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Q-545_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ®-Q-545.140
Q-545_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ®-ピーアイ・ジャパン株式会社

Q-545_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ®
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

製品の説明

■圧電慣性駆動

ピエゾ慣性ドライブは、比較的高い保持力と実質的に無制限の移動範囲を備えた、省スペースで手頃な価格のピエゾベースのドライブです。慣性駆動原理は、特別なドライバエレクトロニクスによって提供される修正された鋸歯状電圧で制御される単一の圧電アクチュエータに基づいています。 アクチュエータはゆっくりと膨張し、ランナーを動かします。その慣性のために、ランナーはその後のアクチュエータの急速な収縮に追従することができず、その位置に留まります。最大20kHzの動作周波数で、ドライブはランナーに直接作用し、最大6mm/sの速度を達成します。

■応用分野

マイクロアセンブリ。フォトニクス。光学アライメント。顕微鏡。ビームライン計装半導体技術。テスティング。

■直接測定原理

・リニアステージには、非接触測定光学式リニアエンコーダとリファレンススイッチが装備されています。 ・分解能1ナノメートル。

■特徴

・幅わずか45mm ・駆動力7N ・ナノメートルの位置分解能を備えたインクリメンタルセンサ ・アダプタープレートなしのXY組み合わせが可能

  • シリーズ

    Q-545_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ®

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Q-545_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ® 品番2件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) アクティブ軸 最大速度、閉ループ (mm/s) 最小インクリメンタルモーション (nm) ピッチ (μrad) 直線 (µm) 駆動力 (N) セルフロック (N) モータータイプ 最大負荷容量、水平 (kg) 最大負荷容量、任意 (kg) ガイドの種類 軸方向剛性 (N/μm) 統合センサー センサー解像度 (nm) 基準スイッチ センサー信号 使用温度範囲 (℃) ケーブル長 (m) モーター/センサーコネクタ 材料 推奨電子機器
Q-545_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ®-品番-Q-545.140

Q-545.140

要見積もり

X

13

8

6

250

100

2

7

8

圧電慣性駆動

0.5

0.1

105

216

アンチクリープシステム付きクロスローラーベアリング

1.5

9

リニアエンコーダ

1

オプティカル

100

アナログ,1Vpp

0から50

2

Dサブ15 (m)

アルミニウム

E-873.1AT,E-873.10C885

Q-545_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ®-品番-Q-545.240

Q-545.240

要見積もり

X

26

8

6

250

250

2

7

8

圧電慣性駆動

0.5

0.1

135

245

アンチクリープシステム付きクロスローラーベアリング

1.5

10

リニアエンコーダ

1

オプティカル

200

アナログ,1Vpp

0から50

2

Dサブ15 (m)

アルミニウム

E-873.1AT,E-873.10C885

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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