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N565 ピエゾステッピングドライブステージ_13, 26,52mm-N-565.160
N565 ピエゾステッピングドライブステージ_13, 26,52mm-ピーアイ・ジャパン株式会社

N565 ピエゾステッピングドライブステージ_13, 26,52mm
ピーアイ・ジャパン株式会社

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製品概要

■NEXACT参照クラス線形ステージ®

NEXACT®PiezoWalk®ドライブを備えたリニアステージは、長い移動範囲にわたってナノメートル範囲での高精度位置決めを可能にします。彼らは最高の精度のために直接測定リニアエンコーダとクロスローラーベアリングが装備されています。

■PIOneリニアエンコーダによる直接位置測定

高分解能PIOneエンコーダはPIによって開発され、測定値の対応する処理により、1ナノメートルをはるかに下回る位置分解能を可能にします。さらに、信号周期が短く、信号が高品質であるため、PIOneエンコーダの直線性誤差は1%未満です。PIOneエンコーダは、基準信号を評価する際の方向検出をサポートします。

■ピエゾウォーク技術:高解像度と低摩耗®

PiezoWalk®テクノロジーは、ピエゾアクチュエーターの技術的利点とピエゾモーターの技術的利点を組み合わせたものです。PiezoWalk®ウォーキングドライブは、サブナノメートルの分解能、高力、高剛性を提供するだけでなく、理論的には無制限の移動範囲を可能にします。他のピエゾ電動駆動原理とは対照的に、PiezoWalk®ウォーキングドライブは滑り摩擦の影響を受けません。 これらは、ランナーに沿ってステップするいくつかのピエゾアクチュエータのスティクション接点に基づいています。安静時、PiezoWalk®ウォーキングドライブはセルフロック式で、エネルギーを消費せず、熱を発生しません。

■応用分野

サンプル操作、サンプルポジショニング、高精度で安定した光学部品または機械部品、半導体産業における精密機械、マイクロマニピュレーション、顕微鏡、自動化、限られたスペースでのアプリケーション、非磁性環境でのアプリケーション。

■製品特徴

・超精密:最小3nmのインクリメンタルモーションと0.5nmの分解能を持つ直接測定PIOneエンコーダ ・長い移動範囲:13mm、26mm、または52mm ・スイッチオフ時のセルフロック:エネルギーを節約し、発熱を低減 ・ピエゾウォーク®技術による長寿命と高信頼性 ・コンパクト設計:幅65mm、高さ20mm

  • シリーズ

    N565 ピエゾステッピングドライブステージ_13, 26,52mm

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N565 ピエゾステッピングドライブステージ_13, 26,52mm 品番3件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) アクティブ軸 X単位の最大速度、無負荷 (mm/s) θZの回転クロストークとXの運動 (µrad) Xでのシステム解像度 (nm) Xにおける一方向再現性 (nm) X単位の最小増分モーション (μm) 統合センサー センサー解像度 (nm) 基準スイッチ ドライブの種類 X単位の負の運動方向への駆動力 (N) X単位の正の運動方向への駆動力 (N) ガイド Xの保持力、パッシブ (N) Z単位の許容押し力 (N) 材料 コネクタ センサーコネクタ 推奨コントローラ/ドライバ ケーブル長 (m)
N565 ピエゾステッピングドライブステージ_13, 26,52mm-品番-N-565.160

N-565.160

要見積もり

X

13

10

50

50

0.5

50

0.003

PIOne:インクリメンタルリニアエンコーダ

0.5

オプティカル

NEXACT® piezo walking drive

10

10

クロスローラーガイド

10

300

20

アルミニウム、ブラックアルマイト

ハイビジョンDサブ 15 (m)

Dサブ15極 (f)

E-861.1A1

3

N565 ピエゾステッピングドライブステージ_13, 26,52mm-品番-N-565.260

N-565.260

要見積もり

X

26

10

100

50

0.5

50

0.003

PIOne:インクリメンタルリニアエンコーダ

0.5

オプティカル

NEXACT® piezo walking drive

10

10

クロスローラーガイド

10

400

20

アルミニウム、ブラックアルマイト

ハイビジョンDサブ 15 (m)

Dサブ15極 (f)

E-861.1A1

3

N565 ピエゾステッピングドライブステージ_13, 26,52mm-品番-N-565.360

N-565.360

要見積もり

X

52

10

200

50

0.5

50

0.003

PIOne:インクリメンタルリニアエンコーダ

0.5

オプティカル

NEXACT® piezo walking drive

10

10

クロスローラーガイド

10

600

20

アルミニウム、ブラックアルマイト

ハイビジョンDサブ 15 (m)

Dサブ15極 (f)

E-861.1A1

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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