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ステッピングモーター 直動系 薄型ZF軸自動ステージ OSMS-ZFW-OSMS120-5ZFW-M6
ステッピングモーター 直動系 薄型ZF軸自動ステージ OSMS-ZFW-シグマ光機株式会社

ステッピングモーター 直動系 薄型ZF軸自動ステージ OSMS-ZFW
シグマ光機株式会社

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この製品について

ステージの昇降構造として、クサビ機構を採用した薄型の水平面Z軸ステージです。

■詳細

・クロスローラガイド (スリップレス構造) とボールスプラインを組み合わせたクサビ機構の移動ガイドにより、ステージの全高を薄型化しました。 ・モータが無励磁状態でも、耐荷重値以内の荷重であれば搭載物を保持することが可能です。 ・テーブル面サイズは、60x60、65x65、120x120mmから選択できます。移動量は全サイズ同様の5mmです。 ・METRIC、INCHタイプのステージ本体は共通です。 ・テーブル面への取付けは、各サイズそれぞれMETRICとINCHタイプをご用意しています。

  • シリーズ

    ステッピングモーター 直動系 薄型ZF軸自動ステージ OSMS-ZFW

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ステッピングモーター 直動系 薄型ZF軸自動ステージ OSMS-ZFW 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 移動量 テーブル面サイズ 送りネジ 移動機構 減速比 移動ガイド 主要材質 表面処理 質量 分解能 Full 分解能 Half MAXスピード 繰返し位置決め精度 耐荷重 モーメント剛性 ピッチング モーメント剛性 ヨーイング モーメント剛性 ローリング ロストモーション 平行度 走り平行度 ピッチング ヨーイング センサ品番 リミットセンサ 原点センサ 近接原点センサ モータ タイプ モータ 品番 基本ステップ角 電源電圧 消費電流
ステッピングモーター 直動系 薄型ZF軸自動ステージ OSMS-ZFW-品番-OSMS120-5ZFW-M6

OSMS120-5ZFW-M6

要見積もり

5mm

120×120mm

・ボールネジ径φ8mm
・リード1mm

クサビ方式 1:5

・クロスローラ
・ボールスプライン

アルミ

黒アルマイト

3.2kg

0.4μm/パルス

0.2μm/パルス

1.5mm/sec

0.8μm

98N (10.0kgf)

0.5"/N.cm

0.5"/N.cm

0.5"/N.cm

1μm

80μm

5μm

25"

25"

マイクロフォトセンサ GP1S097HCZ (シャープ (株) )

有 (NORMAL CLOSE)

有 (NORMAL OPEN)

5相ステッピングモータ 0.75A/相

PK545-NBW (オリエンタルモーター (株) )

0.72°

DC5~24V ±10%

60mA以下 (1センサあたり20mA以下)

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自動ステージをフィルターから探すことができます

使用用途

#検査測定 #位置決め #微細加工 #半導体製造 #光学調整 #レーザー加工 #顕微観察 #デバイス評価 #バイオ操作 #精密印刷

移動範囲 mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600

耐荷重 N

10 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 500

位置決め精度 μm

0 - 1 1 - 2 2 - 4 4 - 50 50 - 60

繰り返し精度 μm

0 - 1 1 - 10 10 - 11

ストローク mm

-50 - 0 0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 800

ステージ高さ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300

駆動方式

リニアガイド ボーデンケーブル ラックアンドピニオン ウォームギア リニアモーター 親ねじ DCモータ ステッピングモーター ボールねじ サーボ制御

動作温度 ℃

-10 - 0 0 - 10 10 - 30 30 - 40

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この商品の取り扱い会社情報

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5.3時間

会社概要

[光ソリューション]その言葉は、シグマ光機には欠かせないものです。
研究開発から生産設備に至るまで、『光』をキーワードに解決する企業です。
シグマ光機は1977年の会社設立以来、レーザ用要素部品をはじめ、...

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  • 本社所在地: 埼玉県

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