ダイナミックで安定した位置 P-753LISA ピエゾリニアステージ-P-753.11C

ダイナミックで安定した位置 P-753LISA ピエゾリニアステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

■応用分野・走査型顕微鏡
・測定技術
・テスト手順と品質保証
・フォトニクス
・ファイバーポジショニング

製品概要
■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエータは、オールセラミック絶縁されています。これにより、漏れ電流の増加に起因する湿度や故障から保護されます。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大100倍長い寿命を提供します。1回の故障もない1,000億サイクルが証明されています。

■静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能静電容量センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。これらのデバイスは、優れた直線性、長期安定性、およびkHz範囲の帯域幅を保証します。

■ゼロプレイフレクシャガイドによる高いガイド精度フレクシャガイドはメンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。その剛性は高い負荷容量を可能にし、衝撃や振動の影響を受けません。それらは広い温度範囲で動作します。

■直接位置測定による最大精度モーションは、ドライブやガイド要素の影響を受けずにモーションプラットフォームで直接測定されます。これにより、最適な再現性、優れた安定性、剛性と高速応答の制御が可能になります。

■PICMA®ダイレクトドライブによるより高い剛性とダイナミクスPICMA®ダイレクトドライブを備えたピエゾナノポジショナーには、機械的な変換はありません。これにより、高速応答速度と、ピエゾ駆動範囲で可能な限り最高の剛性とダイナミクスが可能になります。

■製品特徴・ガイド付きステージとアクチュエータを同時に
・最大移動範囲38μm
・分解能0.1nm
・ダイレクトドライブによる特に高速な応答動作
・静電容量センサーによる最高の直線性

■その他PIピエゾナノポジショニングシステムは摩擦がないため、システムの分解能はアンプのノイズと測定技術によってのみ制限されます。

型番
この商品には6種類の型番があります

シリーズ
ダイナミックで安定した位置 P-753LISA ピエゾリニアステージ

取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社

カテゴリ

ステージ

位置決めステージ

駆動機構・部品

リニアアクチュエータ

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ダイナミックで安定した位置 P-753LISA ピエゾリニアステージ品番6件

フィルター

品番	価格 (税抜)	アクティブ軸	X単位の移動範囲 (µm) 15 30 38	直線性誤差、閉ループ (%)	ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はX) (μrad) ±5 ±7 ±10	ヨー (θZの回転クロストークとXの運動) (μrad) ±5 ±7 ±10	統合センサー	X単位のシステム解像度 (nm) 0.1 0.2 0.25	ドライブの種類	X単位の電気容量 (μF) 1.5 3.1 4.6	ガイド	Xの剛性 (N/μm) 16 24 45	Xの共振周波数、無負荷 (Hz) 5,600 3,700 2,900	Xの共振周波数、200gの負荷下 (Hz) 2,500 1,700 1,400	Xでの許容プッシュ力 (N)	Z単位の許容押し力 (N) 80 90 100	Xでの許容引っ張り力 (N)	全体の質量 (g) 160 215 260	材料	コネクタ LEMO LVPZT Dサブ7W2 (m)	センサーコネクタ静電容量センサー用LEMO	ケーブル長 (m)	使用温度範囲 (℃)	推奨コントローラ/ドライバ
P-753.11C	要見積もり	X	15	0.03	±5	±5	静電容量式、直接位置測定	0.1	ピクマ®	1.5	レバー増幅付き曲げガイド	45	5,600	2,500	100	80	20	160	鋼鉄	LEMO LVPZT	静電容量センサー用LEMO	1.5	-20から80	E-625,E-709.1C1L,E-754
P-753.1CD	要見積もり	X	15	0.03	±5	±5	静電容量式、直接位置測定	0.1	ピクマ®	1.5	レバー増幅付き曲げガイド	45	5,600	2,500	100	80	20	160	鋼鉄	Dサブ7W2 (m)	-	1.5	-20から80	E-625,E-709.1C1L,E-754
P-753.21C	要見積もり	X	30	0.03	±7	±7	静電容量式、直接位置測定	0.2	ピクマ®	3.1	レバー増幅付き曲げガイド	24	3,700	1,700	100	90	20	215	鋼鉄	LEMO LVPZT	静電容量センサー用LEMO	1.5	-20から80	E-625,E-709.1C1L,E-754
P-753.2CD	要見積もり	X	30	0.03	±7	±7	静電容量式、直接位置測定	0.2	ピクマ®	3.1	レバー増幅付き曲げガイド	24	3,700	1,700	100	90	20	215	鋼鉄	Dサブ7W2 (m)	-	1.5	-20から80	E-625,E-709.1C1L,E-754
P-753.31C	要見積もり	X	38	0.03	±10	±10	静電容量式、直接位置測定	0.25	ピクマ®	4.6	レバー増幅付き曲げガイド	16	2,900	1,400	100	100	20	260	鋼鉄	LEMO LVPZT	静電容量センサー用LEMO	1.5	-20から80	E-625,E-709.1C1L,E-754
P-753.3CD	要見積もり	X	38	0.03	±10	±10	静電容量式、直接位置測定	0.25	ピクマ®	4.6	レバー増幅付き曲げガイド	16	2,900	1,400	100	100	20	260	鋼鉄	Dサブ7W2 (m)	-	1.5	-20から80	E-625,E-709.1C1L,E-754