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Q-521_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ-Q-521.130
Q-521_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

Q-521_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

製品説明

■圧電慣性駆動

ピエゾ慣性ドライブは、比較的高い保持力と実質的に無制限の移動範囲を備えた、省スペースで手頃な価格のピエゾベースのドライブです。 慣性駆動原理は、特殊な駆動電子機器によって提供される修正された鋸歯状電圧で制御される単一の圧電アクチュエータに基づいています。アクチュエータはゆっくりと膨張し、ランナーを動かします。その慣性のために、ランナーはその後のアクチュエータの急速な収縮に追従することができず、その位置に留まります。ランナーに直接作用するドライブは、最大6kHzの動作周波数で最大20mm/sの速度を達成します。

■直接測定原理

リニアステージには、非接触測定光学式リニアエンコーダとリファレンススイッチが装備されています。解像度4nmまたは1nm (バージョンによって異なります) 。

■応用分野

マイクロアセンブリ。フォトニクス。光学アライメント。顕微鏡。ビームライン計装半導体技術。アプリケーションのテスト。

■製品特徴

・幅わずか21mm、高さ10mm ・内蔵インクリメンタルエンコーダによる直接位置測定 ・エンコーダ分解能:最大1nm ・最小増分モーション30nmまで ・アダプタプレートまたはブラケットを備えた多軸システムセットアップ (オプションとして利用可能)

■その他

双方向再現性:±521.30mmの場合はQ-0.x16モデル、±521.40mmの場合はQ-0.x04モデルに適用

  • シリーズ

    Q-521_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ

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Q-521_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ 品番6件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) アクティブ軸 最大速度 (X) (無負荷) (mm/s) Xの線形性 (µm) ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX) (μrad) センサー信号 基準スイッチ ドライブの種類 X単位の正の運動方向への駆動力 (N) X単位の負の運動方向への駆動力 (N) ガイド Xの保持力、パッシブ (N) 材料 最大負荷容量、任意の方向のベースプレート (kg) 最大耐荷重、ベースプレート水平 (kg) 使用温度範囲 (℃) コネクタ ケーブル長 (m) 推奨コントローラ/ドライバ
Q-521_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ-品番-Q-521.130

Q-521.130

要見積もり

X

12

6

3.5

±150

±100

インクリメンタルリニアエンコーダ

25

±75

50

Sin/cos、1Vピークピーク

4

オプティカル

Qモーション®ピエゾモーター

0.6

0.6

クロスローラーガイド

1.3

110

24

ステンレススチール

0.06

0.3

0から40

Dサブ15ピン(m)

1

E-873.1AT,E-873.10C885

Q-521_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ-品番-Q-521.140

Q-521.140

要見積もり

X

12

6

3.5

±150

±100

インクリメンタルリニアエンコーダ

25

±40

30

Sin/cos、1Vピークピーク

1

オプティカル

Qモーション®ピエゾモーター

0.6

0.6

クロスローラーガイド

1.3

110

24

ステンレススチール

0.06

0.3

0から40

Dサブ15ピン(m)

1

E-873.1AT,E-873.10C885

Q-521_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ-品番-Q-521.230

Q-521.230

要見積もり

X

22

6

3.5

±150

±150

インクリメンタルリニアエンコーダ

25

±75

50

Sin/cos、1Vピークピーク

4

オプティカル

Qモーション®ピエゾモーター

0.6

0.6

クロスローラーガイド

1.3

126

34

ステンレススチール

0.06

0.3

0から40

Dサブ15ピン(m)

1

E-873.1AT,E-873.10C885

Q-521_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ-品番-Q-521.240

Q-521.240

要見積もり

X

22

6

3.5

±150

±150

インクリメンタルリニアエンコーダ

25

±40

30

Sin/cos、1Vピークピーク

1

オプティカル

Qモーション®ピエゾモーター

0.6

0.6

クロスローラーガイド

1.3

126

34

ステンレススチール

0.06

0.3

0から40

Dサブ15ピン(m)

1

E-873.1AT,E-873.10C885

Q-521_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ-品番-Q-521.330

Q-521.330

要見積もり

X

32

6

3.5

±150

±200

インクリメンタルリニアエンコーダ

30

±75

50

Sin/cos、1Vピークピーク

4

オプティカル

Qモーション®ピエゾモーター

0.6

0.6

クロスローラーガイド

1.3

135

48

ステンレススチール

0.06

0.3

0から40

Dサブ15ピン(m)

1

E-873.1AT,E-873.10C885

Q-521_Qモーションピエゾモータ小型リニアステージ-品番-Q-521.340

Q-521.340

要見積もり

X

32

6

3.5

±150

±200

インクリメンタルリニアエンコーダ

30

±40

30

Sin/cos、1Vピークピーク

1

オプティカル

Qモーション®ピエゾモーター

0.6

0.6

クロスローラーガイド

1.3

135

48

ステンレススチール

0.06

0.3

0から40

Dサブ15ピン(m)

1

E-873.1AT,E-873.10C885

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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