Q-545＿Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ®
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この製品について

製品の説明
■圧電慣性駆動ピエゾ慣性ドライブは、比較的高い保持力と実質的に無制限の移動範囲を備えた、省スペースで手頃な価格のピエゾベースのドライブです。慣性駆動原理は、特別なドライバエレクトロニクスによって提供される修正された鋸歯状電圧で制御される単一の圧電アクチュエータに基づいています。

アクチュエータはゆっくりと膨張し、ランナーを動かします。その慣性のために、ランナーはその後のアクチュエータの急速な収縮に追従することができず、その位置に留まります。最大20kHzの動作周波数で、ドライブはランナーに直接作用し、最大6mm/sの速度を達成します。

■応用分野マイクロアセンブリ。フォトニクス。光学アライメント。顕微鏡。ビームライン計装半導体技術。テスティング。

■直接測定原理・リニアステージには、非接触測定光学式リニアエンコーダとリファレンススイッチが装備されています。
・分解能1ナノメートル。

■特徴・幅わずか45mm
・駆動力7N
・ナノメートルの位置分解能を備えたインクリメンタルセンサ
・アダプタープレートなしのXY組み合わせが可能

型番
この商品には2種類の型番があります

シリーズ
Q-545＿Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ®

取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社

カテゴリ

ステージ

リニアステージ

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Q-545＿Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ® 品番2件

フィルター

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使用用途: 研究開発

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	商品画像	品番	価格 (税抜)	アクティブ軸	移動範囲 (mm) 13 26	最大速度、閉ループ (mm/s)	最小インクリメンタルモーション (nm)	ピッチ (μrad)	ヨー (μrad) 100 250	直線 (µm)	駆動力 (N)	セルフロック (N)	モータータイプ	最大負荷容量、水平 (kg)	最大負荷容量、任意 (kg)	ケーブルとコネクタなしの質量 (g) 105 135	ケーブルとコネクタを含む質量 (g) 216 245	ガイドの種類	軸方向剛性 (N/μm)	横方向の剛性 (N/μm) 9 10	統合センサー	センサー解像度 (nm)	基準スイッチ	双方向再現性 (nm) 100 200	センサー信号	使用温度範囲 (℃)	ケーブル長 (m)	モーター/センサーコネクタ	材料	推奨電子機器
		Q-545.140	要見積もり	X	13	8	6	250	100	2	7	8	圧電慣性駆動	0.5	0.1	105	216	アンチクリープシステム付きクロスローラーベアリング	1.5	9	リニアエンコーダ	1	オプティカル	100	アナログ,1Vpp	0から50	2	Dサブ15 (m)	アルミニウム	E-873.1AT,E-873.10C885