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スピンコーター-スピンコーター
スピンコーター-ブルーオーシャンテクノロジー株式会社


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この製品について

■概要

スピン方式による成膜装置

  • シリーズ

    スピンコーター

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スピンコーター 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 用途 方式 基板サイズ カップサイズ 回転数 付帯設備
スピンコーター-品番-スピンコーター

スピンコーター

要見積もり

インナーカップ式スピンコーター

600mm、400mm、200mm

Φ1,300mm

30~1,000rpm

レジスト自動供給システム

クリーンユニット、液滴下用スイングアーム

フィルターから探す

塗布装置をフィルターから探すことができます

塗布方式

スリットコータ グラビア コンマ スロットダイ ミニスロットダイ ロールコーター バーコーター スプレー スイング ニードル転写 駆動パルス メカニカルポンプ

対応粘度 mPa・s

1 - 100 100 - 1,000 1,000 - 3,000 3,000 - 10,000 10,000 - 20,000 20,000 - 100,000 100,000 - 200,000 200,000 - 500,000

塗布速度 mm/s

1 - 10 10 - 100 100 - 300 300 - 800

塗布幅 mm

0 - 100 100 - 300 300 - 400 400 - 1,000

位置決め精度 mm

0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 0.5

制御方式

PC/PLC制御 PTP/CP制御 乾燥炉2連 乾燥炉3連 エレクトロ/ニューマティック マイコン制御 PLC制御

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

ブルーオーシャンテクノロジー株式会社は、有機EL・半導体パッケージ・有機材料・機能性フィルム・半導体製造装置の企画・提案・販売を行う企業です。 当社は設計ノウハウ、受託・製造パートナーをもつ技術商社であることを強みとし...

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  • 本社所在地: 東京都
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