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サファイア基板 (半導体用)-サファイア基板 (半導体用)
サファイア基板 (半導体用)-株式会社オルベ・パイオニア

サファイア基板 (半導体用)
株式会社オルベ・パイオニア



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  • シリーズ

    サファイア基板 (半導体用)

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サファイア基板 (半導体用) 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 材質 成長方法 面方位 サイズ 厚み 平坦度 面粗度 (Ra) 厚み0.5mmでOFF角 可能な生産能力
サファイア基板 (半導体用)-品番-サファイア基板 (半導体用)

サファイア基板 (半導体用)

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高品質合成サファイア (99.997%)

キロプロス法

C-, A-, R-面

丸型 φ10mm~150mm (C-面は125mmまで)
角型 10mm~130mm

0.15mm以上

<5 μm (φ50.8mmの場合)

0.5~1nm

0°±0.2°
2°±0.2

サファイア基板 (放熱板)
30x30x0.5t mm 10,000枚/月

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使用用途

#ウエハ製造 #フォトリソグラフィー #エッチング #薄膜形成 #ドーピング #CMP研磨 #半導体製造 #精密機器製造

厚さ μm

150 - 300 300 - 400 400 - 500 500 - 600 600 - 1,200 1,200 - 1,400

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