 µrad	絶対角度測定システム	± 4 µrad	± 8 µrad	BiSS-C	0.015 nm	-	0.0015 µrad	-	アイロンレス3相トルクモーター	48 V	80 V	3.1 A	9.3 A	0.7 N·m	0.7 N·m	2.1 N·m	2.1 N·m	0.26 N·m/A	4.2 Ω	0.4 mH	31.8 V/kRPM	14
A-623.050A1	要見積もり	θZ	360 °	1,200 min⁻¹	± 0.087 µm	± 0.087 µm	± 0.037 µm	± 1.5 µrad	± 1.5 µrad	インクリメンタル角度測定システム	± 4 µrad	± 8 µrad	Sin/cos, 1 V peak-peak	0.024 nm	15,744	0.016 µrad	1 /回転、エンコーダの1ステップを1カウント、出力信号に同期	アイロンレス3相トルクモーター	48 V	80 V	3.1 A	9.3 A	0.7 N·m	0.7 N·m	2.1 N·m	2.1 N·m	0.26 N·m/A	4.2 Ω	0.4 mH	31.8 V/kRPM	14
A-623.050B1	要見積もり	θZ	360 °	1,200 min⁻¹	± 0.087 µm	± 0.087 µm	± 0.037 µm	± 1.5 µrad	± 1.5 µrad	絶対角度測定システム	± 4 µrad	± 8 µrad	BiSS-C	0.015 nm	-	0.0015 µrad	-	アイロンレス3相トルクモーター	48 V	80 V	3.1 A	9.3 A	0.7 N·m	0.7 N·m	2.1 N·m	2.1 N·m	0.26 N·m/A	4.2 Ω	0.4 mH	31.8 V/kRPM	14
A-624.050A1	要見積もり	θZ	360 °	600 min⁻¹	± 0.05 µm	± 0.05 µm	± 0.025 µm	± 1 µrad	± 1 µrad	インクリメンタル角度測定システム	± 4 µrad	± 8 µrad	Sin/cos, 1 V peak-peak	0.016 nm	23,600	0.016 µrad	1 /回転、エンコーダの1ステップを1カウント、出力信号に同期	アイロンレス3相トルクモーター	48 V	80 V	2.3 A	6.9 A	1.57 N·m	1.57 N·m	4.71 N·m	4.71 N·m	0.59 N·m/A	6.7 Ω	0.9 mH	71 V/kRPM	24
A-624.050B1	要見積もり	θZ	360 °	600 min⁻¹	± 0.05 µm	± 0.05 µm	± 0.025 µm	± 1 µrad	± 1 µrad	絶対角度測定システム	± 4 µrad	± 8 µrad	BiSS-C	0.015 nm	-	0.0015 µrad	-	アイロンレス3相トルクモーター	48 V	80 V	2.3 A	6.9 A	1.57 N·m	1.57 N·m	4.71 N·m	4.71 N·m	0.59 N·m/A	6.7 Ω	0.9 mH	71 V/kRPM	24
A-625.065A1	要見積もり	θZ	360 °	500 min⁻¹	± 0.05 µm	± 0.05 µm	± 0.025 µm	± 1 µrad	± 1 µrad	インクリメンタル角度測定システム	± 4 µrad	± 8 µrad	Sin/cos, 1 V peak-peak	0.012 nm	31,488	0.012 µrad	1 /回転、エンコーダの1ステップを1カウント、出力信号に同期	アイロンレス3相トルクモーター	48 V	80 V	2.3 A	6.9 A	1.57 N·m	1.57 N·m	4.71 N·m	4.71 N·m	0.59 N·m/A	6.7 Ω	0.9 mH	71 V/kRPM	24
A-625.065B1	要見積もり	θZ	360 °	500 min⁻¹	± 0.05 µm	± 0.05 µm	± 0.025 µm	± 1 µrad	± 1 µrad	絶対角度測定システム	± 4 µrad	± 8 µrad	BiSS-C	0.015 nm	-	0.0015 µrad	1 /回転、エンコーダの1ステップを1カウント、出力信号に同期	アイロンレス3相トルクモーター	48 V	80 V	2.3 A	6.9 A	1.57 N·m	1.57 N·m	4.71 N·m	4.71 N·m	0.59 N·m/A	6.7 Ω	0.9 mH	71 V/kRPM	24