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M-110 • M-111 • M-112 V6 真空対応コンパクトリニアステージ-M-110.1VG1
M-110 • M-111 • M-112 V6 真空対応コンパクトリニアステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

M-110 • M-111 • M-112 V6 真空対応コンパクトリニアステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

製品概要

■コンパクトなリニアステージ、多用途

ベルト駆動による折りたたみ駆動によるコンパクトなサイズのリニアステージ。10mmØのクリアアパーチャXYセットアップは、アダプタープレートなしで直接取り付けることができます。

■特に真空環境での使用のためのアウトガスの削減

最も注目すべきは、ガイドとスピンドルの潤滑には、特にアウトガスの少ない材料が使用されていることです。これにより、最大80℃のベークアウト温度が可能になります。PIV6真空クラスのこれと他の変更により、このポジショナーは最大10個まで使用できます-6ヘクトパスカル。

■ドライブ

・閉ループDCギアモーター ・バックラッシュ補正ねじスピンドル

■位置測定

・モーターシャフトのロータリーエンコーダー ・非接触ホール効果リファレンスおよびリミットスイッチ

■応用分野

真空チャンバー。研究。ビームライン計装顕微鏡。電子機器の組み立てと検査。

■製品特徴

・10までの真空に適しています-6ヘクトパスカル ・折りたたみ式ドライブによる非常にコンパクト ・閉ループDCモータ ・移動範囲:5、15、および25mm ・非接触リファレンスおよびリミットスイッチ ・XYセットアップは直接取り付け可能

  • シリーズ

    M-110 • M-111 • M-112 V6 真空対応コンパクトリニアステージ

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M-110 • M-111 • M-112 V6 真空対応コンパクトリニアステージ 品番3件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) アクティブ軸 X単位の移動範囲 (mm) X単位の最大速度、無負荷 (mm/s) Xにおける一方向再現性 (µm) Xでの双方向再現性 (µm) X単位の最小増分モーション (μm) Xでのバックラッシュ (µm) 基準スイッチ リミットスイッチ モーターエンコーダ 分解能、モータエンコーダ モーターエンコーダ:センサー信号 ドライブの種類 公称電圧 (V) 公称電流、実効値 (A) X単位の負の運動方向への駆動力 (N) X単位の正の運動方向への駆動力 (N) ガイド 駆動ネジ式 駆動ネジピッチ (mm) ギヤ比 i Xの保持力、パッシブ (N) 質量をX単位で移動し、無負荷 (g) Y単位の許容押し力 (N) Z単位の許容押し力 (N) 許容トルク (θx) (N·m) 許容トルク (θY) (N·m) 許容トルク (θZ) (N·m) 全体の質量 (g) 材料
M-110 • M-111 • M-112 V6 真空対応コンパクトリニアステージ-品番-M-110.1VG1

M-110.1VG1

要見積もり

X

5

1

0.25

±2

0.05

3

ホール効果

ホール効果

インクリメンタルロータリエンコーダ

2,048カラット/改訂版

A/B直交、RS-422

直流ギアモーター

12

0.16

10

10

ボールガイド

細ねじスピンドル

0.4

256:9

10

11

15

30

0.15

0.15

0.15

250

アルマイト

M-110 • M-111 • M-112 V6 真空対応コンパクトリニアステージ-品番-M-111.1VG1

M-111.1VG1

要見積もり

X

5

1.5

0.25

±2

0.05

3

ホール効果

ホール効果

インクリメンタルロータリエンコーダ

2,048カラット/改訂版

A/B直交、RS-422

直流ギアモーター

12

0.16

10

10

ボールガイド

細ねじスピンドル

0.4

256:9

10

11

15

30

0.15

0.15

0.15

250

アルマイト

M-110 • M-111 • M-112 V6 真空対応コンパクトリニアステージ-品番-M-112.1VG1

M-112.1VG1

要見積もり

X

5

1.5

0.25

±2

0.05

3

ホール効果

ホール効果

インクリメンタルロータリエンコーダ

2,048カラット/改訂版

A/B直交、RS-422

直流ギアモーター

12

0.16

10

10

ボールガイド

細ねじスピンドル

0.4

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10

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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