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Q-545_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ®-Q-545.140
Q-545_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ®-ピーアイ・ジャパン株式会社

Q-545_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ®
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

製品の説明

■圧電慣性駆動

ピエゾ慣性ドライブは、比較的高い保持力と実質的に無制限の移動範囲を備えた、省スペースで手頃な価格のピエゾベースのドライブです。慣性駆動原理は、特別なドライバエレクトロニクスによって提供される修正された鋸歯状電圧で制御される単一の圧電アクチュエータに基づいています。 アクチュエータはゆっくりと膨張し、ランナーを動かします。その慣性のために、ランナーはその後のアクチュエータの急速な収縮に追従することができず、その位置に留まります。最大20kHzの動作周波数で、ドライブはランナーに直接作用し、最大6mm/sの速度を達成します。

■応用分野

マイクロアセンブリ。フォトニクス。光学アライメント。顕微鏡。ビームライン計装半導体技術。テスティング。

■直接測定原理

・リニアステージには、非接触測定光学式リニアエンコーダとリファレンススイッチが装備されています。 ・分解能1ナノメートル。

■特徴

・幅わずか45mm ・駆動力7N ・ナノメートルの位置分解能を備えたインクリメンタルセンサ ・アダプタープレートなしのXY組み合わせが可能

  • シリーズ

    Q-545_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ®

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Q-545_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ® 品番2件

フィルター

次の条件に該当する商品を1件表示しています

商品画像 品番 価格 (税抜) アクティブ軸 最大速度、閉ループ (mm/s) 最小インクリメンタルモーション (nm) ピッチ (μrad) 直線 (µm) 駆動力 (N) セルフロック (N) モータータイプ 最大負荷容量、水平 (kg) 最大負荷容量、任意 (kg) ガイドの種類 軸方向剛性 (N/μm) 統合センサー センサー解像度 (nm) 基準スイッチ センサー信号 使用温度範囲 (℃) ケーブル長 (m) モーター/センサーコネクタ 材料 推奨電子機器
Q-545_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ®-品番-Q-545.140

Q-545.140

要見積もり

X

13

8

6

250

100

2

7

8

圧電慣性駆動

0.5

0.1

105

216

アンチクリープシステム付きクロスローラーベアリング

1.5

9

リニアエンコーダ

1

オプティカル

100

アナログ,1Vpp

0から50

2

Dサブ15 (m)

アルミニウム

E-873.1AT,E-873.10C885

フィルターに該当する他製品

リニアステージの中で同じ条件の製品
使用用途: マイクロマニピュレーション

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使用用途

#半導体製造 #光学検査 #精密加工 #測定装置 #自動組立 #ロボット制御 #医療機器開発 #研究開発 #マイクロマニピュレーション #電子部品検査 #ナノテクノロジー

移動範囲 mm

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000

位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 30

耐荷重 N

0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

最大速度 mm/秒

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000

繰返し位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10

駆動ネジピッチ mm

0 - 0.1 0.1 - 0.4 0.4 - 0.5 0.5 - 1

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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