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測定物のめっき付着分布をビジュアル表示 蛍光X線式膜厚計 EX-851/EX-731取扱企業
株式会社サンコウ電子研究所カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | テーブルサイズ | 移動量 X | 移動量 Y | サンプル荷重 | フィルタ | コリメータ | 本体寸法 | 重量 | 移動量 Z | 測定物最大高さ | 電源 | 試料観察 | 安全機能 | 自動テーブル機能 | その他の機能 | 補正機能 | 検量線 | 測定対象 | 測定可能範囲 | 測定機能 | 照射方式 | アプリケーション | データ処理機能 | 検出器 | X線源 | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
EX-851 |
要見積もり |
200×200mm |
200mm |
200mm |
2kg |
2種類 (Co、Ni) 自動切換 |
5種類:0.1、0.2、0.5、1.0、2.0Φmm、オプション:0.05、0.1、0.2、0.3、0.5、Φ |
740 (W) ×530 (D) ×660 (H) mm |
85kg |
90mm |
90mm |
AC100V±10V |
CCDカラーカメラ (オートフォーカス) |
X線電源キースイッチ/フェールセーフ機能 |
オートフォーカス/測定位置指定 (X-Y-Z) /原点補正機能/測定位置確認機能/自動軟正 |
ステージ座標表示/装置保守整備 |
ベース補正 |
検量線自動作成機能/マルチポイント検量線 |
原子番号22 (Ti) ~82 (Pb) 原子番号21以下は吸収法にて測定可能 |
原子番号22~24:0.02~約20μm、原子番号25~40:0.02~約30μm、原子番号41~51:0.02~約70μm、原子番号52~83:0.01~約10μm |
自動測定/出力様式設定/スペクトル測定/2点間距離測定 |
上面垂直照射方式 |
単層めっき測定/2層めっき測定/3層めっき測定/合金膜厚成分比同時測定/無電解ニッケル測定 |
統計量表示:平均、標準偏差、最大、最小、レンジ、Cp、Cpk/ヒストグラム/プロファイル表示/測定データ3次元表示/x-R管理図 |
比例計数管 |
油浸式小型微小焦点X線管、ターゲット:タングステン、管電圧50kV、管電流可変 |
||
EX-731 |
要見積もり |
手動ステージ:170×110mm、自動ステージ:240×220mm |
手動ステージ:70mm、自動ステージ:200mm |
手動ステージ:70mm、自動ステージ:200mm |
手動ステージ:3kg、自動ステージ:1kg |
2種類 (Co、Ni) 自動切換 |
5種類 (自動切換式) :0.1、0.2、0.5、1.0、2.0Φmm、オプション:0.05×0.5、0.05Φ |
600 (W) ×465 (D) ×754 (H) mm |
手動ステージ:79kg、自動ステージ:85kg |
手動ステージ:80mm、自動ステージ:50mm |
手動ステージ:80 (オプション150) mm、自動ステージ:50mm |
- |
CCDカラーカメラ (オートフォーカス) |
X線電源キースイッチ/フェールセーフ機能 |
- |
ステージ座標表示/装置保守整備 |
ベース補正 |
検量線自動作成機能/マルチポイント検量線 |
原子番号22 (Ti) ~82 (Pb) 原子番号21以下は吸収法にて測定可能 |
原子番号22~24:0.02~約20μm、原子番号25~40:0.02~約30μm、原子番号41~51:0.02~約70μm、原子番号52~83:0.01~約10μm |
自動測定/出力様式設定/自動測定条件設定/スペクトル測定/2点間距離測定 |
上面垂直照射方式 |
単層めっき測定/2層めっき測定/3層めっき測定/合金膜厚成分比同時測定/無電解ニッケル測定 |
統計量表示:平均、標準偏差、最大、最小、レンジ、Cp、Cpk/ヒストグラム/プロファイル表示/測定データ3次元表示/x-R管理図 |
比例計数管 |
油浸式小型微小焦点X線管、ターゲット:タングステン、管電圧50kV、管電流:最大1.2mA |