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シリーズ
ステッピングモーター 直動系 薄型ZF軸自動ステージ OSMS-ZFW取扱企業
シグマ光機株式会社カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 移動量 | テーブル面サイズ | 送りネジ | 移動機構 減速比 | 移動ガイド | 主要材質 | 表面処理 | 質量 | 分解能 Full | 分解能 Half | MAXスピード | 繰返し位置決め精度 | 耐荷重 | モーメント剛性 ピッチング | モーメント剛性 ヨーイング | モーメント剛性 ローリング | ロストモーション | 平行度 | 走り平行度 | ピッチング | ヨーイング | センサ品番 | リミットセンサ | 原点センサ | 近接原点センサ | モータ タイプ | モータ 品番 | 基本ステップ角 | 電源電圧 | 消費電流 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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OSMS120-5ZFW-M6 |
要見積もり |
5mm |
120×120mm |
・ボールネジ径φ8mm |
クサビ方式 1:5 |
・クロスローラ |
アルミ |
黒アルマイト |
3.2kg |
0.4μm/パルス |
0.2μm/パルス |
1.5mm/sec |
0.8μm |
98N (10.0kgf) |
0.5"/N.cm |
0.5"/N.cm |
0.5"/N.cm |
1μm |
80μm |
5μm |
25" |
25" |
マイクロフォトセンサ GP1S097HCZ (シャープ (株) ) |
有 (NORMAL CLOSE) |
有 (NORMAL OPEN) |
無 |
5相ステッピングモータ 0.75A/相 |
PK545-NBW (オリエンタルモーター (株) ) |
0.72° |
DC5~24V ±10% |
60mA以下 (1センサあたり20mA以下) |
自動ステージをフィルターから探すことができます
使用用途
#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷移動範囲 mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600耐荷重 N
10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500位置決め精度 μm
0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60繰り返し精度 μm
0 - 1 1 - 10 10 - 11ストローク mm
-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800ステージ高さ mm
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300駆動方式
リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御動作温度 ℃
-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40