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真空用途 θ軸粗微動ステンレスステージ KSPS-KSPS-406M
真空用途 θ軸粗微動ステンレスステージ KSPS-シグマ光機株式会社

真空用途 θ軸粗微動ステンレスステージ KSPS
シグマ光機株式会社

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■特長

粗動360°の回転と微動 (マイクロメータヘッド又はファインピッチスクリューからの選択) が可能なすり合わせ式のθ軸 (回転) 粗微動ステージです。粗動はステージ上面を直接回転させ、微動は粗動部分をクランプし、マイクロメータヘッド又はファインピッチスクリュー (±5°) で行います。

■詳細

全てステンレス材を使用しているため耐食性に優れています。ステージ本体、マイクロメータヘッドともに真空グリース (YVAC2) を使用しています。

  • シリーズ

    真空用途 θ軸粗微動ステンレスステージ KSPS

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真空用途 θ軸粗微動ステンレスステージ KSPS 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) テーブル面サイズ 回転範囲 目盛最小読取 マイクロメータ最小読取 移動ガイド 主要材質 表面処理 耐荷重 許容モーメント荷重 モーメント剛性 平行度 偏芯量 面振れ量 質量
真空用途 θ軸粗微動ステンレスステージ KSPS-品番-KSPS-406M

KSPS-406M

要見積もり

φ40mm

・粗動 360°
・微動 ±5°

約1′24.2″

すり合わせ方式

ステンレス

49N (5.0kgf)

0.3N.m

1.5"/N.cm

30μm

20μm

20μm

0.3kg

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使用用途

#光学調整 #半導体検査 #計測装置 #精密加工 #研究開発 #組立工程

駆動方式

手動型 モータ駆動型 空圧駆動型 電磁駆動型

軸構成

単軸型 直交多軸型 同軸多軸型 傾斜回転型

回転機構

ウォームギア型 ダイレクトドライブ型 ベルト駆動型 摩擦駆動型

精度グレード

標準精度型 高精度型 超高精度型 自己位置検出型

回転範囲θZ °

0 - 200 200 - 360

最大角速度 °/秒

0 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 3,100

耐荷重 N

0 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 20,000 20,000 - 50,000 50,000 - 200,000

双方向繰り返し精度 µrad

0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 1,500

駆動トルク N·m

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

動作電圧 V

20 - 30 30 - 40 40 - 50

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

[光ソリューション]その言葉は、シグマ光機には欠かせないものです。
研究開発から生産設備に至るまで、『光』をキーワードに解決する企業です。
シグマ光機は1977年の会社設立以来、レーザ用要素部品をはじめ、...

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  • 本社所在地: 埼玉県
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