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A-121 PIglide エアベアリング付きリニアステージ-A-121.050
A-121 PIglide エアベアリング付きリニアステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

A-121 PIglide エアベアリング付きリニアステージ
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

■製品概要

PIglideのステージには、プリロードされたエアベアリングと統合されたリニアエンコーダを備えたサーボドライブリニアモータが装備。これらの非接触コンポーネントの組み合わせにより、最高の性能、品質、寿命を提供する摩擦のないモーションプラットフォームが実現。 高力リニアモーターは、数ミリ秒以内にステージを最高速度まで駆動。プリロードされたエアベアリング構造は、任意の方向への取り付けをサポート。

■応用分野

PIglideポジショニングシステムは、半導体やフラットパネルディスプレイ製造における計測、フォトニクス、精密スキャンなど、多くの高精度アプリケーションに最適。摩擦のない動きにより、粒子が形成されないため、PIglideステージはクリーンルームアプリケーションに最適。

■付属品とオプション

・エンコーダー ・PIglideフィルターと空気準備キット ・多軸モーションコントローラとダイレクトドライブ ・XYセットアップと個々の構成 ・ケーブルトラックのバリエーション ・垂直アセンブリのカウンターバランスオプション ・花崗岩製のベースプレートと振動を低減するシステム

■特徴

・スキャンアプリケーションや高精度位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・モーションプラットフォームのサイズ115mm×115mm ・移動範囲350mm ・60mmからのロープロファイル ・1nmまでの分解能

  • シリーズ

    A-121 PIglide エアベアリング付きリニアステージ

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A-121 PIglide エアベアリング付きリニアステージ 品番6件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) アクティブ軸 移動範囲 (mm) ピッチ/ヨー (µrad) 真直度・平面度 (µm) 25mm移動範囲あたりの真直度・平面度 (µm) 速度、無負荷時 (MS) 加速、無負荷 (m/s²) z方向の耐荷重 (N) y単位の耐荷重 (N) θxの許容トルク (Nm) θyの許容トルク (Nm) 移動した質量 (kg) 全体の質量 (kg) ガイドタイプ ドライブタイプ 中間回路電圧、RMS (A) ピーク電流、RMS (A) 公称電流、RMS (A) ピークフォース (N) 公称力 (N) 力定数、RMS (N/A) 抵抗相間 (Ω) インダクタンス相間 (mH) 逆起電力位相-位相 (V・s/m) ケーブル配線 統合センサー センサー信号 センサー解像度 (nm) 双方向再現性 (µm) 位置決め精度、未校正 (µm)
A-121 PIglide エアベアリング付きリニアステージ-品番-A-121.050

A-121.050

要見積もり x 50 20 0.5 0.1 0.5 20 100 40 5 8.3 1.2 3.5 エアベアリング アイアンレス3相リニアモーター 48、公称最大80 3.5 1.2 33.2 11.1 9.4 6.3 1 7.7 外部移動ケーブル A-121.xxxA:インクリメンタルリニアエンコーダ
A-121.xxxB:アブソリュートリニアエンコーダ
A-121.xxxA:Sin/cos、1Vピークピーク、20μmの信号周期
A-121.xxxB:バイSS-C
A-121.xxxA:4.88
A-121.xxxB:1
A-121.xxxA:±0.25
A-121.xxxB:±0.25
A-121.xxxA:±1.5
A-121.xxxB:±1.5
A-121 PIglide エアベアリング付きリニアステージ-品番-A-121.100

A-121.100

要見積もり x 100 20 0.5 0.1 1 20 100 40 5 8.3 1.2 4.2 エアベアリング アイアンレス3相リニアモーター 48、公称最大80 3.5 1.2 33.2 11.1 9.4 6.3 1 7.7 外部移動ケーブル A-121.xxxA:インクリメンタルリニアエンコーダ
A-121.xxxB:アブソリュートリニアエンコーダ
A-121.xxxA:Sin/cos、1Vピークピーク、20μmの信号周期
A-121.xxxB:バイSS-C
A-121.xxxA:4.88
A-121.xxxB:1
A-121.xxxA:±0.25
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A-121.xxxA:±1.5
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A-121 PIglide エアベアリング付きリニアステージ-品番-A-121.150

A-121.150

要見積もり x 150 20 1 0.1 1 20 100 40 5 8.3 1.2 4.5 エアベアリング アイアンレス3相リニアモーター 48、公称最大80 3.5 1.2 33.2 11.1 9.4 6.3 1 7.7 外部移動ケーブル A-121.xxxA:インクリメンタルリニアエンコーダ
A-121.xxxB:アブソリュートリニアエンコーダ
A-121.xxxA:Sin/cos、1Vピークピーク、20μmの信号周期
A-121.xxxB:バイSS-C
A-121.xxxA:4.88
A-121.xxxB:1
A-121.xxxA:±0.25
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A-121 PIglide エアベアリング付きリニアステージ-品番-A-121.200

A-121.200

要見積もり x 200 20 1.5 0.1 1 20 100 40 5 8.3 1.2 5.2 エアベアリング アイアンレス3相リニアモーター 48、公称最大80 3.5 1.2 33.2 11.1 9.4 6.3 1 7.7 外部移動ケーブル A-121.xxxA:インクリメンタルリニアエンコーダ
A-121.xxxB:アブソリュートリニアエンコーダ
A-121.xxxA:Sin/cos、1Vピークピーク、20μmの信号周期
A-121.xxxB:バイSS-C
A-121.xxxA:4.88
A-121.xxxB:1
A-121.xxxA:±0.25
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A-121 PIglide エアベアリング付きリニアステージ-品番-A-121.250

A-121.250

要見積もり x 250 25 2 0.1 1 20 100 40 5 8.3 1.2 5.7 エアベアリング アイアンレス3相リニアモーター 48、公称最大80 3.5 1.2 33.2 11.1 9.4 6.3 1 7.7 外部移動ケーブル A-121.xxxA:インクリメンタルリニアエンコーダ
A-121.xxxB:アブソリュートリニアエンコーダ
A-121.xxxA:Sin/cos、1Vピークピーク、20μmの信号周期
A-121.xxxB:バイSS-C
A-121.xxxA:4.88
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A-121 PIglide エアベアリング付きリニアステージ-品番-A-121.350

A-121.350

要見積もり x 350 35 2.5 0.1 1 20 100 40 5 8.3 1.2 6.8 エアベアリング アイアンレス3相リニアモーター 48、公称最大80 3.5 1.2 33.2 11.1 9.4 6.3 1 7.7 外部移動ケーブル A-121.xxxA:インクリメンタルリニアエンコーダ
A-121.xxxB:アブソリュートリニアエンコーダ
A-121.xxxA:Sin/cos、1Vピークピーク、20μmの信号周期
A-121.xxxB:バイSS-C
A-121.xxxA:4.88
A-121.xxxB:1
A-121.xxxA:±0.25
A-121.xxxB:±0.25
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ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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